JP2013007909A - 光デバイスおよび光変調装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板と、基板上に形成され、並走する第1光導波路および第2光導波路を有する誘電体膜と、誘電体膜上に形成された絶縁膜と、絶縁膜上に形成され、第1光導波路および第2光導波路の間に配置された信号線と、第1光導波路に対する第2光導波路とは反対側の第1領域に配置された第1グランド線と、第2光導波路に対する第1光導波路とは反対側の第2領域に配置された第2グランド線とを有するコプレーナ線路と、第1領域および第2領域において誘電体膜と接してまたは絶縁膜の内部に設けられ、第1光導波路および第2光導波路に対するバイアス電圧を印加する補助電極と、を備える光デバイスを提供する。
【選択図】図1
Description
特許文献1 特開2006−58837号公報
Claims (13)
- 基板と、
前記基板上に形成され、並走する第1光導波路および第2光導波路を有する誘電体膜と、
前記誘電体膜上に形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜上に形成され、前記第1光導波路および前記第2光導波路の間に配置された信号線と、前記第1光導波路に対する前記第2光導波路とは反対側の第1領域に配置された第1グランド線と、前記第2光導波路に対する前記第1光導波路とは反対側の第2領域に配置された第2グランド線とを有するコプレーナ線路と、
前記第1領域および前記第2領域において前記誘電体膜と接してまたは前記絶縁膜の内部に設けられ、前記第1光導波路および前記第2光導波路に対するバイアス電圧を印加する補助電極と、
を備える光デバイス。 - 前記補助電極は、前記第1グランド線および前記第2グランド線よりも前記第1光導波路および前記第2光導波路に近接して設けられた請求項1に記載の光デバイス。
- 前記誘電体膜は、
入射光を分岐して前記第1光導波路および前記第2光導波路へと導く第1光カプラと、
前記第1光導波路および前記第2光導波路からの光を合波する第2光カプラと、
を更に有し、
前記第1光導波路、前記第2光導波路、前記第1光カプラ、および前記第2光カプラは、マッハツェンダ型光導波路を形成する請求項1または2に記載の光デバイス。 - 前記第1領域に設けられた前記補助電極は、正極のバイアスが印加される電極であり、
前記第2領域に設けられた前記補助電極は、負極のバイアスが印加される電極である請求項1から3のいずれか1項に記載の光デバイス。 - 前記基板は、単結晶材料で形成される請求項1から4のいずれか1項に記載の光デバイス。
- 前記基板は、サファイア基板またはMgO基板である請求項5に記載の光デバイス。
- 前記誘電体膜は、強誘電体薄膜である請求項1から6のいずれか1項に記載の光デバイス。
- 前記強誘電体薄膜は、ペロブスカイト結晶構造であるPZT薄膜、PLZT薄膜、またはBaTiO3薄膜である請求項7に記載の光デバイス。
- 前記絶縁膜は、SiO2またはSiNxを含む請求項1から8のいずれか1項に記載の光デバイス。
- 前記第1領域に設けられた前記補助電極は、前記第1グランド線と接続され、
前記第2領域に設けられた前記補助電極は、前記第2グランド線と接続され、
前記第1グランド線および前記第2グランド線は、コンデンサを介して予め定められた基準電圧に接続される請求項1から9のいずれか1項に記載の光デバイス。 - 前記第1光導波路および前記第2光導波路の間において、前記誘電体膜と接してまたは前記誘電体膜と前記絶縁膜との間に設けられ、予め定められた基準電圧に接続される接地電極を更に備える請求項1から10のいずれか1項に記載の光デバイス。
- 前記コプレーナ線路の前記信号線は、前記接地電極と接続され、
前記コプレーナ線路は、
前記絶縁膜上の前記第1領域において、前記信号線と前記第1グランド線との間に形成される第1差動信号線と、
前記絶縁膜上の前記第2領域において、前記信号線と前記第2グランド線との間に形成される第2差動信号線と、
を更に有する請求項11に記載の光デバイス。 - 請求項1から12のいずれか1項に記載の光デバイスと、
前記信号線に予め定められた周波数の周波数信号を供給する周波数信号源と、
を備える光変調装置。
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