JP2008518488A - 調整可能なグレーティングコンプレッサを備えたパルスレーザ光源 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図2
Description
本願は、全体として参照することにより本明細書に組み込まれる「可視フェムト秒パルスを活用する光導波路書き込み(OPTICAL WAVEGUIDE WRITING UTILIZING VISIBLE FETMOSECOND PULSES)と題される2004年12月20日に出願された米国特許出願番号第60/638,072号に対する優先権を主張する。
光学系20は、約1.0未満及びいくつかの実施形態では約1.0と0.4の間の開口数(NA)を有してよい。低NAの収束型対物レンズが、例えばNA>1.0の油浸対物レンズ及び水浸対物レンズを基準にして焦点深度が長いために三次元導波路パターンの製造を容易にする。また、約520mmに近い可視波長は、近赤外(NIR)波長よりも可視顕微鏡使用で使用される標準高倍率対物レンズと互換性がある。このようにして、この対物レンズにより生じる挿入損失及びビーム収差は大幅に削減される。他のタイプの光学系20が使用可能であり、光学系は特定の実施形態で除外されてよい。
Claims (23)
- 繰り返し周波数が可変の複数の超短光パルスを備えるパルスレーザビームを生じさせるレーザ光源であって、
光パルス幅を有する光パルスを出力するファイバ発振器と、
前記光パルスを受け取るように配置され、前記光パルス幅を拡大し、引き伸ばされた光パルスを生じさせる分散を有するパルスストレッチャと、
前記引き伸ばされた光パルスを受け取り、前記引き伸ばされた光パルスを増幅する利得を有するファイバ増幅器と、
前記光パルス幅を減少させる分散を有する自動的に調整可能なグレーティングコンプレッサであって、前記グレーティングコンプレッサの前記分散が調整可能であり、異なる繰り返し周波数について前記分散を自動的に調整する前記グレーティングコンプレッサと、
を備えることを特徴とするレーザ光源。 - 前記ファイバ発振器が、少なくとも一方が部分的に反射機能を有する1組の反射素子の間に配置された、ドーピングされた光ファイバを備えることを特徴とする請求項1に記載のレーザ光源。
- 前記パルスストレッチャは分散を有する光ファイバを備えることを特徴とする請求項1に記載のレーザ光源。
- 前記ファイバ増幅器がドーピングされた光ファイバを備えることを特徴とする請求項1に記載のレーザ光源。
- 前記自動的に調整可能なグレーティングコンプレッサが、前記グレーティングコンプレッサの分散を調整するために、可変光路長を有する光学経路によって互いに分離された、少なくとも1つのグレーティングと反射素子とを備えることを特徴とする請求項1に記載のレーザ光源。
- 前記グレーティング又は前記反射素子を移動する移動ステージを更に備えることを特徴とする請求項5に記載のレーザ光源。
- 前記自動的に調整可能なグレーティングコンプレッサが、前記グレーティングコンプレッサの分散を調整するために、可変光路長を有する光学経路によって互いに分離された少なくとも2つのグレーティングを備えることを特徴とする請求項1に記載のレーザ光源。
- 前記グレーティングの少なくとも一方を移動する移動ステージを更に備えることを特徴とする請求項7に記載のレーザ光源。
- 移動ステージと制御回路とを更に備え、
前記制御回路が前記移動ステージと通信し、
前記制御回路が、異なった繰り返し周波数のために、前記グレーティングコンプレッサの分散を変化させるように、前記移動ステージに信号を送信する
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザ光源。 - 繰り返し周波数が可変の複数の超短光パルスを備えるパルスレーザビームを生じさせるレーザ光源であって、
光パルス幅を有する光パルスを出力するファイバ発振器と、
前記光パルス幅を減少させる分散を有する自動的に調整可能なグレーティングコンプレッサであって、前記分散が調整可能であり、異なった繰り返し周波数について前記分散を自動的に調整する前記グレーティングコンプレッサと、
を備えることを特徴とするレーザ光源。 - 前記光パルスを受け取るように配置されるパルスストレッチャを更に備え、前記パルスストレッチャが前記光パルス幅を拡大する分散を有することを特徴とする請求項10に記載のレーザ光源。
- 前記パルスストレッチャが、分散を有する光ファイバを備えることを特徴とする請求項11に記載のレーザ光源。
- 光増幅器を更に備え、前記光増幅器が前記光パルスを増幅する利得を有することを特徴とする請求項10に記載のレーザ光源。
- 前記光増幅器がドーピングされた光ファイバを備えることを特徴とする請求項13に記載のレーザ光源。
- 繰り返し周波数に基づいて前記グレーティングコンプレッサを自動的に調整するために、異なった繰り返し周波数及び関連付けられる調整値を含むデータベースを含む記憶装置を更に備えることを特徴とする請求項10に記載のレーザ光源。
- 前記光パルス幅を検知する光学検波器と、前記光パルス幅に基づいて前記グレーティングコンプレッサを調整する制御回路とを含むフィードバックシステムを更に備えることを特徴とする請求項10に記載のレーザ光源。
- 繰り返し周波数が可変の複数の超短光パルスを備えるパルスレーザビームを生じさせる方法であって、
光パルス幅を有する光パルスを生じさせ、
前記光パルス幅を減少させ、それにより圧縮光パルスを生成し、
前記繰り返し周波数を変え、
前記異なった繰り返し周波数について自動的にコンプレッサの分散を調整して、最小パルス幅を生じさせること、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記光パルスを増幅することを更に含むことを特徴とする請求項17に記載の方法。
- 前記引き伸ばされた光パルスを増幅する前に、前記光パルス幅を拡大することを更に含むことを特徴とする請求項18に記載の方法。
- 前記分散が、グレーティングコンプレッサ内のグレーティングを移動することにより、又は、グレーティングコンプレッサ内のグレーティングに向けて光を反射する反射面を移動することにより
自動的に調整されることを特徴とする請求項17に記載の方法。 - 前記分散を調整するための値を取得するためにそれと関連付けられる調整値を有するデータベースに記録されている繰り返し周波数と、前記異なった繰り返し周波数を比較することを更に含むことを特徴とする請求項17に記載の方法。
- 前記光パルス幅を検知することを更に含むことを特徴とする請求項17に記載の方法。
