JP2000227327A

JP2000227327A - 表面性状測定機

Info

Publication number: JP2000227327A
Application number: JP11028650A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Hidaka; 宏幸日高; Hiroomi Honda; 博臣本田; Toshihiro Kanematsu; 敏裕金松; Hideki Mishima; 英樹三嶋; Masanobu Kataoka; 正信片岡
Original assignee: Mitutoyo Corp; Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Current assignee: Mitutoyo Corp; Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Priority date: 1999-02-05
Filing date: 1999-02-05
Publication date: 2000-08-15

Abstract

(57)【要約】【課題】表面性状測定機において、検出器の移動速度
に含まれる誤差を除去して一定値に校正する。【解決手段】被測定物１００の表面を検出器１０ａで
走査し、測定出力を電装ユニット１２で処理して粗さパ
ラメータ等を表示する。粗さパラメータが既知のゲイン
校正用標準片の粗さパラメータＳｍを予め電装ユニット
１２に記憶させておき、標準片のＳｍを測定機で実際に
測定してＳｍ’を得る。ＳｍとＳｍ’の相違は検出器１
０ａを移動させる際のモータ印加電圧に含まれる誤差に
起因しているため、この相違を用いてモータ印加電圧を
修正して移動速度を一定値に校正する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は表面性状測定機、特
にスタイラス等の検出器の送り速度修正に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、被測定物表面をスタイラス等
の検出器で走査し、表面の凹凸（あるいは粗さ）を測定
する表面性状測定機が周知である。

【０００３】通常、表面性状測定機の検出器はＤＣモー
タ等で送り制御されるが、粗さ測定では送り速度（測定
速度）と送り長さ（測定距離）を決定する必要があるの
で、ＤＣモータへ一定の電圧を印加して一定速度で回転
させ、かつ、一定時間駆動することで、検出器を一定の
速度で一定の長さだけ送るように制御している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、モータ
印加電圧に誤差が生じると、検出器の送り速度と送り長
さに誤差が生じ、正確な粗さ測定を行うことができない
問題があった。

【０００５】本発明は、上記従来技術の有する課題に鑑
みなされたものであり、その目的は、スタイラス等の検
出器の送り速度に含まれる誤差を確実に解消し、もって
正確な粗さ測定を行うことができる表面性状測定機を提
供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第１の発明は、被測定物の表面に沿って検出器を移
動させることにより前記被測定物の表面性状を測定する
表面性状測定機において、粗さパラメータが既知の標準
物体の該粗さパラメータを測定する測定手段と、前記測
定手段で得られた測定値と前記既知の粗さパラメータと
の差異に基づいて前記検出器の移動速度を修正する修正
手段とを有することを特徴とする。標準物体とは、校正
用の基準となる物体であり、予めその粗さパラメータが
既知である物体である。この標準物体の粗さパラメータ
を用いて検出器の移動速度を修正することで、別個に移
動速度調整用のパラメータを用意することなく、容易に
移動速度を修正することができる。そして、移動速度を
適当な速度、例えば一定速度に修正することで、被測定
物の粗さパラメータを正確に測定することが可能とな
る。

【０００７】また、第２の発明は、第１の発明におい
て、前記粗さパラメータは、前記検出器の移動方向に関
連するパラメータであることを特徴とする。検出器の移
動方向に関連あるパラメータとは、検出器の移動方向が
水平面内の一方向（Ｘ軸方向とする）である場合に、こ
のＸ軸方向の物理量（長さ等）に依存して決定される粗
さパラメータであることを意味し、具体的にはＳｍ、Ｐ
ｃ、ＨＳＣ、Ｓ、Ｌｏ、Ｉｒ、ｍｒ、Δａ、Δｑ等であ
る。これらの粗さパラメータを用いることで、標準物体
を用いた移動速度の修正を確実に行うことができる。

【０００８】また、第３の発明は、第２の発明におい
て、前記粗さパラメータは、凹凸の平均間隔Ｓｍである
ことを特徴とする。凹凸の平均間隔は、粗さ曲線から基
準長さだけ抜き取り、１つの山及びそれに隣り合う１つ
の谷に対応する平均線の長さの平均であり、粗さパラメ
ータとして高頻度に用いられるとともに検出器の移動方
向に関連ある（より具体的には移動方向の長さに関連あ
る）パラメータである。したがって、Ｓｍを用いること
で従来の測定手順を大幅に変更することなく、検出器の
移動速度を修正できる。

