JP7287784B2 - 分散調節ユニット - Google Patents
分散調節ユニット Download PDFInfo
- Publication number
- JP7287784B2 JP7287784B2 JP2018565311A JP2018565311A JP7287784B2 JP 7287784 B2 JP7287784 B2 JP 7287784B2 JP 2018565311 A JP2018565311 A JP 2018565311A JP 2018565311 A JP2018565311 A JP 2018565311A JP 7287784 B2 JP7287784 B2 JP 7287784B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- optical element
- spectral components
- dispersion
- electromagnetic radiation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
- H01S3/0057—Temporal shaping, e.g. pulse compression, frequency chirping
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/0014—Monitoring arrangements not otherwise provided for
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/10007—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating in optical amplifiers
- H01S3/10023—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating in optical amplifiers by functional association of additional optical elements, e.g. filters, gratings, reflectors
- H01S3/1003—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating in optical amplifiers by functional association of additional optical elements, e.g. filters, gratings, reflectors tunable optical elements, e.g. acousto-optic filters, tunable gratings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/10053—Phase control
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Lasers (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Description
Claims (28)
- スペクトル幅を有する電磁放射のための分散調節ユニットであって、
少なくとも1つの分散素子であって、前記電磁放射の2つの相互作用領域によって境界が定められる角分散領域内に角分散を生成する少なくとも1つの分散素子と、
前記角分散領域内に配置され、電磁放射を透過する平行平面な光学板であって互いに対して平行に配置される平面入射面と平面出射面とを有する光学板を有する光学ユニットと、を備え、
前記角分散領域内では、前記電磁放射の個々のスペクトル成分が、互いに対してある角度で進む複数の光路に夫々関連付けられており、
前記光学板は、前記光学板の前後で、前記個々のスペクトル成分の伝播に対して、前記電磁放射の前記個々のスペクトル成分の入射角に依存した平行オフセットを発生させ、
前記光学板は、前記平面入射面に対するスペクトル成分の入射角に依存する前記光学板内の伝播方向を与え、
前記光学板内のスペクトル成分の前記伝播方向、及び、伝播長の少なくとも一方は、レーザパルスを圧縮または伸長するために設定される、分散調節ユニット。 - 前記光学ユニットは、前記個々のスペクトル成分の前記平行オフセットを変更するように構成された調節デバイス、をさらに備える、
請求項1に記載の分散調節ユニット。 - スペクトル幅を有する電磁放射のための分散調節ユニットであって、
少なくとも1つの分散素子であって、前記電磁放射の2つの相互作用領域によって境界が定められる角分散領域内に角分散を生成する少なくとも1つの分散素子と、
前記角分散領域内に配置され、前記電磁放射を透過する光学素子を有する光学ユニットと、を備え、
前記角分散領域内では、前記電磁放射の個々のスペクトル成分が、互いに対してある角度で進む光路に関連付けられており、
前記光学素子は、前記個々のスペクトル成分の伝播に対して、前記光学素子の前後で、前記電磁放射の前記個々のスペクトル成分の入射角に依存した平行オフセットを発生し、
前記光学素子は、スペクトル成分の入射角に依存する前記光学素子内の伝播方向を与え、
前記光学素子内のスペクトル成分の前記伝播方向、及び、伝播長の少なくとも一方は、レーザパルスを圧縮または伸長するために設定され、
前記光学ユニットは、前記個々のスペクトル成分の前記平行オフセットを変更するために前記角分散領域内の前記光学素子の空間向きを変更するように構成された調節デバイスを更に備え、
前記調節デバイスは、前記個々のスペクトル成分の前記平行オフセットを変更するために前記光学素子の角度を変更するように構成され、
前記光学ユニットは、互いに平行に配置される平面入射面および出射面を有する、分散調節ユニット。 - スペクトル幅を有する電磁放射のための分散調節ユニットであって、
少なくとも1つの分散素子であって、前記電磁放射の2つの相互作用領域によって境界が定められる角分散領域内に角分散を生成する少なくとも1つの分散素子と、