- 前記検知された光パルス幅に基づいて前記分散を調整することを更に含むことを特徴とする請求項22に記載の方法。
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Related Child Applications (1)
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---|---|---|---|
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WO (1) | WO2007046833A2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011027617A1 (ja) * | 2009-09-01 | 2011-03-10 | 浜松ホトニクス株式会社 | パルス幅変換装置および光増幅システム |
JP2013131778A (ja) * | 2013-03-29 | 2013-07-04 | Hamamatsu Photonics Kk | パルス幅変換装置および光増幅システム |
JP2019522361A (ja) * | 2016-06-15 | 2019-08-08 | トルンプフ レーザー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングTRUMPF Laser GmbH | 分散調節ユニット |
Families Citing this family (44)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7394591B2 (en) | 2000-05-23 | 2008-07-01 | Imra America, Inc. | Utilization of Yb: and Nd: mode-locked oscillators in solid-state short pulse laser systems |
US8921733B2 (en) | 2003-08-11 | 2014-12-30 | Raydiance, Inc. | Methods and systems for trimming circuits |
US9022037B2 (en) | 2003-08-11 | 2015-05-05 | Raydiance, Inc. | Laser ablation method and apparatus having a feedback loop and control unit |
US7486705B2 (en) | 2004-03-31 | 2009-02-03 | Imra America, Inc. | Femtosecond laser processing system with process parameters, controls and feedback |
US7885311B2 (en) * | 2007-03-27 | 2011-02-08 | Imra America, Inc. | Beam stabilized fiber laser |
US7508853B2 (en) | 2004-12-07 | 2009-03-24 | Imra, America, Inc. | Yb: and Nd: mode-locked oscillators and fiber systems incorporated in solid-state short pulse laser systems |
EP1851837B1 (en) * | 2004-12-20 | 2015-03-04 | Imra America, Inc. | Pulsed laser source with adjustable grating compressor |
US20060207976A1 (en) * | 2005-01-21 | 2006-09-21 | Bovatsek James M | Laser material micromachining with green femtosecond pulses |
US9130344B2 (en) * | 2006-01-23 | 2015-09-08 | Raydiance, Inc. | Automated laser tuning |
US8232687B2 (en) | 2006-04-26 | 2012-07-31 | Raydiance, Inc. | Intelligent laser interlock system |
JP5467864B2 (ja) * | 2006-05-11 | 2014-04-09 | エスピーアイ レーザーズ ユーケー リミテッド | 光放射を提供する装置 |
CN101815057B (zh) * | 2006-09-30 | 2012-06-27 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 多数据率兼容型超高速自适应全光数据包速率倍增方法 |
WO2008091898A1 (en) | 2007-01-23 | 2008-07-31 | Imra America, Inc. | Ultrashort laser micro-texture printing |
US8154793B2 (en) * | 2007-05-25 | 2012-04-10 | Cornell University | Nonlinear chirped pulse fiber amplifier with pulse compression |
FR2917544A1 (fr) * | 2007-06-15 | 2008-12-19 | Amplitude Systemes Sa | Source d'impulsions lumineuses ultrabreves de forte energie |
JP5638389B2 (ja) * | 2007-08-09 | 2014-12-10 | ヴィルヌーヴ,アランVILLENEUVE,Alain | チューナブルモードロックレーザ |
US7903326B2 (en) | 2007-11-30 | 2011-03-08 | Radiance, Inc. | Static phase mask for high-order spectral phase control in a hybrid chirped pulse amplifier system |
CN105583526B (zh) * | 2008-03-21 | 2018-08-17 | Imra美国公司 | 基于激光的材料加工方法和系统 |
