JP2013067026A - インクジェットへッド - Google Patents
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Abstract
【課題】ノズルプレートを薄型化しても、インクを良好に吐出できるようにする。
【解決手段】ノズルプレートに、圧電体膜とこの圧電体膜を動作させてインク圧力室内のインクをノズルから吐出させる駆動電極とからなるアクチュエータを一体的に配設するインクジェットヘッドにおいて、前記アクイチュエータに前記インク圧力室側に向かって突設され、内部に前記ノズルと前記インク圧力室とを連通させてノズル長を延伸させる通路を有するノズル延伸部を具備する。
【選択図】図3
Description
図7は上記したノズル延伸部119の第1の他の製造方法を示すものである。
図8は上記したノズル延伸部119の第2の他の製造方法を示すものである。
図9は上記したノズル延伸部119の第3の他の製造方法を示すものである。
図10は上記したノズル延伸部119の第4の他の製造方法を示すものである。
Claims (5)
- ノズルプレートに、圧電体膜とこの圧電体膜を動作させてインク圧力室内のインクをノズルから吐出させる駆動電極とからなるアクチュエータを一体的に配設するインクジェットヘッドにおいて、
前記アクイチュエータに前記インク圧力室側に向かって突設され、内部に前記ノズルと前記インク圧力室とを連通させてノズル長を延伸させる通路を有するノズル延伸部を具備することを特徴とするインクジェットへッド。 - 前記ノズル延伸部は、前記アクチュエータに感光性樹脂を所定の厚さで塗布し、プリベークを行なったのち、所望の形状になるようにフォトマスクを介して露光を行ない、現像、ポストベークを行なって形成されることを特徴とする請求項1記載のインクジェットへッド。
- 前記ノズル延伸部は、前記アクチュエータに印刷インキを塗布し、この塗布後、約120℃の雰囲気で、硬化されて形成されることを特徴とする請求項1記載のインクジェットへッド。
- 前記ノズル延伸部は、前記アクチュエータにレジストを所望の厚みとなるように塗布し、プリベークを行った後に所望の形状となるようにフォトマスクを介して露光を行い、現像、ポストベークを行って、レジストパターンを形成したのち、このパターンを用いてメッキを行って形成されることを特徴とする請求項1記載のインクジェットへッド。
- 前記ノズル延伸部は、アクチュエータにディスペンサを用いて感光性樹脂を所望の厚みとなるように滴下硬化されて形成され、この硬化後、レーザー光が照射されて前記ノズル及び通路が形成されることを特徴とする請求項1記載のインクジェットへッド。
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