【０００９】また、第４の発明は、第１〜第３の発明に
おいて、前記標準物体は、測定出力のゲイン調整用物体
であることを特徴とする。表面性状測定においては、凹
凸量自体が微小であるため検出器の出力を増幅する必要
があるが、このゲインを周囲環境によらず一定に維持す
るために測定出力の定期的な校正が必要となる。校正
は、標準物体を測定することで行われるが、ゲイン調整
用の標準物体を検出器の移動速度修正用の標準物体とし
て用いることで、従来の校正手順の範囲内で移動速度の
修正をも行うことが可能となる。

【００１０】また、第５の発明は、第１〜第４の発明に
おいて、さらに前記標準物体の既知の粗さパラメータを
記憶する記憶手段を有し、前記修正手段は、前記記憶手
段に記憶された既知の粗さパラメータをＳｍ、測定値を
Ｓｍ’前記検出器を駆動するためのモータ指令値をＶと
した場合に、Ｖ・Ｓｍ’／Ｓｍによりモータ指令値を修
正することにより前記検出器の移動速度を修正すること
を特徴とする。既知の粗さパラメータを記憶しておくこ
とで、校正毎に粗さパラメータを入力する手間が省け、
簡単な式で移動速度を修正することで校正手順の簡略化
を図ることができる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、図面に基づき本発明の実施
形態について説明する。

【００１２】図１には、本実施形態にかかる表面性状測
定機の構成が示されている。本実施形態の表面性状測定
機は可搬型であり、持ち運びが容易なため測定室内での
使用に限らず、ワークの加工現場や使用現場において自
由な測定が可能である。表面性状測定機は大別して駆動
ユニット１０と電装ユニット１２から構成されており、
検出器１０ａをワーク（被測定物）１００の表面に沿っ
て移動させて粗さを測定する駆動ユニット１０はワーク
１００の表面に自由に設置することができるので、大型
のワークであっても測定が可能である。駆動ユニット１
０の制御や検出器１０ａからの検出信号の処理は接続ケ
ーブル１１を介して電装ユニット１２で行われる。電装
ユニット１２には、各種の測定条件を入力するための設
定部及び測定結果を表示する表示部を兼用した表示器１
２ａ及び測定結果を出力するプリンタ１２ｂが設けられ
ており、現場で測定したデータを直ちに印刷する、各部
の測定結果を容易に比較、検証することが可能となって
いる。

【００１３】図２には、図１に示された表面性状測定機
の機能ブロック図が示されている。駆動ユニット１０
は、検出器１０ａと駆動部２２を含んで構成されてい
る。検出器１０ａとしては例えばコイルバネによりワー
ク（被測定物）表面方向に付勢されたスタイラスが用い
られ、被測定物の凹凸により生じた上下方向（Ｚ軸方
向）の動きを電気信号に変換して出力する。駆動部２２
は上述したＤＣモータ等を含み、検出器１０ａのスタイ
ラス等を被測定物の表面に沿って（Ｘ軸方向）移動させ
る。駆動部２２を駆動するための制御信号は、電装ユニ
ット１２から供給される。