US8498538B2 (en) | 2008-11-14 | 2013-07-30 | Raydiance, Inc. | Compact monolithic dispersion compensator |
KR20130059337A (ko) | 2010-03-30 | 2013-06-05 | 아이엠알에이 아메리카, 인코포레이티드. | 레이저 기반 재료 가공 장치 및 방법들 |
US8884184B2 (en) | 2010-08-12 | 2014-11-11 | Raydiance, Inc. | Polymer tubing laser micromachining |
WO2012037468A1 (en) | 2010-09-16 | 2012-03-22 | Raydiance, Inc. | Singulation of layered materials using selectively variable laser output |
US8554037B2 (en) | 2010-09-30 | 2013-10-08 | Raydiance, Inc. | Hybrid waveguide device in powerful laser systems |
US9491441B2 (en) | 2011-08-30 | 2016-11-08 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Method to extend laser depth map range |
JP2014530493A (ja) * | 2011-09-14 | 2014-11-17 | イムラ アメリカ インコーポレイテッド | 制御可能多波長ファイバ・レーザ光源 |
US10239160B2 (en) | 2011-09-21 | 2019-03-26 | Coherent, Inc. | Systems and processes that singulate materials |
US8969220B2 (en) | 2012-01-13 | 2015-03-03 | Imra America, Inc. | Methods and systems for laser processing of coated substrates |
US8964798B2 (en) | 2012-07-12 | 2015-02-24 | Kla-Tencor Corporation | Reducing the spectral bandwidth of lasers |
US20140276669A1 (en) * | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Amo Development Llc. | Short pulse laser with adjustable pulse length |
US9878399B2 (en) * | 2013-03-15 | 2018-01-30 | Jian Liu | Method and apparatus for welding dissimilar material with a high energy high power ultrafast laser |
US9048632B1 (en) | 2013-03-15 | 2015-06-02 | Board Of Trustees Of Michigan State University | Ultrafast laser apparatus |
JP6270820B2 (ja) * | 2013-03-27 | 2018-01-31 | 国立大学法人九州大学 | レーザアニール装置 |
US20160268766A1 (en) | 2013-10-21 | 2016-09-15 | Genia Photonics Inc. | Synchronized tunable mode-locked lasers |
WO2015108991A2 (en) | 2014-01-17 | 2015-07-23 | Imra America, Inc. | Laser-based modification of transparent materials |
DE102014201752A1 (de) * | 2014-01-31 | 2015-08-06 | Siemens Aktiengesellschaft | Überspannungsschutz mit einer Funkenstrecke |
KR20160005802A (ko) * | 2014-07-03 | 2016-01-18 | 마이크로 인스펙션 주식회사 | 레이저 가공장치 |
US9385502B1 (en) | 2015-02-05 | 2016-07-05 | Coherent, Inc. | Method and apparatus for adjusting pulse parameters in a solid-state chirped-pulse amplifier system |
CN105305209B (zh) * | 2015-11-04 | 2018-07-10 | 南京大学 | 一种高重复频率的极紫外超快时间分辨光电能谱系统 |
US11123822B2 (en) * | 2016-03-31 | 2021-09-21 | AGC Inc. | Manufacturing method for glass substrate, method for forming hole in glass substrate, and apparatus for forming hole in glass substrate |
US10535975B2 (en) * | 2017-08-31 | 2020-01-14 | Coherent, Inc. | High power sub-400 femtosecond MOPA with solid-state power amplifier |
RU2684929C1 (ru) * | 2018-03-30 | 2019-04-16 | Автономное учреждение "Технопарк - Мордовия" | Устройство сжатия оптического импульса на дифракционных решетках с возможностью регулировки длительности сжатого импульса |
