JP2013011567A - トルク計測装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】トルク計測装置1は、1次側構造体4と、2次側構造体3と、の間に架け渡された金属製かつ梁状の起歪部5と、起歪部5におけるトルク中心軸に垂直な面に配置され、起歪部5の歪量を検出する薄膜型歪センサと、薄膜型歪センサによって検出された歪量に基づいて直接トルク計算を行う信号処理部と、を備えている。起歪部5を介して一方の構造体から他方の構造体へトルクが伝達されている。
【選択図】図1
Description
この一態様において、前記歪抵抗膜は、Cr−N薄膜であってもよい。
1次側構造体4から2次側構造体3へ、あるいは2次側構造体4から1次側歪体3へ起歪部5を介してトルクが伝達され、1次側構造体4と2次側構造体3とは円周方向に相対変位する。これにより、1次側構造体4と2次側構造体3とを夫々接続する各起歪部5に円周方向に歪みが生じる。各薄膜型歪センサ6は、この起歪部5の円周方向に生じた歪みを検出する。
主制御回路14は、各薄膜型歪センサ6で構成されたブリッジ回路からの出力信号に応じた歪み値と、対応する各温度センサ7からの出力信号に応じた温度値と、に基づいて、周知のトルク換算演算及び温度補正演算を行い、トルクを算出する。主制御回路14には、例えば、サーボコントローラ15が接続されており、サーボコントローラ15は、主制御回路14により算出されたトルクに基づいて、サーボモータ16を制御する。
なお、信号処理回路10は、上記構成に加えて、無線通信機能を有する回路を含んでいてもよい。これにより、算出したトルクを離れた位置にある機器に対して容易に送信することができる。
例えば、上記実施の形態において、Cr−N薄膜により構成された薄膜型歪センサ6を用いて起歪部5の歪を検出しているが、これに限らず、酸化クロム薄膜により構成された薄膜型歪センサを用いてもよい。なお、酸化クロム薄膜により構成された薄膜型歪センサであっても、Cr−N薄膜により構成された薄膜型歪センサ6と同様に、スクリーン印刷技術などを用いて起歪部5のトルク中心軸に垂直な面上に形成することができる。
2 歪み検出部
3 2次側構造体
4 1次側構造体
5 起歪部
6 薄膜型歪センサ
7 温度センサ
8 配線パターン
9 電極
10 信号処理回路
Claims (9)
- 1次側構造体と、2次側構造体と、の間に架け渡された金属製かつ梁状の起歪部を備え、当該起歪部を介して一方の前記構造体から他方の前記構造体へトルクが伝達されるトルク計測装置であって、
前記起歪部におけるトルク中心軸に垂直な面に配置され、前記起歪部の歪量を検出する薄膜型歪センサと、
当該薄膜型歪センサによって検出された歪量に基づいて直接トルク計算を行う信号処理部と、
を備えたトルク計測装置。 - 請求項1記載のトルク計測装置であって、
前記薄膜型歪センサの近傍に設けられ、温度を検出する温度センサを更に備え、
前記信号処理部は、前記薄膜型歪センサにより検出された歪量と、前記温度センサにより検出された温度と、に基づいて、前記直接トルク計算を行う、ことを特徴とするトルク計測装置。 - 請求項2記載のトルク計測装置であって、
前記薄膜型歪センサと、該薄膜型歪センサ及び温度センサに一端側が接続された配線パターンと、該配線パターンの他端側に接続された電極と、が一体的に、前記1次側構造体及び起歪部に取付けられている、ことを特徴とするトルク計測装置。 - 請求項3記載のトルク計測装置であって、
前記起歪部におけるトルク中心軸に垂直な面には、複数の前記薄膜型歪センサが配置されており、前記配線パターンの長さは均一になっている、ことを特徴とするトルク計測装置。 - 請求項3又は4記載のトルク計測装置であって、
前記薄膜型歪センサ、前記温度センサ、前記配線パターン、及び前記電極は、薄膜付け処理により一体的に取付けされている、ことを特徴とするトルク計測装置。 - 請求項1乃至5のうちずれか1項記載のトルク計測装置であって、
前記薄膜型歪センサは、前記起歪部の側面上に積層された絶縁膜と、該絶縁膜上に積層された歪抵抗膜と、該歪抵抗膜上に積層された電極膜と、を有していることを特徴とするトルク計測装置。 - 請求項6記載のトルク計測装置であって、
前記歪抵抗膜は、Cr−N薄膜である、ことを特徴とするトルク計測装置。 - 請求項3乃至5のうちいずれか1項記載のトルク計測装置であって、
前記1次側構造体の電極上に前記信号処理部の基板が一体的に配置されている、ことを特徴とするトルク計測装置。 - 請求項2乃至5のうちいずれか1項記載のトルク計測装置であって、
前記温度センサは、前記1次側構造体において歪変形が少ない位置に取り付けられている、ことを特徴とするトルク計測装置。
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017090264A (ja) * | 2015-11-11 | 2017-05-25 | 株式会社ロボテック | トルク検出器 |
JP2018132312A (ja) * | 2017-02-13 | 2018-08-23 | 日本電産コパル電子株式会社 | 薄膜歪センサとそれを用いたトルクセンサ |
JP2019184466A (ja) * | 2018-04-12 | 2019-10-24 | 株式会社小野測器 | トルク計測装置 |
JP2021025956A (ja) * | 2019-08-08 | 2021-02-22 | 株式会社エー・アンド・デイ | 計測装置 |
US10955309B2 (en) * | 2017-02-13 | 2021-03-23 | Nidec Copal Electronics Corporation | Torque sensor |
JP2021073457A (ja) * | 2021-01-26 | 2021-05-13 | 日本電産コパル電子株式会社 | 薄膜歪センサとそれを用いたトルクセンサ |
WO2021117855A1 (ja) * | 2019-12-13 | 2021-06-17 | 長野計器株式会社 | トルクセンサ |
