JP2013007586A - 表面粗さ測定装置、及び、その測定待ち時間設定方法、並びに、測定待ち時間設定プログラム - Google Patents
表面粗さ測定装置、及び、その測定待ち時間設定方法、並びに、測定待ち時間設定プログラム Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】まず、ピックアップ16で所定の試験片80を走査し変位の測定データを取得する。測定はピックアップ16の移動開始直後から実施する。次に測定により得られた変位の測定データを解析し、測定値が安定し始める点を測定値安定開始点として検出する。次に、ピックアップ16が測定値安定開始点に到達するまでに要する移動時間を求める。そして、求めた移動時間を測定待ち時間に設定する。
【選択図】図6
Description
図1、図2は、それぞれ本発明が適用された表面粗さ測定装置の全体構成を示す正面図と斜視図である。
次に、本実施の形態の表面粗さ測定装置10を用いた表面粗さの測定方法について概説する。
上記のように、表面粗さの測定は、ピックアップ16を被測定物の表面に沿って移動させた時の触針の変位を検出することにより行われる。
測定速度(ピックアップ16の移動速度)を切り換えることができる場合(複数選択できる場合)には、設定可能な測定速度ごとに上記の測定待ち時間の設定操作を行う。これにより、測定速度ごとに適切に測定待ち時間を設定することができる。なお、設定された測定待ち時間の情報は、測定速度ごとにEEPROM66に記録する。そして、実際の測定時は、設定された測定速度に応じて測定待ち時間の情報を読み出して、測定を実施する。
表面粗さ測定装置では、ピックアップと駆動装置とを種々組み合わせられるようにしているものがある。すなわち、複数種類のピックアップと、複数種類の駆動装置とを用意し、それぞれ用途に応じて組み合わせて使用できるようにしているものがある。この場合は、駆動装置ごとに測定待ち時間を設定する(測定速度を更に選択できる場合は、更に測定速度ごとに測定待ち時間を設定する。)。設定した駆動装置ごとの測定待ち時間は、データ処理部のEEPROMに格納しておき、逐次読み出して使用する。この場合、接続された駆動装置の種類を自動的に検出し、対応する測定待ち時間を自動的に読み出して設定することが好ましい。
Claims (11)
- ピックアップに備えられた触針を被測定物に当接させて、前記ピックアップを駆動手段によって所定の測定方向に所定の移動速度で移動させる一方、前記ピックアップの移動開始から所定の測定待ち時間経過後、測定手段によって前記触針の変位を所定の測定周期で測定し、前記被測定物の表面粗さを測定する表面粗さ測定装置の測定待ち時間設定方法において、
前記触針を所定の試験片に当接させて、前記ピックアップを前記測定方向に前記移動速度で移動させる一方、前記ピックアップの移動開始から前記触針の変位を前記測定周期で測定するステップと、
前記変位の測定結果を解析し、測定値が安定し始める点を測定値安定開始点として検出するステップと、
前記ピックアップの移動開始から前記測定値安定開始点に到達するまでに要する前記ピックアップの移動時間を算出するステップと、
算出された前記移動時間を前記測定待ち時間に設定するステップと、
を含むことを特徴とする表面粗さ測定装置の測定待ち時間設定方法。 - 前記ピックアップを前記測定方向に移動させる前に前記ピックアップを前記測定方向と逆方向に所定量移動させるステップを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の表面粗さ測定装置の測定待ち時間設定方法。
- 前記試験片には、表面に所定の凹凸が一定ピッチで繰り返し形成され、
前記測定値安定開始点を検出するステップでは、前記試験片の凹凸に対応して現れる前記測定値の極値点を検出し、隣り合う極値点の間の距離を算出し、算出された距離が、あらかじめ設定された基準を満たす最初の極値点を検出し、該極値点を測定値安定開始点とすることを特徴とする請求項1又は2に記載の表面粗さ測定装置の測定待ち時間設定方法。 - 前記試験片には、表面に前記凹凸として所定の波形を有するサイン波面が形成されることを特徴とする請求項3に記載の表面粗さ測定装置の測定待ち時間設定方法。
- 前記ピックアップの移動速度を複数選択できる場合において、
基準となる一の移動速度で前記ピックアップを移動させて、前記測定を実施し、前記測定値安定開始点を検出して、前記移動時間を算出し、前記一の移動速度で測定する場合の前記測定待ち時間を求め、
他の移動速度で測定する場合の前記測定待ち時間については、あらかじめ移動速度ごとに設定された係数を前記一の移動速度で求めた前記移動時間に乗じて、移動速度ごとに移動時間を求め、各移動速度で測定する場合の前記測定待ち時間に設定することを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の表面粗さ測定装置の測定待ち時間設定方法。 - ピックアップに備えられた触針を被測定物に当接させて、駆動手段によって前記ピックアップを所定の測定方向に所定の移動速度で移動させる一方、前記ピックアップの移動開始から所定の測定待ち時間経過後、測定手段によって前記触針の変位を所定の測定周期で測定し、前記被測定物の表面粗さを測定する表面粗さ測定装置において、
前記測定待ち時間の設定を指示する指示手段と、
前記指示手段の指示に応じて、前記駆動手段を制御し、前記触針を所定の試験片に当接させて、前記測定方向に前記移動速度で移動させる一方、前記測定手段を制御し、前記ピックアップの移動開始から前記触針の変位を前記測定周期で測定させる制御手段と、
前記指示手段の指示に応じて行われた前記変位の測定結果を解析し、該測定値が安定し始める点を測定値安定開始点として検出する測定値安定開始点検出手段と、
前記ピックアップの移動開始から前記測定値安定開始点に到達するまでに要する前記ピックアップの移動時間を算出する移動時間算出手段と、
算出された前記移動時間を前記測定待ち時間に設定してメモリに記録する記録手段と、
を備えたことを特徴とする表面粗さ測定装置。 - 前記制御手段は、前記ピックアップを前記測定方向に移動させる前に前記ピックアップを前記測定方向と逆方向に所定量移動させることを特徴とする請求項6に記載の表面粗さ測定装置。
- 前記試験片には、表面に所定の凹凸が一定ピッチで繰り返し形成され、
前記測定値安定開始点検出手段は、前記試験片の凹凸に対応して現れる前記測定値の極値点を検出し、隣り合う極値点の間の距離を算出し、算出された距離が、あらかじめ設定された基準を満たす最初の極値点を検出し、該極値点を測定値安定開始点とすることを特徴とする請求項6又は7に記載の表面粗さ測定装置。 - 前記試験片には、表面に前記凹凸として所定の波形を有するサイン波面が形成されることを特徴とする請求項8に記載の表面粗さ測定装置。
- 前記ピックアップの移動速度を複数選択できる場合において、
あらかじめ移動速度ごとに設定された係数を前記移動速度算出手段で算出された移動時間に乗じて、移動速度ごとの移動時間を算出する第2の移動時間算出手段を更に備え、
前記記録手段は、算出された前記移動速度ごとの前記移動時間を前記移動速度ごとの前記測定待ち時間に設定して前記メモリに記録することを特徴とする請求項6から9のいずれか1項に記載の表面粗さ測定装置。 - 請求項1から5のいずれか1項に記載の表面粗さ測定装置の測定待ち時間設定方法をコンピュータに実現させることを特徴とする表面粗さ測定装置の測定待ち時間設定プログラム。
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