【００１４】一方、電装ユニット１２は、検出用増幅部
２４、測定結果記憶部２６、表面性状演算部２８、ゲイ
ン修正部３０、校正値設定部３２、校正値記憶部３４、
駆動制御部４４、測定条件記憶部３６、表示設定部３
８、印刷部４０及び駆動速度修正部４２を含んで構成さ
れている。検出用増幅部２４は、駆動ユニット１０の検
出器１０ａから供給された検出信号を増幅し、一定時間
毎（あるいは一定距離毎）にサンプリングしてＡ／Ｄ変
換した後、測定結果記憶部２６に出力する。増幅時のゲ
インは、校正時にゲイン修正部３０で調整される。ゲイ
ン校正の際に用いられる被測定物は粗さパラメータが既
知の標準片であり、ゲイン修正部３０は測定して得られ
た粗さパラメータが既知の粗さパラメータと一致するよ
うに調整する。標準片の既知のパラメータは予め校正値
設定部３２から入力し、校正値記憶部３４に記憶するこ
とで、校正毎に入力する手間を省くことができる。測定
結果記憶部２６は測定結果を記憶し、表面性状演算部２
８からの要求に応じて適宜供給する。表面性状演算部２
８は、測定結果に基づいて各種の粗さパラメータの演算
を実行し、その結果を表示設定部３８や印刷部４０に出
力する。また、演算結果は駆動速度修正部４２にも出力
されるが、これは演算して得られた粗さパラメータに基
づいてゲイン修正を行うとともに駆動部２２の駆動信
号、より具体的にはＤＣモータへの印加電圧を修正して
その誤差を除去するためであり、後に詳述する。測定条
件記憶部３６は、設定された測定条件（粗さ規格や測定
曲線、粗さパラメータの種類等）を記憶し、表示設定部
３８や印刷部４０に出力する。表示設定部３８は、上述
した各種測定条件を設定するためのタッチパネル（タッ
チスイッチ）を有して測定条件を設定するとともに、設
定された測定条件と表面性状演算部２８で得られた演算
結果、具体的には粗さパラメータを併せてＬＣＤ表示す
る。印刷部４０も、測定条件とともに演算結果を印字出
力する。駆動制御部４４は、駆動部２２に制御信号を供
給してスタイラス等を一定速度、かつ一定時間でＸ軸方
向に駆動する。駆動制御部４４からの駆動信号（具体的
にはＤＣモータへの印加電圧）に含まれる誤差は、演算
して得られた粗さパラメータに基づいて駆動速度修正部
４２で修正される。

【００１５】図３には、図１及び図２に示される表面性
状測定機を用いて被測定物の表面粗さを測定する全体処
理フローチャートが示されている。まず、表面粗さを測
定する際の粗さ規格、測定曲線及び算出すべき粗さパラ
メータを選択する（Ｓ１０１）。図４には、粗さ規格が
例示されており、たとえばＪＩＳ’９４、ＪＩＳ’８
２、ＤＩＮ’９０、ＩＳＯ’９７、ＡＮＳＩ’９５等が
ある。図４には、各粗さ規格で選択できる測定曲線も示
されており、例えばＪＩＳ’９４では断面曲線Ｐ（測定
面に直角な平面で切断したときに、その切り口に現れる
輪郭）、粗さ曲線Ｒ（断面曲線から所定の波長より長い
表面うねり成分を位相補償高域フィルタで除去した曲
線）、ＤＩＮ４７７６（表面の凹凸に対して深い谷をも
つような被測定面の場合に、平均線より下の谷をデータ
から除去し、再度平均線を求めて元の測定データを補正
した曲線）を選択することができる。なお、ＩＳＯ’９
７で選択できるＭＯＴＩＦとは、フランスで用いられる
粗さ規格であり、測定データからモチーフと呼ばれる山
と谷を結んだ三角形状の図形を生成し、その結果の図形
から粗さモチーフやうねりモチーフ等の各パラメータを
求めるものである。

【００１６】また、図５には、各粗さ規格及び測定曲線
で選択できるパラメータがグループ化されて示されてい
る。グループＰ１、Ｐ２は通常パラメータ、グループＰ
３はＤＩＮ４７７６関係のパラメータ、グループＰ４は
モチーフパラメータであるがこの区別は任意である。こ
の表より、例えば粗さ規格としてＪＩＳ’９４を選択
し、測定曲線としてＲを選択した場合には、使用できる
パラメータはグループＰ１ではＲａ、Ｒｙ、Ｒｚ、Ｒ
ｑ、Ｒｔ、Ｒｐ、Ｒｖ、ＲＳｍ、グループＰ２ではＲ
ｓ、ＲＰｃ、Ｒｍｒ、Ｒ３ｚ、Ｒδｃ、ＲＬｏ、ＲＰＰ
Ｉである。なお、これらのグループ分けは便宜上のもの
であり、グループ分けしなくてもよいのは言うまでもな
い。また、これらの記号で示される各粗さパラメータの
意味は当業者には周知であるが、参考までにいくつかの
意味を示す。