前記角分散領域内に配置され、前記電磁放射を透過する光学素子を有する光学ユニットと、を備え、
前記角分散領域内では、前記電磁放射の個々のスペクトル成分が、互いに対してある角度で進む光路に関連付けられており、
前記光学素子は、前記個々のスペクトル成分の伝播に対して、前記光学素子の前後で、前記電磁放射の前記個々のスペクトル成分の入射角に依存した平行オフセットを発生し、
前記光学素子は、スペクトル成分の入射角に依存する前記光学素子内の伝播方向を与え、
前記光学素子内のスペクトル成分の前記伝播方向、及び、伝播長の少なくとも一方は、レーザパルスを圧縮または伸長するために設定され、
前記光学ユニットは、前記個々のスペクトル成分の前記平行オフセットを変更するために前記角分散領域内の前記光学素子の空間向きを変更するように構成された調節デバイスを更に備え、
前記調節デバイスは、前記個々のスペクトル成分の前記平行オフセットを変更するために前記光学素子の角度を変更するように構成され、
前記光学素子は、複数のウェッジ、又は、2重ウェッジ構造として構成され、
前記調節デバイスは、前記個々のスペクトル成分の前記平行オフセットを変更するために前記光学素子の厚さを変更するように構成される、分散調節ユニット。 - スペクトル幅を有する電磁放射のための分散調節ユニットであって、
少なくとも1つの分散素子であって、前記電磁放射の2つの相互作用領域によって境界が定められる角分散領域内に角分散を生成する少なくとも1つの分散素子と、
前記角分散領域内に配置され、前記電磁放射を透過する光学素子を有する光学ユニットと、を備え、
前記角分散領域内では、前記電磁放射の個々のスペクトル成分が、互いに対してある角度で進む光路に関連付けられており、
前記光学素子は、前記個々のスペクトル成分の伝播に対して、前記光学素子の前後で、前記電磁放射の前記個々のスペクトル成分の入射角に依存した平行オフセットを発生し、
前記光学素子は、スペクトル成分の入射角に依存する前記光学素子内の伝播方向を与え、
前記光学素子内のスペクトル成分の前記伝播方向、及び、伝播長の少なくとも一方は、レーザパルスを圧縮または伸長するために設定され、
前記光学ユニットは、前記個々のスペクトル成分の前記平行オフセットを変更するために前記角分散領域内の前記光学素子の空間向きを変更するように構成された調節デバイスを更に備え、
前記調節デバイスは、前記個々のスペクトル成分の前記平行オフセットを変更するために前記光学素子の角度を変更するように構成され、
前記光学素子は電気光学変調器として構成され、
前記光学ユニットは、前記個々のスペクトル成分の前記平行オフセットを変更するために電気光学変調器として形成された前記光学素子の屈折率を変更するように構成された調節デバイスを更に備える、分散調節ユニット。 - スペクトル幅を有する電磁放射のための分散調節ユニットであって、
少なくとも1つの分散素子であって、前記電磁放射の2つの相互作用領域によって境界が定められる角分散領域内に角分散を生成する少なくとも1つの分散素子と、
前記角分散領域内に配置され、前記電磁放射を透過する光学素子を有する光学ユニットと、を備え、
前記角分散領域内では、前記電磁放射の個々のスペクトル成分が、互いに対してある角度で進む光路に関連付けられており、
前記光学素子は、前記個々のスペクトル成分の伝播に対して、前記光学素子の前後で、前記電磁放射の前記個々のスペクトル成分の入射角に依存した平行オフセットを発生し、
前記光学素子は、スペクトル成分の入射角に依存する前記光学素子内の伝播方向を与え、
前記光学素子内のスペクトル成分の前記伝播方向、及び、伝播長の少なくとも一方は、レーザパルスを圧縮または伸長するために設定され、
前記光学ユニットは、前記個々のスペクトル成分の前記平行オフセットを変更するために前記角分散領域内の前記光学素子の空間向きを変更するように構成された調節デバイスを更に備え、
前記調節デバイスは、前記個々のスペクトル成分の前記平行オフセットを変更するために前記光学素子の角度を変更するように構成され、
前記光学素子は1対の音響光学変調器として形成され、
前記光学ユニットは、前記個々のスペクトル成分の前記平行オフセットを変更するために1対の音響光学変調器として形成された前記光学素子の回折パラメータを変更するように構成された調節デバイスを更に備える、分散調節ユニット。 - 前記光学素子は、互いに実質的に平行に延び、互いからある距離に配置される入射面および出射面を有し、及び/又は、
前記光学素子は、前記少なくとも1つの分散素子に対するビーム経路内における位置及び向きの少なくとも一方において、前記少なくとも1つの分散素子とは無関係に調節可能である、
請求項3に記載の分散調節ユニット。 - 前記光学板は、前記少なくとも1つの分散素子に対するビーム経路内における位置及び向きの少なくとも一方において、前記少なくとも1つの分散素子とは無関係に調節可能である、
請求項1に記載の分散調節ユニット。 - 前記電磁放射の前記個々のスペクトル成分について前記入射面および前記出射面が実質的に平行であることによって、個々のスペクトル成分の前記光路の入射角および出射角は同一である、
請求項7または8に記載の分散調節ユニット。 - 前記光学素子は、前記光学素子の角度位置を調節するためにビーム経路に対して回転可能に取り付けられ、その結果、前記光路の入射角および出射角が、前記光学素子の入射面および出射面に対して調節可能である、又は
前記光学素子は、ファンアウト平面に対して実質的に直交する回転軸の周りに回転可能に取り付けられる、
請求項3に記載の分散調節ユニット。 - 前記光学板は、前記光学板の角度位置を調節するためにビーム経路に対して回転可能に取り付けられ、その結果、前記光路の入射角および出射角が、前記光学板の入射面および出射面に対して調節可能である、又は
前記光学板は、ファンアウト平面に対して実質的に直交する回転軸の周りに回転可能に取り付けられる、
請求項1に記載の分散調節ユニット。 - 前記光学素子は、互いに対して平行に、かつ互いに対してある角度で延びる光路によって広げられるファンアウト平面に対して垂直に配置される平面入射面および平面出射面を有する、又は、