DE102018109405B3 (de) | 2018-04-19 | 2019-07-11 | Trumpf Laser Gmbh | Pulslängenanpassungseinheit, Lasersystem und Verfahren zur Pulslängenanpassung eines Laserpulses |
CN109449731B (zh) * | 2018-09-20 | 2019-09-20 | 深圳市大德激光技术有限公司 | 一种超快脉冲光纤激光器 |
CN112615241B (zh) * | 2020-12-03 | 2022-10-14 | 天津大学 | 高峰值功率单频窄线宽纳秒三角形短脉冲光纤激光器 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01233416A (ja) * | 1988-03-14 | 1989-09-19 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光パレス圧縮装置 |
JPH01296688A (ja) * | 1988-01-27 | 1989-11-30 | Intelligent Surgical Lasers Inc | 多波長レーザ光源 |
JPH09508217A (ja) * | 1994-01-19 | 1997-08-19 | ノヴァテック レーザー システムズ,インコーポレーテド | 単一回折格子レーザパルスのストレッチャおよびコンプレッサ |
JPH10318924A (ja) * | 1997-05-19 | 1998-12-04 | Olympus Optical Co Ltd | パルスレーザを備えた光学装置 |
US20010048788A1 (en) * | 2000-01-07 | 2001-12-06 | Yong Xie | Tunable optical dispersion-slope compensation based on a nonlinearly-chirped bragg grating |
JP2002502061A (ja) * | 1998-01-28 | 2002-01-22 | コヒーレント・インク | 超短パルス伝送および伝播のための装置 |
JP2002252401A (ja) * | 2001-02-22 | 2002-09-06 | Oyokoden Lab Co Ltd | レーザ装置 |
US20030156605A1 (en) * | 2002-02-18 | 2003-08-21 | Richardson David J. | Pulsed light sources |
Family Cites Families (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5084880A (en) * | 1990-07-02 | 1992-01-28 | The United States Of America As Represented By The Sectretary Of The Navy | Erbium-doped fluorozirconate fiber laser pumped by a diode laser source |
US5329398A (en) * | 1992-11-05 | 1994-07-12 | Novatec Laser Systems, Inc. | Single grating laser pulse stretcher and compressor |
CA2179268A1 (en) | 1992-11-05 | 1995-07-27 | Ming Lai | Single grating laser pulse stretcher and compressor |
US5499134A (en) * | 1994-08-24 | 1996-03-12 | Imra America | Optical pulse amplification using chirped Bragg gratings |
US5867305A (en) * | 1996-01-19 | 1999-02-02 | Sdl, Inc. | Optical amplifier with high energy levels systems providing high peak powers |
US5896484A (en) * | 1996-02-15 | 1999-04-20 | Corning Incorporated | Method of making a symmetrical optical waveguide |
JP3649835B2 (ja) | 1996-03-18 | 2005-05-18 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 光導波路の作製方法 |
US5847863A (en) * | 1996-04-25 | 1998-12-08 | Imra America, Inc. | Hybrid short-pulse amplifiers with phase-mismatch compensated pulse stretchers and compressors |
GB2316760A (en) * | 1996-08-23 | 1998-03-04 | Univ Southampton | Fabricating optical waveguide gratings |
WO2005022705A2 (en) * | 1997-03-21 | 2005-03-10 | Imra America, Inc. | High energy optical fiber amplifier for picosecond-nanosecond pulses for advanced material processing applications |
US5987538A (en) * | 1997-08-15 | 1999-11-16 | Compaq Computer Corporation | Apparatus for initiating generation of an inter-processor interrupt by a peripheral device not directly connected to any of the multi-processor local interrupt controllers |
JPH11167036A (ja) * | 1997-12-04 | 1999-06-22 | Japan Science & Technology Corp | 光導波回路及び非線形光学装置 |