【００１７】Ｒａ：算術平均粗さ、Ｒｙ：最大高さ、Ｒ
ｚ：十点平均粗さ、ｔｐ（あるいはｍｒ）：負荷長さ
率、Ｓｍ（ＰＳｍとＲＳｍ）：凹凸の平均間隔、Ｓ：局
部山頂の平均間隔、Ｒｑ：二乗平均粗さ、Ｐｃ：ピーク
カウント、Ｒｃ：平均凹凸高さ、Ｒδｃ：負荷長さ率、
Ｌｏ：展開長さ、Ｒｔ：最大粗さ、Ｒ３ｚ：三位点粗
さ、Ｒｖ：最大谷深さ、Ｒｐ：最大山高さ。

【００１８】このように、測定に当たっては、まず粗さ
規格と測定曲線、並びに粗さパラメータを選択する必要
があるが、測定毎に図５に示された表の中から必要な粗
さパラメータを選択するのは煩雑であり、測定効率も低
下する問題がある。すなわち、ＪＩＳ’９４の測定曲線
Ｒでも、上述したように１５個の選択可能な粗さパラメ
ータが存在し、これらは互いに名称が類似していること
と相俟って、表面性状測定に不慣れなオペレータは粗さ
パラメータを正確に選択することが比較的困難である。
また、表面性状測定に慣れたオペレータにとっても、こ
れら１５個の粗さパラメータの中で実際に測定に使用す
るのはＲａ、Ｒｙ、Ｒｚのみ等の場合が多く、ある程度
使用する粗さパラメータは限定されるのが実状である。

【００１９】そこで、本実施形態では、粗さ規格と測定
曲線から定まる選択可能な粗さパラメータの中から、必
要に応じて予め使用する粗さパラメータのみを選択して
記憶しておくことで測定条件を容易に設定できるように
している（粗さパラメータのカスタマイズ）。

【００２０】具体的には、選択可能な粗さ規格や測定曲
線、粗さパラメータは表示設定部３８にタッチパネルの
形式で表示され、オペレータが表示された粗さ規格等を
順次タッチすることで選択することができるように構成
し、かつ、予め測定条件記憶部３６に各粗さ規格、測定
曲線に対応して選択できるいくつかの粗さパラメータを
決定しておき、オペレータが粗さ規格と測定曲線を選択
した場合に、予め決めた粗さパラメータしか選択できな
いように他の粗さパラメータは表示設定部３８に表示し
ないようにする。例えば、ＪＩＳ’９４の測定曲線Ｒで
は、粗さパラメータとしてＲａ、Ｒｙ、Ｒｚのみを予め
選択して記憶させておき、オペレータが粗さ規格として
ＪＩＳ’９４、測定曲線としてＲを選択した場合には、
表示設定部３８に粗さパラメータとして１５個全てを表
示して選択可能とするのではなく、Ｒａ、Ｒｙ、Ｒｚの
みを表示させる。これにより、オペレータは測定に必要
となる粗さパラメータを迅速かつ正確に設定することが
可能となる。

【００２１】また、オペレータが粗さ規格、測定曲線、
粗さパラメータを選択する際には、表示設定部３８にお
けるタッチスイッチの構成も階層化するとともに、いわ
ゆるポップアップウインドウを用いるのも好適である。
一般に、パーソナルコンピュータ等においては、ＣＲＴ
によるマンマシンインターフェースに各種の改良が加え
られ、各種のデータ設定や表示方法としてマルチウイン
ドウ、プルダウンメニュー、ダイアログ等を使用したイ
ンターフェースが開発されており、ポップアップウイン
ドウもこれらの一種である。表面性状測定は、一般の用
途と異なり、特に複雑な測定条件を設定する必要がある
ので、ポップアップウインドウ形式の採用は、設定操作
が著しく容易化される効果がある。