US20210404896A1 (en) * | 2020-06-29 | 2021-12-30 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Force sensor |
US20210404890A1 (en) * | 2020-06-29 | 2021-12-30 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Force sensor |
CN116005083A (zh) * | 2023-03-23 | 2023-04-25 | 松诺盟科技有限公司 | 一种用于扭矩轴的非晶材料、扭矩轴及扭矩传感器 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6817841B2 (ja) * | 2017-02-17 | 2021-01-20 | 日本電産シンポ株式会社 | 電動機付き減速機 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06307950A (ja) * | 1993-04-20 | 1994-11-04 | Tokyo Electric Co Ltd | 歪センサ |
JPH0835895A (ja) * | 1994-01-29 | 1996-02-06 | British Autogard Ltd | トルク表示装置 |
JP2001221696A (ja) * | 2000-02-10 | 2001-08-17 | Res Inst Electric Magnetic Alloys | 感温感歪複合センサ |
JP2007040774A (ja) * | 2005-08-02 | 2007-02-15 | Ono Sokki Co Ltd | トルク計 |
JP2009288187A (ja) * | 2008-05-30 | 2009-12-10 | Toyota Motor Corp | ロードセル |
-
2011
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06307950A (ja) * | 1993-04-20 | 1994-11-04 | Tokyo Electric Co Ltd | 歪センサ |
JPH0835895A (ja) * | 1994-01-29 | 1996-02-06 | British Autogard Ltd | トルク表示装置 |
JP2001221696A (ja) * | 2000-02-10 | 2001-08-17 | Res Inst Electric Magnetic Alloys | 感温感歪複合センサ |
JP2007040774A (ja) * | 2005-08-02 | 2007-02-15 | Ono Sokki Co Ltd | トルク計 |
JP2009288187A (ja) * | 2008-05-30 | 2009-12-10 | Toyota Motor Corp | ロードセル |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017090264A (ja) * | 2015-11-11 | 2017-05-25 | 株式会社ロボテック | トルク検出器 |
JP2018132312A (ja) * | 2017-02-13 | 2018-08-23 | 日本電産コパル電子株式会社 | 薄膜歪センサとそれを用いたトルクセンサ |
US10955309B2 (en) * | 2017-02-13 | 2021-03-23 | Nidec Copal Electronics Corporation | Torque sensor |
JP7025981B2 (ja) | 2018-04-12 | 2022-02-25 | 株式会社小野測器 | トルク計測装置 |
JP2019184466A (ja) * | 2018-04-12 | 2019-10-24 | 株式会社小野測器 | トルク計測装置 |
JP2021025956A (ja) * | 2019-08-08 | 2021-02-22 | 株式会社エー・アンド・デイ | 計測装置 |
CN114761774B (zh) * | 2019-12-13 | 2024-03-29 | 长野计器株式会社 | 转矩传感器 |
WO2021117855A1 (ja) * | 2019-12-13 | 2021-06-17 | 長野計器株式会社 | トルクセンサ |
CN114761774A (zh) * | 2019-12-13 | 2022-07-15 | 长野计器株式会社 | 转矩传感器 |
US20210404890A1 (en) * | 2020-06-29 | 2021-12-30 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Force sensor |
US20210404896A1 (en) * | 2020-06-29 | 2021-12-30 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Force sensor |
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JP2021073457A (ja) * | 2021-01-26 | 2021-05-13 | 日本電産コパル電子株式会社 | 薄膜歪センサとそれを用いたトルクセンサ |
CN116005083A (zh) * | 2023-03-23 | 2023-04-25 | 松诺盟科技有限公司 | 一种用于扭矩轴的非晶材料、扭矩轴及扭矩传感器 |
CN116005083B (zh) * | 2023-03-23 | 2023-06-27 | 松诺盟科技有限公司 | 一种用于扭矩轴的非晶材料、扭矩轴及扭矩传感器 |
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