前記光学素子の入射面及び出射面の少なくとも一方は、反射防止被覆される、
請求項3に記載の分散調節ユニット。 - 前記平面入射面および前記平面出射面は、互いに対してある角度で延びる光路によって広げられるファンアウト平面に対して垂直に配置され、
前記平面入射面および前記平面出射面の少なくとも一方は、反射防止被覆される、
請求項1に記載の分散調節ユニット。 - 前記光学素子は、少なくとも1つの平行平面板、又は、1対の反対方向に変位可能なウェッジを備える、又は、
前記光学素子の材料は、水晶、YAG、サファイア、またはSF10であり、及び/又は、少なくとも0.1mmの厚さ、又は、約0.5mmから約10mmまでの範囲内の厚さを有する、
請求項3に記載の分散調節ユニット。 - 前記光学素子の回転、前記光学素子の厚さの変更、屈折率の変更、及び、回折パラメータの変更の少なくとも1つは、前記少なくとも1つの分散素子の一定の位置を有する前記分散調節ユニットによって生み出される分散の変化を引き起こす、
請求項3に記載の分散調節ユニット。 - 前記調節デバイスは、前記分散調節ユニットの前、及び、後の少なくとも一方で、光ビーム経路の自己位相変調分散寄与を特に割り当てるために、パルス持続時間に依存する測定信号、パルス出力パラメータ、ピークパルス出力パラメータ、及び、パルスエネルギーパラメータの少なくとも1つに依存して前記分散調節ユニットの分散寄与を設定するように構成される、
請求項2又は3に記載の分散調節ユニット。 - (a)少なくとも1つの集束素子、又は、前記少なくとも1つの分散素子の前記相互作用領域間に光学望遠鏡構成を形成する2つの集束素子、及び、
(b)一方向での平行変位を伴う前記光路の後方反射のため、前記少なくとも1つの分散素子の前記相互作用領域の間に配置される反射素子、ルーフエッジミラー、または偏向プリズム、
の少なくとも一方を更に備え、
前記光学素子は、前記集束素子のうちの1つと、これに隣接する、前記少なくとも1つの分散素子の相互作用領域との間のビーム経路区間内に配置される、
請求項3に記載の分散調節ユニット。 - (a)少なくとも1つの集束素子、又は、前記少なくとも1つの分散素子の前記相互作用領域間に光学望遠鏡構成を形成する2つの集束素子、及び、
(b)一方向での平行変位を伴う前記光路の後方反射のため、前記少なくとも1つの分散素子の前記相互作用領域の間に配置される反射素子、ルーフエッジミラー、または偏向プリズム、
の少なくとも一方を更に備え、
前記光学板は、前記集束素子のうちの1つと、これに隣接する、前記少なくとも1つの分散素子の相互作用領域との間のビーム経路区間内に配置される、
請求項1に記載の分散調節ユニット。 - 前記光学ユニットは、前記少なくとも1つの分散素子の前記相互作用領域間のビーム経路中に回転可能に取り付けられる複数の光透過板を備え、
前記光透過板は、前記ビーム経路中に同一方向または逆方向にねじれて配置される、
請求項2又は3に記載の分散調節ユニット。 - (a)前記少なくとも1つの分散素子の前記相互作用領域および前記光学ユニットのビーム経路を逆に導く光学折返し素子、偏向プリズム、又は、偏向ミラーユニット、及び、
(b)少なくとも1つの別の分散素子の第2の対の相互作用領域、
の少なくとも一方をさらに備え、及び/又は、
前記少なくとも1つの分散素子は、1つまたは複数の光格子、1対の光格子、1つまたは複数のプリズム、1対のプリズム、1つまたは複数のグリズム、及び/又は、1対のグリズムを備える、
請求項1または3に記載の分散調節ユニット。 - スペクトル的に広いレーザパルスを生成するためのレーザパルス源と、
パルス圧縮、パルス伸長、及び/又は、パルス最適化、を行う、請求項1から20のいずれか一項に記載の少なくとも1つの分散調節ユニットと、
を備えるレーザシステム。 - 前記少なくとも1つの分散調節ユニットの光学ユニットの、角度位置、屈折率、厚さ、及び/又は、回折パラメータを設定するように構成された前記少なくとも1つの分散調節ユニットの調節デバイスを設定するための制御ユニット、をさらに備え、
パラメータセットが前記制御ユニット内に記憶され、前記制御ユニットと共に、前記調節デバイスが、適用のために与えられるパラメータを設定するために作動される、
請求項21に記載のレーザシステム。 - (a)前記調節デバイスを設定するための前記制御ユニットにパルス持続時間に依存する測定信号を出力するためのパルス持続時間測定デバイス、及び、
(b)前記調節デバイスを駆動するために前記制御ユニットに対する自己位相変調分散寄与を供給するためのパルスエネルギーパラメータ出力デバイス、
の少なくとも一方をさらに備える、
請求項22に記載のレーザシステム。 - 増幅器ユニットをさらに備え、
前記分散調節ユニットは、パルス伸長のために前記増幅器ユニットの上流側に配置される、又は、パルス圧縮のために前記増幅器ユニットの下流側に配置される、
請求項21から23のいずれか一項に記載のレーザシステム。 - レーザパルスのための分散調節の方法であって、
角分散領域内のパルスレーザビームをスペクトル的にファンアウトし、組み合わせることによって角分散部分を提供するステップと、
前記角分散領域内に光学素子を設けるステップであって、前記光学素子が、前記光学素子の入射面に対するスペクトル成分の入射角に依存する前記光学素子内の伝播方向を与えるステップと、
前記光学素子を回転することによって前記光学素子内の伝播方向、及び、伝播長の少なくとも一方を変更し、それによって、前記角分散部分に影響を及ぼすステップと、を含み、
伝播方向、及び、伝播長の少なくとも一方を変更する前記ステップは、前記角分散部分内で生み出される前記分散を変更するために、前記光学素子の厚さを変更することによってさらに影響を受ける、方法。 - 伝播方向、及び、伝播長の少なくとも一方を変更する前記ステップは、個々のスペクトル成分の伝播に対して、電磁放射の前記個々のスペクトル成分の入射角依存平行オフセットを生み出す、
請求項25に記載の方法。 - 分散調節後に前記レーザパルスのパルス持続時間を測定するステップ、及び、
分散を適合させるため、前記レーザパルスを圧縮または伸長するために、測定したパルス持続時間の関数として、前記光学素子内の伝播方向、及び、伝播長の少なくとも一方を設定するステップ、