US5982963A (en) * | 1997-12-15 | 1999-11-09 | University Of Southern California | Tunable nonlinearly chirped grating |
US6573026B1 (en) * | 1999-07-29 | 2003-06-03 | Corning Incorporated | Femtosecond laser writing of glass, including borosilicate, sulfide, and lead glasses |
CN1365500A (zh) | 1999-07-29 | 2002-08-21 | 康宁股份有限公司 | 用飞秒脉冲激光在石英基玻璃中直接刻写光学元件 |
US6977137B2 (en) * | 1999-07-29 | 2005-12-20 | Corning Incorporated | Direct writing of optical devices in silica-based glass using femtosecond pulse lasers |
US6552301B2 (en) * | 2000-01-25 | 2003-04-22 | Peter R. Herman | Burst-ultrafast laser machining method |
CA2296924A1 (en) | 2000-01-25 | 2001-07-25 | Peter R. Herman | Burst-ultrafast laser machining method |
JP2001236644A (ja) * | 2000-02-21 | 2001-08-31 | Central Glass Co Ltd | 固体材料の屈折率を変化させる方法 |
JP3531738B2 (ja) * | 2000-02-22 | 2004-05-31 | 日本電気株式会社 | 屈折率の修正方法、屈折率の修正装置、及び光導波路デバイス |
US6885683B1 (en) * | 2000-05-23 | 2005-04-26 | Imra America, Inc. | Modular, high energy, widely-tunable ultrafast fiber source |
US6928224B2 (en) * | 2001-03-09 | 2005-08-09 | Corning Incorporated | Laser-induced crystallization of transparent glass-ceramics |
JP2002372731A (ja) * | 2001-06-15 | 2002-12-26 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 波長変換用、光演算用素子 |
US6768850B2 (en) * | 2001-08-16 | 2004-07-27 | Translume, Inc. | Method of index trimming a waveguide and apparatus formed of the same |
WO2003046625A1 (en) | 2001-11-28 | 2003-06-05 | Corning Incorporated | Manipulating the size of waveguides written into substrates using femtosecond laser pulses |
US20030099452A1 (en) * | 2001-11-28 | 2003-05-29 | Borrelli Nicholas F. | Manipulating the size of waveguides written into substrates using femtosecond laser pulses |
US6853785B2 (en) * | 2001-12-14 | 2005-02-08 | 3M Innovative Properties Co. | Index modulation in glass using a femtosecond laser |
US6760356B2 (en) | 2002-04-08 | 2004-07-06 | The Regents Of The University Of California | Application of Yb:YAG short pulse laser system |
US6739728B2 (en) * | 2002-04-08 | 2004-05-25 | The Regents Of The University Of California | Short pulse laser stretcher-compressor using a single common reflective grating |
DE10222491A1 (de) | 2002-05-14 | 2003-11-27 | Univ Schiller Jena | Verfahren zur gezielten Erzeugung von Brechzahlmodifikationen im Volumen transparenter Materialien mittels Laserstrahlung und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
US6950591B2 (en) | 2002-05-16 | 2005-09-27 | Corning Incorporated | Laser-written cladding for waveguide formations in glass |
CA2396831A1 (en) | 2002-08-02 | 2004-02-02 | Femtonics Corporation | Microstructuring optical wave guide devices with femtosecond optical pulses |
JP2004295066A (ja) * | 2002-08-27 | 2004-10-21 | Fujikura Ltd | 光導波路の製造方法 |
JP3987787B2 (ja) * | 2002-11-25 | 2007-10-10 | 日東電工株式会社 | 三次元ポリイミド光導波路の製造方法 |
