JP2013065723A - ナノインプリント方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】モールドを押し付けてパターニングした未効果のレジスト上に、再度(1回または複数回にわたり)モールドを押し付けることによってパターニングを行う。つまり、同一レジスト上でダブルパターニングを行う。レジストとしては、硬化前に2度以上のパターニングが可能なものを使用する。再度のパターニングは、最初のパターニングに使用したモールドを、位置を変えて(それまでにパターニングを施した範囲から完全には逸脱しない範囲で位置を変えて)使用するのがよい。
【選択図】図1
Description
ナノインプリントリソグラフィーでは、微細なパターンを有しているモールドをレジストに直接押し付け、パターンを転写する。そのナノインプリント技術の方式としては熱ナノインプリント、光ナノインプリント、室温ナノインプリントが主に挙げられる。インプリント方式によって熱可塑性樹脂や光硬化性樹脂、ゾルゲル系材料を用いるなどレジストの違いはあれど、いずれの場合も基本的に1度の転写でパターニングを行う。
下に示す文献1〜3のそれぞれには、熱ナノインプリント、光ナノインプリント、室温ナノインプリントの各技術が記載されている。
フォトリソグラフィーでは縮小投影露光法で露光するため、マスク上に描かれるパターンは実際にレジスト上に露光したいパターンより一般的に4倍大きく描かれている。ダブルパターニングではマスクを2枚用意し、各マスクにレジスト上に露光したいパターンの半分ずつのパターンを描く。マスク上に必要なパターンを減らすことで、より微細なパターンを描くことが可能となる。そして、まず1枚目のマスクで露光、現像し(図4(a)・(b))、高精度の位置合わせを行った後、2枚目のマスクで露光、現像を行う(図4(c)〜(e))。このようにして、従来に比べて微細なパターンを露光することが可能となった。
しかしながら、フォトリソグラフィー技術におけるダブルパターニング法では、露光工程が2倍に増え、さらに必要なマスクも増える事から、スループットが悪くなりコストが増大する、という課題がある。
フォトリソグラフィーにおけるダブルパターニング法については、下記の文献4・5に記載されている。
そしてレジストの硬化は、最後のパターニングのためにレジストにモールドを押し付けた際にのみ行う。たとえば光ナノインプリントのためにレジストとしてUV硬化レジストを使用する場合、レジストへのUV照射は、最後にモールドを押し付けた際にのみ行う。
そうすると、電子ビーム描画法を採用することからモールド(のインプリント面)に微細なパターンを形成しやすいうえ、複数回のパターニングに同一のモールドを使用することからモールドの所要作製数を最小限にすることができるため、精度とコストの両面において有利な効果がもたらされる。
各部がそのような寸法関係にあれば、最初のパターニングの後、レジストとモールドとの相対位置を適切にずらして再度のパターニングを行うことにより、最初のパターニングで形成されたレジスト表面の凸部に、再度のパターニングによって新たな凹部を形成することができる。モールドのインプリント面における凸部の寸法(線幅等)が凹部の寸法(溝幅等)の2分の1以下であるため、再度のパターニングによって、レジスト上に独立した新たな凹部を形成できるのである。
そのようなレジストを使用すれば、上記したダブルパターニングを円滑に実施することができる。たとえば、光ナノインプリントに用いるUV硬化レジストとして、ダイセル化学工業(株)のNICT110等が適切であり、室温ナノインプリントレジストとしては、東京応化工業(株)の有機spin-on-glass(O-SOG)であるOCNL540等が好ましい。
HD-1100TH(ダイキン工業(株))を用いてモールド表面に離型膜を成膜した。NICT110は1-methoxypropylacetate
(MMPGAC)を用いて約13wt%に希釈し、スピンコート時の膜厚が約250nmになるよう調整した。ナノインプリント圧力は1回目が3MPa、2回目が5MPaで行った。UV波長は365nm、照度50mW/cm2、照射時間は120秒である。
Claims (4)
- モールドを押し付けてパターニングした未硬化のレジスト上に、再度モールドを押し付けることによってパターニングを行うことを特徴とするナノインプリント方法。
- 上記のモールドは電子ビーム描画法によって作製し、最初のパターニングに使用したモールドを、位置を変えて再度のパターニングに使用することを特徴とする請求項1に記載のナノインプリント方法。
- 上記のモールドは、インプリント面における凸部の寸法が同面における凹部の寸法の2分の1以下であることを特徴とする請求項2に記載のナノインプリント方法。
- 上記のレジストとして、硬化前に2度以上のパターニングが可能なものを使用することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のナノインプリント方法。
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