をさらに含む、
請求項25または26に記載の方法。 - 自己位相変調分散寄与パラメータを与えるステップ、及び、
自己位相変調によって引き起こされるレーザパルスの伸長を補償するために、前記自己位相変調分散寄与パラメータの関数として、伝播方向、及び、伝播長の少なくとも一方を変更するステップ、
をさらに含む、
請求項25から27のいずれか一項に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102016110947.9A DE102016110947A1 (de) | 2016-06-15 | 2016-06-15 | Dispersionsanpassungseinheit |
DE102016110947.9 | 2016-06-15 | ||
PCT/EP2017/064228 WO2017216083A1 (de) | 2016-06-15 | 2017-06-12 | Dispersionsanpassungseinheit |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019522361A JP2019522361A (ja) | 2019-08-08 |
JP7287784B2 true JP7287784B2 (ja) | 2023-06-06 |
Family
ID=59030971
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018565311A Active JP7287784B2 (ja) | 2016-06-15 | 2017-06-12 | 分散調節ユニット |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11205883B2 (ja) |
EP (2) | EP3578287A1 (ja) |
JP (1) | JP7287784B2 (ja) |
KR (1) | KR102341226B1 (ja) |
CN (1) | CN109314362B (ja) |
DE (1) | DE102016110947A1 (ja) |
WO (1) | WO2017216083A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102018109405B3 (de) | 2018-04-19 | 2019-07-11 | Trumpf Laser Gmbh | Pulslängenanpassungseinheit, Lasersystem und Verfahren zur Pulslängenanpassung eines Laserpulses |
DE102020213122A1 (de) | 2020-10-19 | 2022-04-21 | Trumpf Laser Gmbh | Optische Anordnung zur Pulskompression eines gepulsten Laserstrahls und Lasersystem |
DE102021207334A1 (de) | 2021-07-12 | 2023-01-12 | Trumpf Laser Gmbh | Pulsmodifikationsvorrichtung mit mindestens einer Pulsstreckungs- und/oder Pulskompressionseinrichtung |
DE102021207332A1 (de) | 2021-07-12 | 2023-01-12 | Trumpf Laser Gmbh | Pulsmodifikationsvorrichtung mit einer passiven Umsetzungseinrichtung zur Kompensation von Umgebungseinflüssen |
WO2023143773A1 (de) | 2022-01-25 | 2023-08-03 | Trumpf Laser Gmbh | Verfahren und lasersystem zum erzeugen von ultrakurzen laserpulsen mit stabilen pulsparametern |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000187167A (ja) | 1998-12-22 | 2000-07-04 | Inst Of Physical & Chemical Res | 広帯域空間光位相変調器 |
JP2002502061A (ja) | 1998-01-28 | 2002-01-22 | コヒーレント・インク | 超短パルス伝送および伝播のための装置 |
JP2007267927A (ja) | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Fujifilm Corp | 光断層画像化方法および装置 |
JP2008518488A (ja) | 2004-12-20 | 2008-05-29 | イムラ アメリカ インコーポレイテッド | 調整可能なグレーティングコンプレッサを備えたパルスレーザ光源 |
JP2010171194A (ja) | 2009-01-22 | 2010-08-05 | Univ Of Electro-Communications | スペクトル位相補償方法及びスペクトル位相補償装置 |
US20110122484A1 (en) | 2007-11-30 | 2011-05-26 | Gaudiosi David M | Static phase mask for high-order spectral phase control in a hybrid chirped pulse amplifier system |
US20110242646A1 (en) | 2008-09-12 | 2011-10-06 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. | Device for amplifying light pulses |