US7218443B2 (en) * | 2003-02-25 | 2007-05-15 | Toptica Photonics Ag | Generation of tunable light pulses |
US6979798B2 (en) | 2003-03-07 | 2005-12-27 | Gsi Lumonics Corporation | Laser system and method for material processing with ultra fast lasers |
US7414780B2 (en) * | 2003-06-30 | 2008-08-19 | Imra America, Inc. | All-fiber chirped pulse amplification systems |
US7257302B2 (en) | 2003-06-03 | 2007-08-14 | Imra America, Inc. | In-line, high energy fiber chirped pulse amplification system |
US7486705B2 (en) * | 2004-03-31 | 2009-02-03 | Imra America, Inc. | Femtosecond laser processing system with process parameters, controls and feedback |
EP1851837B1 (en) * | 2004-12-20 | 2015-03-04 | Imra America, Inc. | Pulsed laser source with adjustable grating compressor |
US7424185B2 (en) * | 2005-01-24 | 2008-09-09 | University Of Central Florida Research Foundation, Inc. | Stretching and compression of laser pulses by means of high efficiency volume diffractive gratings with variable periods in photo-thermo-refractive glass |
-
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2006
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2007
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2010
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2013
- 2013-01-04 JP JP2013000030A patent/JP5716757B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01296688A (ja) * | 1988-01-27 | 1989-11-30 | Intelligent Surgical Lasers Inc | 多波長レーザ光源 |
JPH01233416A (ja) * | 1988-03-14 | 1989-09-19 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光パレス圧縮装置 |
JPH09508217A (ja) * | 1994-01-19 | 1997-08-19 | ノヴァテック レーザー システムズ,インコーポレーテド | 単一回折格子レーザパルスのストレッチャおよびコンプレッサ |
JPH10318924A (ja) * | 1997-05-19 | 1998-12-04 | Olympus Optical Co Ltd | パルスレーザを備えた光学装置 |
JP2002502061A (ja) * | 1998-01-28 | 2002-01-22 | コヒーレント・インク | 超短パルス伝送および伝播のための装置 |
US20010048788A1 (en) * | 2000-01-07 | 2001-12-06 | Yong Xie | Tunable optical dispersion-slope compensation based on a nonlinearly-chirped bragg grating |
JP2002252401A (ja) * | 2001-02-22 | 2002-09-06 | Oyokoden Lab Co Ltd | レーザ装置 |
US20030156605A1 (en) * | 2002-02-18 | 2003-08-21 | Richardson David J. | Pulsed light sources |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011027617A1 (ja) * | 2009-09-01 | 2011-03-10 | 浜松ホトニクス株式会社 | パルス幅変換装置および光増幅システム |
JP2011054737A (ja) * | 2009-09-01 | 2011-03-17 | Hamamatsu Photonics Kk | パルス幅変換装置および光増幅システム |
US8797641B2 (en) | 2009-09-01 | 2014-08-05 | Hamamatsu Photonics K.K. | Pulse-width converting apparatus and optical amplifying system |
JP2013131778A (ja) * | 2013-03-29 | 2013-07-04 | Hamamatsu Photonics Kk | パルス幅変換装置および光増幅システム |
JP2019522361A (ja) * | 2016-06-15 | 2019-08-08 | トルンプフ レーザー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングTRUMPF Laser GmbH | 分散調節ユニット |
JP7287784B2 (ja) | 2016-06-15 | 2023-06-06 | トルンプフ レーザー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 分散調節ユニット |
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