【００２２】図６には、ポップアップウインドウを用い
た粗さ規格設定の様子が示されている。（ａ）はホーム
画面であり、この画面を起点として種々の条件を設定し
ていく。この画面において、オペレータが画面左上の測
定条件部分の四角い枠の部分（図中斜線で示される部
分）を操作する（押す）と（ｂ）の画面に切り替わる。
画面の切り替えは、表示設定部３８内の図示しないＣＰ
Ｕが制御プログラムを実行することで行われる。（ｂ）
の画面は測定条件を設定する画面であり、オペレータが
「規格」ボタンを操作（押す）すると、（ｃ）のポップ
アップ画面に切り替わる。このポップアップ画面では、
図に示すように前の画面はそのまま表示され続け、前の
画面に重ねるように立体的に規格設定ウインドウが表示
される。オペレータは、表示された規格の中から必要と
する規格（図ではＩＳＯ’９７）を操作し、「規格」ボ
タンを操作すると、その規格が選択され、再び（ｂ）の
測定条件設定画面に戻る。（ｂ）の画面において、左下
に表示されている家のアイコン（ホーム画面に戻ること
を示す）を操作すると、（ａ）の画面に戻る。したがっ
て、ホーム画面⇔測定条件設定画面⇔規格設定ポップア
ップウインドウの順で切り替わることになる。最後のポ
ップアップウインドウは全画面中の一部領域のみを使用
して表示されており、前の画面はその下に引き続いて表
示されている。これにより、オペレータは実際には画面
切り替えを２回（測定条件設定画面と規格設定画面）行
っているにもかかわらず、心理的には１回の切り替えし
か行っていないように感じる。表面性状測定の場合のよ
うに、設定すべき条件が多くなると画面切り替え回数も
それに比例して増大することになるが、このようにポッ
プアップウインドウを用いることで、オペレータから見
た画面切り替え深さを浅くして操作性を向上することが
可能となる。

【００２３】なお、ポップアップウインドウを用いるこ
とで所定の操作を行えば必ず元の画面に戻り（ここでは
（ｃ）から（ｂ）の測定条件設定画面に戻ること）、そ
の都度ボタンを操作して元の画面に復帰する必要がない
ので、いわゆるプルダウンメニューと比べても、オペレ
ータは容易かつ迅速に全ての条件を設定することができ
る。

【００２４】再び図３に戻り、以上のようにして粗さ規
格、測定曲線及び粗さパラメータを選択すると、次に校
正に移行する（Ｓ１０２）。校正とは、具体的には検出
用増幅部２４での検出信号の増幅率（ゲイン）を適当な
値に調整することをいう。表面性状測定機における検出
器出力（Ｚ軸出力）は、被測定物の凹凸自体が微小量で
あるため高倍率の増幅が必要で、温度、経時変化の影響
を受けやすく、定期的に校正を行う必要がある。具体的
な校正方法は以下の通りである。すなわち、粗さ標準片
を用意し、この標準片を測定して得られた粗さパラメー
タ（通常はＲａ）が、その標準片固有の既知の値に一致
しているか否かを判定し、一致していない場合には標準
片固有の粗さパラメータを入力して両者が一致するよう
にゲインを調整する。

【００２５】ここで、校正を行う度に標準片の粗さパラ
メータを入力すると測定作業効率が低下するので、本実
施形態では第１回の校正作業時に校正値設定部３２から
入力した標準片固有の粗さパラメータ（例えばＲａ等）
を校正値記憶部３４に記憶させておき、次回の校正作業
時には記憶させた値を読み出して測定値と固有値が一致
するか否かを判定し、両者が一致するようにゲインを調
整する。なお、標準片固有の粗さパラメータを記憶させ
て校正を行う際には、そのときの校正条件（測定速度、
測定長さ、求める粗さパラメータ等）を併せて測定条件
記憶部３６に記憶させておく。これにより、次回の校正
作業が容易化されることになる。なお、校正を行う際
に、検出用増幅部２４のゲインを修正するのではなく、
検出用増幅部２４の出力に乗じる係数を変更する構成と
することも可能である。

【００２６】Ｚ軸方向のゲイン校正はこのように標準片
の粗さパラメータを用いて行うことができるが、本実施
形態では、さらに標準片の粗さパラメータを用いてＸ軸
方向の移動速度（送り速度）の調整、具体的にはＤＣモ
ータへの印加電圧に含まれる誤差の除去を行い、検出器
１０ａを一定の速度でＸ軸方向に駆動するように校正す
る。

【００２７】Ｘ軸の送り速度調整には、粗さパラメータ
の中で凹凸の平均間隔Ｓｍが用いられる。図７には、粗
さパラメータＳｍの説明図が示されており、図において
横軸は送り位置、縦軸はＺ軸（上下方向）の検出値であ
る。得られた粗さ曲線から基準長さＬだけ抜き取り、１
つの山及びそれに隣り合う１つの谷に対応する平均線の
長さをＳｍ１，Ｓｍ２、・・・Ｓｍｉ、・・・、Ｓｍｎ
とした場合、凹凸の平均間隔Ｓｍは

