JP2013033273A - 光照射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】紫外線源(光源)としてのランプ40から出射され、該ランプ40の下方に配置された遮光マスクMを透過した紫外線UVを、該遮光マスクMの下方に配置された被照射体としての貼り合わせ基板Wに照射させる紫外線照射装置において、遮光マスクMの上方に設けられた支持部材としてのホルダ部材24に吊下支持され、光透過性を有し、真空吸引により遮光マスクMを吸着保持する吸着管30を備える。
【選択図】図1
Description
図1に示す紫外線照射装置は、液晶パネルを構成する貼り合わせ基板W(図中、中央上部)の間に介在された紫外線硬化性樹脂よりなるシール材S(図2参照)に紫外線UVを照射することで、そのシール材Sを硬化させるためのものである。尚、シール材Sが介在された貼り合わせ基板Wは、パネル製造装置におけるシール材塗布工程、液晶滴下工程及びプレス工程にて成形されるものである。これらの工程により、貼り合わせ基板W間にはシール材Sが板面に沿って枠状に形成され、そのシール材Sの枠中には滴下された液晶Lが存在している(図2参照)。
(1)本実施形態では、遮光マスクMの上方に設けられた支持部材としてのホルダ部材24に吊下支持され、光透過性を有し、真空吸引により遮光マスクMを吸着保持する吸着管30を備える。この構成によれば、遮光マスクMが吸着管30に直接的に吸着保持されるため、板状のマスク保持部材が不要となり、その結果、紫外線源(光源)としてのランプ40から出射され被照射体としての貼り合わせ基板Wに照射される紫外線UVの紫外線量を増加させることが可能となる。更には、吸着管30は光透過性を有するため、貼り合わせ基板Wに照射される紫外線UVのムラを抑えることができる。また、遮光マスクMを容易に着脱することが可能となり、遮光マスクMの交換性を向上させることができる。
・上記実施形態では、第1の管材31及び第2の管材32に石英ガラスが用いられたが、これ以外に例えば、高透過ガラスやi線ガラス等を用いてもよい。
(イ)前記支持部材は、前記光源から出射される光の光路から外れた位置に設けられたことを特徴とする光照射装置。
(ロ)前記吸着管は、前記支持部材に支持される第1の管材と、該第1の管材の下端部が挿入された第2の管材とから構成されたことを特徴とする光照射装置。
この光照射装置では、第2の管材の軸方向端面は研磨処理された研磨面であるため、第2の管材の軸方向端面に入射する光、又は該軸方向端面から出射する光の拡散が抑制され、被照射体に照射される光の光量をより増加させることができる。
この光照射装置では、吸着管に光の透過率が比較的高い石英ガラスを用いることで、被照射体に照射される光の光量をより増加させることができる。
この光照射装置では、吸着管を保持する支持部材が水平方向に移動させることにより、吸着管の配置位置が変更可能となる。これにより、遮光マスクの種類を変更したときに、遮光マスクにおける遮光部に対応する位置で吸着させることが可能となり、その結果、光源からの光を吸着管に透過させずに遮光マスクの透光部に照射させることが可能となる。
この光照射装置では、遮光マスクの周縁部が、該遮光マスクの側方の支持体に支持された周縁部吸着管に吸着保持されるため、遮光マスクを安定して保持することができ、該遮光マスク及び支持部材に支持された吸着管のぐらつきを抑制することができる。
この光照射装置では、遮光マスクの周縁部が、該遮光マスクの側方の支持体に支持された周縁部吸着管に吸着保持されるため、遮光マスクを安定して保持することができ、該遮光マスク及び支持部材に支持された吸着管のぐらつきを抑制することができる。
Claims (1)
- 光源から出射され、該光源の下方に配置された遮光マスクを透過した光を、該遮光マスクの下方に配置された被照射体に照射させる光照射装置であって、
前記遮光マスクの上方に設けられた支持部材に支持されて前記遮光マスクの真空吸引に用いられる光透過性を有した吸着管により前記遮光マスクを吸着保持することを特徴とする光照射装置。
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