JP2013004863A - 半導体チップ、半導体チップの製造方法、および半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施形態の半導体チップは、第1主面と第2主面とを有し、第1主面側に、素子および配線が配置された回路部と回路部を取り囲むガードリング機構部とが設けられた半導体基板と、第1主面側から第2主面側まで通じるビアホール内に設けられたビアと、第1主面側から第2主面側まで通じる第1トレンチ内に設けられた絶縁層と、を備える。第1主面に対して垂直な方向からみて、ビアホールは、回路部が設けられた回路領域に配置されている。第1トレンチは、回路部を取り囲みガードリング機構部が設けられた外周領域に配置されている。第1主面に対して平行な方向における第1トレンチの幅は、この平行な方向におけるビアホールの幅よりも狭い。
【選択図】図1
Description
図1は、第1実施形態に係る半導体チップのチップ端領域における模式図であり、(a)は、半導体チップの断面模式図、(b)は、半導体チップの裏面側の平面模式図である。
図2は、第1実施形態に係る半導体チップ全体の表面側の平面模式図である。
図1(a)には、図1(b)のX−X’断面が示されている。図1(b)には、図2のAで示された部分が拡大されて示されている。
図1(a)に示すように、半導体チップ1Aは、表面(第1主面)10と、表面10とは反対側の裏面(第2主面)11と、を有する半導体基板12を備える。半導体基板12は、例えば、シリコン基板を薄膜化したものである。例えば、シリコン基板の裏面側を研削することによって、シリコン基板が薄膜化される。
図3には、半導体チップのチップ端領域における断面模式図が示されている。
図8(a)には、半導体チップ1Aが示されている。図8(b)には、半導体チップ1Bが示されている。
図9は、第2実施形態に係る半導体チップのチップ端領域における裏面側の平面模式図であり、(a)は、半導体チップの裏面側の全体図、(b)は、(a)のA部分の拡大図である。
図10は、第3実施形態に係る半導体チップのチップ端領域における断面模式図であり、(a)は、半導体チップが形成された後の状態の断面模式図、(b)は、ビアホール内および第1トレンチ内に絶縁層を形成する製造過程の図、(c)は、ビアホール内および第1トレンチ内にバリアメタル層を形成する製造過程の図である。
例えば、図10(b)に示すように、ビアホール21の側面21w上に、絶縁層32を形成し、第1トレンチ31内に、絶縁層30を形成する、ここでは、第1トレンチ31内が第2絶縁層30によって埋め込まれない状態で、絶縁膜33の形成を停止する。
図11は、第4実施形態に係る半導体チップの製造過程を説明するための断面模式図であり、(a)は、半導体基板を準備する製造過程の図、(b)は、半導体基板内に、ビアホールおよび第1トレンチを形成する製造過程の図である。
図15は、第5実施形態に係る半導体チップの製造過程を説明するための断面模式図であり、(a)は、半導体基板内にビアホールおよび第1トレンチを形成する製造過程の図、(b)は、ビアホール内および第1トレンチ内に絶縁層を形成する製造過程の図である。
図18は、第6実施形態に係る半導体装置の断面模式図である。
4 半導体装置
10 表面
11 裏面
12 半導体基板
21w、31w 側面
13 回路部
13a 回路領域
14 ガードリング機構部
14a 外周領域
20 ビア
21 ビアホール
21b 底面
22、25 バリアメタル層
23 導電層
30、32 絶縁層
30s 空間
31 第1トレンチ
31a 第1の端
31b 第2の端
31s 部分
33 絶縁膜
35 第2トレンチ
40 電極
50 配線基板
51 封止用樹脂
52 半田ボール
85 切断面
90 ダイシングライン
91 レーザ光
Claims (13)
- 第1主面と前記第1主面とは反対側の第2主面とを有し、前記第1主面側に、素子および配線が配置された回路部と前記回路部を取り囲むガードリング機構部とが設けられた半導体基板と、
前記半導体基板の前記第1主面側から前記第2主面側にまで通じるビアホール内に設けられたビアと、
前記半導体基板の前記第1主面側から前記第2主面側にまで通じる第1トレンチ内に設けられた絶縁層と、
を備え、
前記半導体基板の前記第1主面に対して垂直な方向からみて、
前記ビアホールは、前記回路部が設けられた回路領域に配置され、
前記第1トレンチは、前記回路部を取り囲み前記ガードリング機構部が設けられた外周領域に配置され、
前記第1主面に対して平行な方向における前記第1トレンチの幅は、前記平行な方向における前記ビアホールの幅よりも狭いことを特徴とする半導体チップ。 - 前記半導体基板の前記第1主面に対して垂直な方向からみて、前記回路領域は、前記第1トレンチによって取り囲まれていることを特徴とする請求項1記載の半導体チップ。