【数１】で示される。粗さ標準片には規則的、周期的な凹凸が形
成されているため、粗さ標準片についてＳｍを算出する
と、必ず毎回同一の値が得られることになる。しかしな
がら、ＤＣモータへの印加電圧に誤差が生じ、検出部を
一定の速度でＸ軸方向に駆動できなくなると、Ｓｍを算
出する際の基準となる基準長さも変化するため、Ｓｍに
も誤差が含まれ、標準片固有のＳｍと一致しなくなる。

【００２８】そこで、本実施形態では、ＤＣモータへの
印加電圧に含まれる誤差に起因して測定値と標準片固有
のＳｍとの間に相違が生じることに着目し、Ｘ軸方向の
送り速度、具体的にはＤＣモータへの印加電圧を次のよ
うに校正する。

【００２９】

【数２】Ｖｃ＝Ｖ・（Ｓｍ−γ）／Ｓｍ・・・（２）但し、Ｖｃはモータ指令電圧、Ｖはモータ指令電圧設計
電圧（校正測定時のモータ指令電圧）、γは測定値に含
まれる誤差（測定値と標準片固有値との差）、Ｓｍは標
準片固有の凹凸平均間隔である。測定値をＳｍ’とした
場合には、上式は

【数３】Ｖｃ＝Ｖ・Ｓｍ’／Ｓｍ・・・（３）である。実際に校正する際には、まず送り速度に誤差の
ない測定機で標準片を測定して得られた粗さパラメータ
Ｓｍ（ＲＳｍと同義）を校正値記憶部３４に記憶させて
おく（例えば工場出荷段階）。そして、オペレータが標
準片の粗さパラメータを測定すると、駆動速度修正部４
２は、標準片を測定して得られた測定値Ｓｍ’を入力
し、校正値記憶部３４に記憶されたＳｍ値を読み出して
（３）式の演算を実行し、モータ指令電圧Ｖｃを算出し
て駆動制御部４４に出力する。もちろん、オペレータが
測定して得られた粗さパラメータの値を駆動速度修正部
４２に手入力してもよい。

【００３０】図８には、以上述べたＸ軸送り速度校正の
詳細な処理フローチャートが示されている。まず、標準
片のＳｍ値を設定するために校正済み、すなわち送り速
度に誤差のない測定機で粗さ標準片のＳｍを求め（Ｓ２
０１，Ｓ２０２）、Ｓ２０２で求めたＳｍ値を校正値記
憶部３４に記憶させる（Ｓ２０３）。その後、Ｘ軸送り
速度の校正が必要となった場合には、Ｓ２０２で行った
測定と同一条件で同一仕様の粗さ標準片の凹凸平均間隔
を測定し（Ｓ２０５）、求めた測定値Ｓｍ’を測定機に
入力する（Ｓ２０６）。もちろん、上述したように、求
めた測定値をオペレータが手入力するのではなく、測定
機の表面性状演算部２８から駆動速度修正部４２に対し
て自動的に測定値Ｓｍ’を供給することも好適である。
そして、Ｓ２０３で記憶させた標準片固有のＳｍ値を読
み出し、（３）式を用いて実際のモータ指令電圧Ｖｃを
求めて駆動制御部４４から駆動部２２に制御信号を出力
する（２０７，Ｓ２０８）。

【００３１】このように本来的にはＺ軸のゲイン調整
に用いられる標準片を用いてＸ軸の送り速度調整も行う
ことで、測定手続きを徒に複雑化することなく、従来以
上に高精度の測定を行うことができる。