DE102010018967A1 (de) | 2010-04-29 | 2011-11-03 | Carl Zeiss Microlmaging Gmbh | Anordnung und Verfahren zur nichtlinearen Mikroskopie |
CN104391416A (zh) | 2014-11-24 | 2015-03-04 | 深圳大学 | 一种中红外啁啾脉冲放大装置 |
US20150295378A1 (en) | 2014-04-14 | 2015-10-15 | Deutsches Elektronen-Synchrotron Desy | Device and method for stretching or compressing laser pulses |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0731334B2 (ja) * | 1986-10-20 | 1995-04-10 | 日本電信電話株式会社 | 光パルス圧縮装置 |
US5499134A (en) * | 1994-08-24 | 1996-03-12 | Imra America | Optical pulse amplification using chirped Bragg gratings |
US5847863A (en) * | 1996-04-25 | 1998-12-08 | Imra America, Inc. | Hybrid short-pulse amplifiers with phase-mismatch compensated pulse stretchers and compressors |
US6320191B1 (en) * | 1998-03-27 | 2001-11-20 | Picometrix, Inc. | Dispersive precompensator for use in an electromagnetic radiation generation and detection system |
US6555781B2 (en) * | 1999-05-10 | 2003-04-29 | Nanyang Technological University | Ultrashort pulsed laser micromachining/submicromachining using an acoustooptic scanning device with dispersion compensation |
FR2872592B1 (fr) | 2004-07-02 | 2006-09-15 | Thales Sa | Chaine amplificatrice pour la generation d'impulsions lumineuses ultracourtes de durees d'impulsions differentes |
US7822347B1 (en) | 2006-03-28 | 2010-10-26 | Raydiance, Inc. | Active tuning of temporal dispersion in an ultrashort pulse laser system |
CN2890991Y (zh) * | 2006-04-12 | 2007-04-18 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 激光脉冲展宽与压缩装置 |
US7688493B2 (en) * | 2007-06-11 | 2010-03-30 | Coherent, Inc. | Non-fourier pulse-shapers including a combined pulse-shaper and pulse-compressor |
CN101231384B (zh) * | 2008-02-26 | 2010-09-01 | 上海激光等离子体研究所 | 用于啁啾脉冲放大的自准直平面调制光谱调制整形装置 |
DE102008022724B4 (de) * | 2008-05-06 | 2010-02-11 | Freie Universität Berlin | Pulsshaper und Infrarotlaser mit Pulsshaper |
JP5702718B2 (ja) * | 2008-05-30 | 2015-04-15 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ | 高次分散補償装置 |
US8780440B2 (en) | 2009-08-03 | 2014-07-15 | Lawrence Livermore National Security, Llc | Dispersion compensation in chirped pulse amplification systems |
FR2953945B1 (fr) * | 2009-12-10 | 2011-12-30 | Fastlite | Dispositif pour la compensation de la dispersion temporelle appliquee a la generation d'impulsions lumineuses ultra breves. |
US8824041B2 (en) * | 2011-08-03 | 2014-09-02 | Calmar Optcom, Inc. | Reconfigurable repetition rate and energy chirped pulse amplification fiber laser |
FR2998382B1 (fr) * | 2012-11-19 | 2015-01-16 | Fastlite | Dispositif pour la compensation de dispersion temporelle applique a la generation d'impulsions lumineuses ultra breves. |
