JP2013016494A - 電子顕微鏡用試料箱 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子顕微鏡用試料箱は、第1の基板11、第2の基板12及び金属密着層13を備える。第1の基板11は、第1の表面111、第2の表面112、第1の凹溝113及び少なくとも1つの第1のガイド孔114を有する。第1の凹溝113は、第2の表面112に設けられる。第1の表面111上には、第1の凹溝113に対応した第1の薄膜115が形成される。第1のガイド孔114が、第1の凹溝113の外周に設けられるとともに第1の基板11に穿設される。第2の基板12は、第3の表面121、第4の表面122及び第2の凹溝123を有する。
【選択図】図2
Description
本発明のもう一つの目的は、電子顕微鏡の真空度を低下させずに気体又は液体の試料を試料箱中へ完全に密封させることができる密封度が高い電子顕微鏡用試料箱を提供することにある。
図1〜図3を参照する。図1は、本実施例の電子顕微鏡用試料箱を示す平面図である。図2は、図1の線A−A’に沿った本実施例の電子顕微鏡用試料箱を示す断面斜視図である。図3は、図1の線A−A’に沿った本実施例の電子顕微鏡用試料箱を示す断面図である。図1〜図3に示すように、本発明の電子顕微鏡用試料箱は、第1の基板11、第2の基板12及び金属密着層13を含む。本実施例の第1の基板11及び第2の基板12は、シリコン基板である。第1の基板11及び第2の基板12の厚さは、それぞれ250μmである。
図4を参照する。図4は、本発明の第2実施例に係る電子顕微鏡用試料箱を示す断面図である。第2実施例は、第1実施例と略同じであり、金属密着層13が第2の表面112と第2の保護層126との間に配置され、金属密着層13がSn−In共晶半田である点だけが異なる。
図5を参照する。図5は、本発明の第3実施例に係る電子顕微鏡用試料箱を示す断面図である。第3実施例は、第1実施例及び第2実施例と略同じであり、金属密着層13が第2の表面112と第2の保護層126との間に配置され、0.2mm3の空間14が形成される点だけが異なる。本実施例の空間14の体積は、第1実施例及び第2実施例の空間14より小さい。第3実施例の試料箱が収納可能な試料体積は、第1実施例及び第2実施例より小さいが、第1実施例及び第2実施例より解像度が好ましい。そのため、観察する試料の体積、所望の電子顕微鏡の解像度の大きさに応じて、空間14の体積が異なる電子顕微鏡用試料箱を選択することができる。
図6を参照する。図6は、本発明の第4実施例に係る電子顕微鏡用試料箱を示す断面図である。第4実施例は、第3実施例と略同じであるが、第1の薄膜115、第1の保護層116、第2の薄膜125及び第2の保護層126により、第1の凹溝113及び第2の凹溝123の底部だけを覆い、第1の凹溝113及び第2の凹溝123の構造強度を高め、凹溝が破裂して試料が溢れ出ることを防ぐことができる上、エッチングの選択肢を増やすこともできる。
12 第2の基板
13 金属密着層
14 空間
15 プラグ
111 第1の表面
112 第2の表面
113 第1の凹溝
114 第1のガイド孔
115 第1の薄膜
116 第1の保護層
121 第3の表面
122 第4の表面
123 第2の凹溝
124 第2のガイド孔
125 第2の薄膜
126 第2の保護層
Claims (22)
- 第1の基板、第2の基板及び金属密着層を備えた電子顕微鏡用試料箱であって、
前記第1の基板は、第1の表面、第2の表面、第1の凹溝及び少なくとも1つの第1のガイド孔を有し、前記第1の凹溝は、前記第2の表面に設けられ、前記第1の表面上には、前記第1の凹溝に対応した第1の薄膜が形成され、前記第1のガイド孔が、前記第1の凹溝の外周に設けられるとともに前記第1の基板に穿設され、
前記第2の基板は、第3の表面、第4の表面及び第2の凹溝を有し、前記第2の凹溝は、前記第4の表面に設けられ、前記第3の表面上には、前記第2の凹溝に対応した第2の薄膜が形成され、
前記金属密着層は、前記第1の基板と前記第2の基板との間に形成され、
前記第1の基板、前記第2の基板及び前記金属密着層により空間が画成されることを特徴とする電子顕微鏡用試料箱。 - 前記第1のガイド孔は前記第1の薄膜に穿設されることを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡用試料箱。
- 前記金属密着層は、前記第2の表面と前記第4の表面との間に形成してあることを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡用試料箱。
- 前記金属密着層は、前記第2の表面と前記第2の薄膜との間に形成してあることを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡用試料箱。
- 前記金属密着層は、前記第1の薄膜と前記第2の薄膜との間に形成してあることを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡用試料箱。
- 前記第2の基板は、少なくとも1つの第2のガイド孔を含み、
前記第2のガイド孔は、前記第2の凹溝の外周に設けられて前記第2の基板に穿設されることを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡用試料箱。 - 前記第1のガイド孔の孔径は10〜1000μmであることを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡用試料箱。
- 前記第2のガイド孔の孔径は10〜1000μmであることを特徴とする請求項6に記載の電子顕微鏡用試料箱。
- 前記第1のガイド孔に挿入する少なくとも1つのプラグをさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡用試料箱。
- 前記第2のガイド孔に挿入する少なくとも1つのプラグをさらに備えることを特徴とする請求項6に記載の電子顕微鏡用試料箱。
- 前記第1の薄膜及び前記第2の薄膜は、二酸化ケイ素(SiO2)、窒化ケイ素(Si3N4)又はそれらの組み合わせからなることを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡用試料箱。
- 前記第1の薄膜及び前記第2の薄膜の厚さは1〜100nmであることを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡用試料箱。
- 前記第1の薄膜の外層には、第1の保護層が形成してあることを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡用試料箱。
- 前記第1の保護層は、窒化ケイ素(Si3N4)からなることを特徴とする請求項13に記載の電子顕微鏡用試料箱。
- 前記第2の薄膜の外層には、第2の保護層が形成してあることを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡用試料箱。
- 前記第2の保護層は、窒化ケイ素(Si3N4)からなることを特徴とする請求項15に記載の電子顕微鏡用試料箱。
- 前記第1の基板及び前記第2の基板は、シリコン基板、ガラス基板又はポリマー基板であることを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡用試料箱。
- 前記第1の基板及び前記第2の基板の厚さは10〜1000μmであることを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡用試料箱。
- 前記金属密着層は、Ti、Cr、Sn、In、Bi、Cu、Ag、Ni、Zn、Au及びTi−W合金からなる群から選ばれる1種以上を含む金属材料からなることを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡用試料箱。
- 前記プラグは、Ni−Ti合金、銅ベース合金、Cu−Zn合金、Cu−Al−Mn合金、Cu−Al−Ni合金、Cu−Al−Be合金、Cu−Al−Be−Zr合金及びCu−Al−Ni−Be合金からなる群から選ばれる1種以上を含むことを特徴とする請求項9に記載の電子顕微鏡用試料箱。
- 前記第1の凹溝及び前記第2の凹溝の形状は、円柱体、錐体、正方体又は長方体であることを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡用試料箱。
- 前記第1の基板、前記第2の基板及び前記金属密着層により画成される空間の体積は0.01〜100mm3であることを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡用試料箱。
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