【００３２】なお、本実施形態では粗さパラメータとし
て凹凸の平均間隔Ｓｍを用いてＸ軸の送り速度校正を行
っているが、Ｓｍに限定されることなく、Ｘ軸方向に関
連する粗さパラメータであれば、他の粗さパラメータを
用いることも可能である。このような粗さパラメータの
例としては、ピークカウントＰｃ、ハイスポットカウン
トＨＳＣ、局部山頂の平均間隔Ｓ、展開長さＬｏ、展開
長さ比Ｉｒ、負荷長さ率ｍｒ、算術平均傾斜Δａ、二乗
平均傾斜Δｑ等がある。ピークカウントＰｃは単位長さ
当たりの山の数であるためＸ軸方向の長さに関連し、ハ
イスポットカウントＨＳＣは粗さ曲線を任意の高さで切
断した時にその高さより上に突出している部分の単位長
さ当たりの数であるためＸ軸方向の長さに関連し、局部
山頂の平均間隔Ｓは隣り合う局部山頂間に対応する平均
線の長さの平均値であるためＸ軸方向の長さに関連し、
展開長さＬｏは粗さ曲線の凹凸を引き伸ばして一本の線
分にした場合の長さであるためＸ軸方向の長さに関連
し、展開長さ比ｌｒは展開長さと基準長さとの比である
ためＸ軸方向の長さに関連する等の理由による。

【００３３】再び図３に戻り、以上のようにしてＸ軸の
送り速度校正も終了すると、被測定物の測定を行い（Ｓ
１０３）、得られた結果を表示設定部３８の表示部（Ｌ
ＣＤ）に表示する（Ｓ１０４）。また、必要に応じて得
られた結果を印刷部４０に供給してプリントアウトする
（Ｓ１０５）。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
従来の測定手順を大幅に変更することなく検出器の移動
速度を簡単に修正することができ、これにより被測定物
の表面性状を簡易かつ正確に測定することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態の斜視図である。

【図２】図１の構成の機能ブロック図である。

【図３】本発明の実施形態の全体処理フローチャート
である。

【図４】粗さ規格と測定曲線の説明図である。

【図５】粗さ規格と測定曲線に対応する粗さパラメー
タの説明図である。

【図６】本発明の実施形態のポップアップウインドウ
を用いた粗さ規格設定説明図である。

【図７】凹凸平均間隔Ｓｍの説明図である。

【図８】本発明の実施形態のＸ軸移動速度（送り速
度）の修正処理フローチャートである。

【符号の説明】

１０駆動ユニット、１１ケーブル、１２電装ユニ
ット。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者金松敏裕宮崎県宮崎市橘通東３丁目１番47号株式会社ミツトヨ内 (72)発明者三嶋英樹宮崎県宮崎市橘通東３丁目１番47号株式会社ミツトヨ内 (72)発明者片岡正信宮崎県宮崎市橘通東３丁目１番47号株式会社ミツトヨ内Ｆターム(参考） 2F062 AA66 EE01 EE62 FF03 FG07 GG17 HH05 LL12 2F069 AA57 AA60 GG01 GG62 GG74 HH02 JJ06 MM33 NN02 NN08 QQ08 QQ13

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被測定物の表面に沿って検出器を移動さ
せることにより前記被測定物の表面性状を測定する表面
性状測定機において、粗さパラメータが既知の標準物体の該粗さパラメータを
測定する測定手段と、前記測定手段で得られた測定値と前記既知の粗さパラメ
ータとの差異に基づいて前記検出器の移動速度を修正す
る修正手段と、を有することを特徴とする表面性状測定機。
【請求項２】請求項１記載の表面性状測定機におい
て、前記粗さパラメータは、前記検出器の移動方向に関連す
るパラメータであることを特徴とする表面性状測定機。
【請求項３】請求項２記載の表面性状測定機におい
て、前記粗さパラメータは、凹凸の平均間隔Ｓｍであること
を特徴とする表面性状測定機。
【請求項４】請求項１〜３のいずれかに記載の表面性
状測定機において、前記標準物体は、測定出力のゲイン調整用物体であるこ
とを特徴とする表面性状測定機。
【請求項５】請求項１〜４のいずれかに記載の表面性
状測定機において、さらに前記標準物体の既知の粗さパ
ラメータを記憶する記憶手段を有し、前記修正手段は、
前記記憶手段に記憶された既知の粗さパラメータをＳ
ｍ、測定値をＳｍ’前記検出器を駆動するためのモータ
指令値をＶとした場合に、Ｖ・Ｓｍ’／Ｓｍによりモー
タ指令値を修正することにより前記検出器の移動速度を
修正することを特徴とする表面性状測定機。