- 前記半導体基板の前記第1主面に対して垂直な方向からみて、前記第1トレンチに設けられた前記絶縁層の外側に、前記第1トレンチを取り囲む別の第1トレンチ内に設けられた絶縁層をさらに備えたことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体チップ。
- 前記半導体基板の前記第1主面に対して垂直な方向からみて、前記外周領域の前記半導体基板に、前記第1トレンチを挟んで、前記回路領域側の前記半導体基板と、前記回路領域とは反対側の前記半導体基板と、が連続する部分があり、
前記部分は、前記第1トレンチの第1の端と、前記第1トレンチの第2の端と、によって挟まれ、
前記第1トレンチの外側に、前記第1の端もしくは前記第2の端から延在された第2トレンチ内に設けられた絶縁層をさらに備えたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体チップ。 - 前記絶縁層内に狭入されたバリアメタル層をさらに備えたことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の半導体チップ。
- 前記絶縁層の材質は、窒化シリコン(Si3N4)、炭化シリコン(SiC)、炭窒化シリコン(SiCN)、酸化シリコン(SiO2)の少なくともいずれかを含むことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の半導体チップ。
- 第1主面と前記第1主面とは反対側の第2主面とを有し、前記第1主面側に、素子および配線が配置された回路部と前記回路部を取り囲むガードリング機構部とが設けられた半導体基板を準備する工程と、
前記第1主面に対して垂直な方向からみて、前記回路部が形成された回路領域の前記半導体基板内に、ビアホールを形成し、前記回路領域を取り囲み、前記ガードリング機構部を有する外周領域の前記半導体基板内に、第1トレンチを形成するとともに、前記第1主面に対して平行な方向における前記第1トレンチの幅を前記平行な方向における前記ビアホールの幅よりも狭く形成する工程と、
前記ビアホールの側面上に、第1絶縁層を形成するとともに、前記第1トレンチ内に、第2絶縁層を形成する工程と、
前記ビアホール内に、前記回路部に接続されるビアを形成する工程と、
を備えたことを特徴とする半導体チップの製造方法。 - 前記半導体基板の前記第2主面から前記第1主面に向かって、前記回路部の一部を前記第2主面側に開放する前記ビアホールを形成するとともに、前記半導体基板の前記第2主面から前記第1主面に向かって、前記ガードリング機構部の一部を前記第2主面側に開放する前記第1トレンチを形成することを特徴とする請求項7記載の半導体チップの製造方法。
- 前記半導体基板の前記第1主面から前記第2主面に向かって、前記回路部の一部に通じ、前記回路部の前記一部の下の前記半導体基板の内部にまで延在する前記ビアホールを形成するとともに、前記ガードリング機構部の一部に通じ、前記ガードリング機構部の前記一部の下の前記半導体基板の内部にまで延在する前記第1トレンチを形成することを特徴とする請求項7記載の半導体チップの製造方法。
- 前記ビアを形成した後、前記第2主面側の前記半導体基板を研削し、前記ビアおよび前記絶縁層を前記第2主面から表出させることを特徴とする請求項9記載の半導体チップの製造方法。
- 第1主面と前記第1主面とは反対側の第2主面とを有する半導体基板を準備する工程と、
前記半導体基板の第1主面側に形成される回路領域において、前記第1主面から前記第2主面に向かって前記半導体基板内にビアホールを形成し、前記回路領域を取り囲む外周領域において、前記第1主面から前記第2主面に向かって前記半導体基板内に第1トレンチを形成するとともに、前記第1主面に対して平行な方向における前記第1トレンチの幅を前記平行な方向における前記ビアホールの幅よりも狭く形成する工程と、
前記ビアホールの側面上に、第1絶縁層を形成するとともに、前記第1トレンチ内に、第2絶縁層を形成する工程と、
前記ビアホール内に、前記回路部に接続可能なビアを形成する工程と、
前記半導体基板の前記回路領域に、素子および配線を含む回路部を形成し、前記半導体基板の前記外周領域に、ガードリング機構部を形成する工程と、
前記第2主面側の前記半導体基板を研削し、前記ビアおよび前記絶縁層を前記第2主面から表出させる工程と、
を備えたことを特徴とする半導体チップの製造方法。 - 前記ビアホールの側面上に、前記第1絶縁層を形成し、前記第1トレンチ内に、第2絶縁層を形成した後、
前記ビアホール内に、前記第1絶縁層を介して第1バリアメタル層を形成し、前記第1トレンチ内に、前記第2絶縁層を介して第2バリアメタル層を形成することを特徴とする請求項7〜11のいずれか1つに記載の半導体チップの製造方法。 - 請求項1〜6のいずれか1つの半導体チップが2つ以上に積み重なり、
2つ以上の前記半導体チップが封止用樹脂によって封止されていることを特徴とする半導体装置。
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