JP2013045869A - チャックテーブル及び該チャックテーブルを備えた加工装置 - Google Patents
チャックテーブル及び該チャックテーブルを備えた加工装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 剛体からなる支持基板と、該支持基板より小さい面積を有し該支持基板上に固定された板状物とからなる板状物ユニットを保持するチャックテーブルであって、該板状物ユニットの該支持基板側を保持する保持面と、該支持基板の外周縁より内側且つ板状物の外周縁より外側の該保持面上に形成された吸引溝と、一端が該吸引溝に連通し他端が吸引源に連通する吸引路と、を具備したことを特徴とする。
【選択図】図3
Description
11 ウエーハ
13 支持基板
15 ウエーハユニット
28 仕上げ研削ユニット
44 ターンテーブル
46 チャックテーブル
46a 保持面
72 テーブルベース
74 環状吸引溝
76 吸引孔
78 凹部
80 吸引路
84 吸引源
Claims (2)
- 剛体からなる支持基板と、該支持基板より小さい面積を有し該支持基板上に固定された板状物とからなる板状物ユニットを保持するチャックテーブルであって、
該板状物ユニットの該支持基板側を保持する保持面と、
該支持基板の外周縁より内側且つ板状物の外周縁より外側の該保持面上に形成された吸引溝と、
一端が該吸引溝に連通し他端が吸引源に連通する吸引路と、
を具備したことを特徴とするチャックテーブル。 - 請求項1記載のチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持された板状物ユニットの板状物に加工を施す加工手段と、を具備した加工装置。
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