US9306369B2 (en) * | 2013-11-22 | 2016-04-05 | Trumpf Laser Gmbh | Wavelength selective external resonator and beam combining system for dense wavelength beam combining laser |
EP3103166B1 (en) | 2014-02-03 | 2022-03-16 | IPG Photonics Corporation | High power ultrashort pulsed fiber laser |
-
2016
- 2016-06-15 DE DE102016110947.9A patent/DE102016110947A1/de not_active Withdrawn
-
2017
- 2017-06-12 EP EP19188649.8A patent/EP3578287A1/de active Pending
- 2017-06-12 KR KR1020197000884A patent/KR102341226B1/ko active IP Right Grant
- 2017-06-12 JP JP2018565311A patent/JP7287784B2/ja active Active
- 2017-06-12 CN CN201780037328.2A patent/CN109314362B/zh active Active
- 2017-06-12 EP EP17728870.1A patent/EP3471912B1/de active Active
- 2017-06-12 WO PCT/EP2017/064228 patent/WO2017216083A1/de unknown
-
2018
- 2018-12-14 US US16/220,380 patent/US11205883B2/en active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002502061A (ja) | 1998-01-28 | 2002-01-22 | コヒーレント・インク | 超短パルス伝送および伝播のための装置 |
JP2000187167A (ja) | 1998-12-22 | 2000-07-04 | Inst Of Physical & Chemical Res | 広帯域空間光位相変調器 |
JP2008518488A (ja) | 2004-12-20 | 2008-05-29 | イムラ アメリカ インコーポレイテッド | 調整可能なグレーティングコンプレッサを備えたパルスレーザ光源 |
JP2007267927A (ja) | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Fujifilm Corp | 光断層画像化方法および装置 |
US20110122484A1 (en) | 2007-11-30 | 2011-05-26 | Gaudiosi David M | Static phase mask for high-order spectral phase control in a hybrid chirped pulse amplifier system |
US20110242646A1 (en) | 2008-09-12 | 2011-10-06 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. | Device for amplifying light pulses |
JP2010171194A (ja) | 2009-01-22 | 2010-08-05 | Univ Of Electro-Communications | スペクトル位相補償方法及びスペクトル位相補償装置 |
DE102010018967A1 (de) | 2010-04-29 | 2011-11-03 | Carl Zeiss Microlmaging Gmbh | Anordnung und Verfahren zur nichtlinearen Mikroskopie |
US20150295378A1 (en) | 2014-04-14 | 2015-10-15 | Deutsches Elektronen-Synchrotron Desy | Device and method for stretching or compressing laser pulses |
CN104391416A (zh) | 2014-11-24 | 2015-03-04 | 深圳大学 | 一种中红外啁啾脉冲放大装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN109314362A (zh) | 2019-02-05 |
KR20190016108A (ko) | 2019-02-15 |
KR102341226B1 (ko) | 2021-12-17 |
CN109314362B (zh) | 2021-10-29 |
EP3471912A1 (de) | 2019-04-24 |
JP2019522361A (ja) | 2019-08-08 |
DE102016110947A1 (de) | 2017-12-21 |
US11205883B2 (en) | 2021-12-21 |
WO2017216083A1 (de) | 2017-12-21 |
US20190123504A1 (en) | 2019-04-25 |
EP3471912B1 (de) | 2021-12-22 |
EP3578287A1 (de) | 2019-12-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7287784B2 (ja) | 分散調節ユニット | |
JP7430748B2 (ja) | エキシマ光源におけるスペックルの低減 | |
US7444049B1 (en) | Pulse stretcher and compressor including a multi-pass Bragg grating | |
US7903326B2 (en) | Static phase mask for high-order spectral phase control in a hybrid chirped pulse amplifier system | |
JP2023502411A (ja) | レーザーの高調波の特性を最適化するための周波数変換装置 | |
US8724207B1 (en) | Laser pulse temporal, spectral and spatial shaping devices based on volume diffractive gratings with spatially variable parameters | |
EP2933882B1 (en) | Device and method for stretching or compressing laser pulses | |
EP2672244B1 (en) | Phase-locked delay device including two optical wedge pairs | |
Holgado et al. | Tunable high-harmonic generation by chromatic focusing of few-cycle laser pulses | |
KR102210160B1 (ko) | 펄스 레이저 장치 | |
Show et al. | Single-shot measurement of overall degree of spectral coherence: Bulk-generated supercontinuum case | |
Ionel | Spatio-temporal analysis of the distorted chirped pulse amplification laser beam in focus | |
Ionel | Numerical analysis of spatial distortions in a single-grating chirped pulse amplification system | |
CN116097530A (zh) | 用于非线性脉冲压缩的激光系统和光栅压缩器 | |
WO2023017419A1 (en) | Method and apparatus for ultrafast selection of optical spectrum | |
CN114488553A (zh) | 一种宽光谱大量程的超短脉冲三阶色散调节装置 | |
Cunningham | Towards High-flux Isolated Attosecond Pulses with A 200 TW CPA | |
NL2009996C2 (en) | Method for producing tuneable narrow-bandwidth light pulses from a source of short light pulses. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200514 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210528 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210608 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20210902 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211025 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220308 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220316 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220726 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221021 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221024 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20221028 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20221031 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20221221 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230320 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20230320 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20230404 |
|
C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21 Effective date: 20230412 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230426 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230525 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7287784 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |