JP2012526743A - 使用エネルギーが削減されたシラン蒸留 - Google Patents
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- 238000004821 distillation Methods 0.000 title claims abstract description 52
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 30
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 30
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 title 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 19
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 16
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 9
- LIKFHECYJZWXFJ-UHFFFAOYSA-N dimethyldichlorosilane Chemical group C[Si](C)(Cl)Cl LIKFHECYJZWXFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000005055 methyl trichlorosilane Substances 0.000 claims description 8
- JLUFWMXJHAVVNN-UHFFFAOYSA-N methyltrichlorosilane Chemical compound C[Si](Cl)(Cl)Cl JLUFWMXJHAVVNN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- PFMKUUJQLUQKHT-UHFFFAOYSA-N dichloro(ethyl)silicon Chemical compound CC[Si](Cl)Cl PFMKUUJQLUQKHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- IJOOHPMOJXWVHK-UHFFFAOYSA-N chlorotrimethylsilane Chemical compound C[Si](C)(C)Cl IJOOHPMOJXWVHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 4
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 4
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 3
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 3
- 239000005051 trimethylchlorosilane Substances 0.000 description 3
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 2
- 125000001183 hydrocarbyl group Chemical group 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000005046 Chlorosilane Substances 0.000 description 1
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- YGZSVWMBUCGDCV-UHFFFAOYSA-N chloro(methyl)silane Chemical compound C[SiH2]Cl YGZSVWMBUCGDCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N chlorosilane Chemical compound Cl[SiH3] KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
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- B01D3/00—Distillation or related exchange processes in which liquids are contacted with gaseous media, e.g. stripping
- B01D3/14—Fractional distillation or use of a fractionation or rectification column
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- B01D3/146—Multiple effect distillation
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- B01D3/14—Fractional distillation or use of a fractionation or rectification column
- B01D3/143—Fractional distillation or use of a fractionation or rectification column by two or more of a fractionation, separation or rectification step
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- C07F7/02—Silicon compounds
- C07F7/08—Compounds having one or more C—Si linkages
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C07F—ACYCLIC, CARBOCYCLIC OR HETEROCYCLIC COMPOUNDS CONTAINING ELEMENTS OTHER THAN CARBON, HYDROGEN, HALOGEN, OXYGEN, NITROGEN, SULFUR, SELENIUM OR TELLURIUM
- C07F7/00—Compounds containing elements of Groups 4 or 14 of the Periodic Table
- C07F7/02—Silicon compounds
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Abstract
本発明の対象は、アルキルクロロシラン及びハイドロジェンクロロシランから選択されるシランを含有するシラン混合物を蒸留装置において熱的分離する方法であって、蒸留装置の加熱のための熱の少なくとも一部を排出蒸気によって他の蒸留装置に転用し、そして高くても200ppmの不純物を有するシラン生成物が得られる前記方法である。
Description
本発明は、シラン混合物の蒸留方法であって、蒸留装置の加熱のための熱を他の蒸留装置の排出蒸気(Brueden)から転用し、純粋なシラン生成物を得る、前記蒸留方法に関する。
今までは、クロロシラン蒸留及びメチルクロロシラン蒸留の範囲において、関連物質の高い純度の要求と生成物特性、特に湿分の進入に際してのその腐蝕性挙動、液体の部分的に容易な可燃性、プロトン性溶剤及び金属酸化物に対する反応性に基づき、古典的な蒸留コンセプトが使用されている。その場合に、加熱蒸気又は別の伝熱体の形で導入されるエネルギーは、空気冷却器又は水冷却器を介して周囲に放出される。純粋な物質の沸点は、互いに近くにある。
エネルギー回収コンセプトは、この困難性及びカラムと分離段階との相互の影響のため使用されなかった。
DE102008000490号Aにおいては、シランに関する蒸留方法であって、カラムの濃縮部はストリッピング部より高い圧力で運転され、熱が濃縮部からストリッピング部へと放出され、濃縮部で低沸点フラクションが、そしてストリッピング部で高沸点フラクションが分離される蒸留方法が記載されている。ここで、蒸留物は、伝熱性の作業媒体として利用されるが、この方法は部分負荷挙動の点で問題がある。高純度のシラン生成物は得られない。
エネルギー回収法は、例えば"Verfahrenstechnische Berechnungsmethoden Teil 2 − Thermisches Trennen"(VEB Deutscher Verlag fuer Grundstoffindustrie,Leipzig,1986)の第185頁〜第190頁、特に第185頁に記載されている。そこでは、カラムの頂部生成物蒸気を加熱媒体として別のカラムの底部で利用できることが述べられている。
シラン蒸留の困難性は、特にその高い純度の要求にある。例えば非常に低い含量のメチルトリクロロシラン及びエチルジクロロシランを有するジメチルジクロロシランが要求される。その際、メチルトリクロロシラン及びエチルジクロロシラン成分の含量は、蒸留されるべきシラン混合物中で激しく変動する。
これらの周辺条件は、蒸留装置複合体(Destillationsverbund)の作業パラメータの極めて安定な調節も、変動するシラン混合物組成への作業パラメータの可変の適合をも要求する。
従って、工業的な転化においては、純粋蒸留において熱回収を使用する場合に、慣用の蒸発器及び凝縮器による"一般負荷(Regellasten)"が用いられる。これらは、純粋蒸留を高い純度の要求と変動する物質組成のもとにエネルギー的に効率的に実施できるように蒸留プロセスを安定化する。
本発明の対象は、アルキルクロロシラン及びハイドロジェンクロロシランから選択されるシランを含有するシラン混合物を蒸留装置において熱的分離する方法であって、蒸留装置の加熱のための熱の少なくとも一部を他の蒸留装置の排出蒸気から転用し、そして多くても200ppmの不純物しか有さないシラン生成物が得られる前記方法である。
該方法では、今まで伝熱体を介して周囲に放出されていた排出蒸気流の含有エネルギーが利用される。該方法によって、慣用の蒸留に対して85%までのエネルギーを削減することができる。驚くべきことに、このエネルギー削減にもかかわらず、高純度のアルキルクロロシラン及びハイドロジェンクロロシランの蒸留に成功する。
好ましくは、排出蒸気は凝縮され、凝縮熱は蒸留装置の加熱のために使用される。
好ましくは、蒸留装置は、1つもしくはそれより多くのカラムからなる。好ましくは、他の蒸留装置は、1つもしくはそれより多くのカラムからなる。
好ましくは、他の蒸留装置の排出蒸気の少なくとも20質量%、特に少なくとも50質量%は、蒸留装置の加熱のために熱を放出する。
好ましくは、蒸留装置の加熱のための熱の少なくとも10%、特に少なくとも20%は他の蒸留装置の排出蒸気から転用される。
好ましくは、他の蒸留装置の排出蒸気の熱は、熱交換器で伝熱体へと放出され、この伝熱体は蒸留装置の加熱のために使用される。特に他の蒸留装置の排出蒸気の熱は、凝縮によって熱交換器へと放出される。好ましくは、他の蒸留装置の排出蒸気の熱は、熱源として循環プロセスにおいて使用される。好ましくは、他の蒸留装置の排出蒸気の熱は、ヒートポンプを介して伝えられる。好ましくは、他の蒸留装置の排出蒸気は、蒸留装置の缶出物(Sumpf)の加熱のために使用される。好ましくは、蒸留装置は、カラムである。
好ましい一実施形態においては、カラムの頂部で発生する排出蒸気は圧縮され、それにより加熱される。熱交換器において、次いで、熱は伝熱体へと放出され、そしてこの伝熱体はこのカラムの缶出物の加熱のために使用される。蒸留装置及び他の蒸留装置は、この場合に同一である。
他の好ましい一実施形態を、図1を用いて説明する:カラム(K1)において、シラン混合物(A1)を蒸留する。頂部で放出される排出蒸気(B1)を、熱交換器(W1)において凝縮させ、熱を伝熱体へと放出する。該伝熱体は、カラム(K2)の缶出物を加熱する。該伝熱体は、他の熱交換器(W2)において更に加熱されうる。カラム(K2)にシラン混合物(A2)を供給し、蒸留する。カラム(K2)の頂部で放出される排出蒸気(B2)を、熱交換器(W3)において凝縮させ、熱を伝熱体へと放出する。缶出物(C2)をカラム(K2)の底部で排出する。
好ましくは、製造されたシラン生成物は、蒸留装置の缶出物の多くても200ppmの不純物で得られる。好ましくは、他の蒸留装置においても、アルキルクロロシラン及びハイドロジェンクロロシランから選択されるシランを含有するシラン混合物が分離される。好ましくは、他の蒸留装置においても、多くても200ppmの不純物しか有さないシラン生成物が製造される。
分離されるべきアルキルクロロシラン及び/又はハイドロジェンクロロシランは、好ましくは一般式(1)
R1 aHbSiCl4-a-b (1)
[式中、
R1は、1〜10個の炭素原子を有する炭化水素基を意味し、
aは、0、1、2、3又は4の値を意味し、かつ
bは、0、1、2又は3の値を意味する]に相当する。
R1 aHbSiCl4-a-b (1)
[式中、
R1は、1〜10個の炭素原子を有する炭化水素基を意味し、
aは、0、1、2、3又は4の値を意味し、かつ
bは、0、1、2又は3の値を意味する]に相当する。
特に好ましい炭化水素基R1は、1〜6個の炭素原子を有するアルキル基、特にメチル基及びエチル基である。
好ましくは、製造されるシラン生成物は、多くても100ppmの、特に好ましくは多くても50ppmの、特に多くても20ppmの不純物しか有さない。好ましくは、不純物中の個々の化合物の割合は、多くても100ppm、特に好ましくは多くても60ppm、特に多くても15ppmである。
好ましい一実施形態においては、好ましくはそれぞれ多くても100ppmの、特に好ましくは多くても60ppmの、特に多くても15ppmのメチルトリクロロシラン及びエチルジクロロシランしか含有しないジメチルジクロロシランが得られる。好ましくは、ジメチルジクロロシランの他に、メチルトリクロロシラン、トリメチルクロロシラン及びメチルハイドロジェンジクロロシランから選択されるシランを含有する混合物が使用される。
上述のppm値は、質量に対するものである。
以下の実施例においては、それぞれ特記しない限りは、全ての量及びパーセントの表記は質量に対するものであり、全ての圧力は0.10MPa(絶対圧)であり、かつ全ての温度は20℃である。符号は図1を引用する。
実施例においては、90%のジメチルジクロロシランと、7%のメチルトリクロロシランと、2%のトリメチルクロロシランと、1%のメチルハイドロジェンジクロロシランとからなる、7t/hのシラン混合物(A)を、カラム(K2)で2つのフラクションに分離する。頂部生成物(B)は、18%のジメチルジクロロシランと、58%のメチルトリクロロシランと、16%のトリメチルクロロシランと、8%のメチルハイドロジェンジクロロシランとからなる。底部生成物(C)は、100%のジメチルジクロロシランからなる。その際、そのジメチルジクロロシランは、要求通りに、80ppm未満の、20ppm未満の、特に10〜15ppm未満のメチルトリクロロシラン不純物しか伴わずに蒸留することができる。
例1(本発明によらない):
慣用の蒸留に際して、カラム(K2)において熱交換器(W2)で2.3MWの加熱エネルギーが供給される。
慣用の蒸留に際して、カラム(K2)において熱交換器(W2)で2.3MWの加熱エネルギーが供給される。
例2:
カラム(K1)が存在する加熱装置複合体(Waermeverbund)において、熱交換器(W1)で1.9MWのカラム(K2)の加熱に必要な熱が排出蒸気凝縮によって提供される。熱交換器(W2)で、更なる0.4MWの熱が伝えられる。エネルギー削減は、83%である。
カラム(K1)が存在する加熱装置複合体(Waermeverbund)において、熱交換器(W1)で1.9MWのカラム(K2)の加熱に必要な熱が排出蒸気凝縮によって提供される。熱交換器(W2)で、更なる0.4MWの熱が伝えられる。エネルギー削減は、83%である。
例3:
カラム(K2)における排出蒸気の圧縮の際に、1.9MWの熱出力を有する排出蒸気(B2)は0.3MWの更なるエネルギーを使用して圧縮され(圧縮装置及び熱交換器(W2)への導管は、図1に記入されていない)、熱交換器(W2)を介してカラム(K2)の缶出物を加熱する。エネルギー削減は、87%である。
カラム(K2)における排出蒸気の圧縮の際に、1.9MWの熱出力を有する排出蒸気(B2)は0.3MWの更なるエネルギーを使用して圧縮され(圧縮装置及び熱交換器(W2)への導管は、図1に記入されていない)、熱交換器(W2)を介してカラム(K2)の缶出物を加熱する。エネルギー削減は、87%である。
例4:
他のカラム(K3)及び(K4)の排出蒸気は、1.5MWの凝縮熱を、ヒートポンプ(カラム(K3)及び(K4並びにヒートポンプは図1に記入されていない)へと放出する。これは、熱交換器(W1)を介した更なる0.8MWの供給でカラム(K2)の缶出物を加熱する。エネルギー削減は、65%である。
他のカラム(K3)及び(K4)の排出蒸気は、1.5MWの凝縮熱を、ヒートポンプ(カラム(K3)及び(K4並びにヒートポンプは図1に記入されていない)へと放出する。これは、熱交換器(W1)を介した更なる0.8MWの供給でカラム(K2)の缶出物を加熱する。エネルギー削減は、65%である。
A1 シラン混合物、 A2 シラン混合物、 B1 排出蒸気、 B2 排出蒸気、 C2 缶出物、 K1 、 K2 カラム、 W1 熱交換器、 W2 熱交換器、 W3 熱交換器
Claims (7)
- アルキルクロロシラン及びハイドロジェンクロロシランから選択されるシランを含有するシラン混合物を蒸留装置において熱的分離する方法であって、蒸留装置の加熱のための熱の少なくとも一部を他の蒸留装置の排出蒸気から転用し、そして多くても200ppmの不純物しか有さないシラン生成物が得られる前記方法。
- 他の蒸留装置の排出蒸気を凝縮させる、請求項1に記載の方法。
- 他の蒸留装置の排出蒸気の熱が、熱交換器で伝熱体へと放出され、この伝熱体は蒸留装置の加熱のために使用される、請求項1又は2に記載の方法。
- 蒸留装置がカラムである、請求項1から3までのいずれか1項に記載の方法。
- カラムの頂部で発生する排出蒸気を圧縮し、それにより加熱され、次いで熱交換器において熱を伝熱体へと放出し、この伝熱体が、このカラムの缶出物の加熱のために使用される、請求項4に記載の方法。
- 製造されたシラン生成物が、蒸留装置の缶出物中に多くても200ppmの不純物しか伴わずに得られる、請求項1から5までのいずれか1項に記載の方法。
- シラン生成物として、それぞれ多くても60ppmのメチルトリクロロシラン及びエチルジクロロシランしか含有しないジメチルジクロロシランが得られる、請求項1から6までのいずれか1項に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102009003163A DE102009003163A1 (de) | 2009-05-15 | 2009-05-15 | Silandestillation mit reduziertem Energieeinsatz |
DE102009003163.4 | 2009-05-15 | ||
PCT/EP2010/056090 WO2010130609A1 (de) | 2009-05-15 | 2010-05-05 | Silandestillation mit reduziertem energieeinsatz |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012526743A true JP2012526743A (ja) | 2012-11-01 |
Family
ID=42711796
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012510212A Withdrawn JP2012526743A (ja) | 2009-05-15 | 2010-05-05 | 使用エネルギーが削減されたシラン蒸留 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20120048719A1 (ja) |
EP (1) | EP2429673A1 (ja) |
JP (1) | JP2012526743A (ja) |
KR (1) | KR20120023768A (ja) |
CN (1) | CN102427864A (ja) |
DE (1) | DE102009003163A1 (ja) |
WO (1) | WO2010130609A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102013207282A1 (de) | 2013-04-22 | 2014-11-06 | Wacker Chemie Ag | Verfahren und Vorrichtung zur destillativen Trennung eines Drei- oder Mehrkomponentengemisches |
EP3769830A1 (en) * | 2019-07-22 | 2021-01-27 | Sulzer Management AG | Process for distilling a crude composition in a rectification plant including an indirect heat pump |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3168542A (en) * | 1957-05-15 | 1965-02-02 | Union Carbide Corp | Process for separating mixtures of chlorosilanes |
US4402797A (en) * | 1982-09-20 | 1983-09-06 | Dow Corning Corporation | Separation of chlorosilanes by extractive distillation |
JP3501171B2 (ja) * | 1994-03-30 | 2004-03-02 | 日本エア・リキード株式会社 | 超高純度モノシランの製造方法及び装置 |
US5735141A (en) * | 1996-06-07 | 1998-04-07 | The Boc Group, Inc. | Method and apparatus for purifying a substance |
DE19842154C2 (de) * | 1998-09-15 | 2000-11-09 | Aventis Res & Tech Gmbh & Co | Verfahren zur Verbesserung der rektifikativen Trennung von Methyltrichlorsilan und Dimethyldichlorsilan |
DE102004045245B4 (de) * | 2004-09-17 | 2007-11-15 | Degussa Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Silanen |
DE102008000490A1 (de) | 2008-03-03 | 2008-12-18 | Wacker Chemie Ag | Verfahren zur thermischen Trennung von Silanen |
US20100061912A1 (en) * | 2008-09-08 | 2010-03-11 | Stephen Michael Lord | Apparatus for high temperature hydrolysis of water reactive halosilanes and halides and process for making same |
US8298490B2 (en) * | 2009-11-06 | 2012-10-30 | Gtat Corporation | Systems and methods of producing trichlorosilane |
KR101292545B1 (ko) * | 2009-12-28 | 2013-08-12 | 주식회사 엘지화학 | 트리클로로실란의 정제 방법 및 정제 장치 |
-
2009
- 2009-05-15 DE DE102009003163A patent/DE102009003163A1/de not_active Ceased
-
2010
- 2010-05-05 JP JP2012510212A patent/JP2012526743A/ja not_active Withdrawn
- 2010-05-05 EP EP10722027A patent/EP2429673A1/de not_active Withdrawn
- 2010-05-05 WO PCT/EP2010/056090 patent/WO2010130609A1/de active Application Filing
- 2010-05-05 KR KR1020117029411A patent/KR20120023768A/ko not_active Application Discontinuation
- 2010-05-05 CN CN2010800215003A patent/CN102427864A/zh active Pending
- 2010-05-05 US US13/318,932 patent/US20120048719A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20120048719A1 (en) | 2012-03-01 |
DE102009003163A1 (de) | 2010-11-25 |
KR20120023768A (ko) | 2012-03-13 |
EP2429673A1 (de) | 2012-03-21 |
WO2010130609A1 (de) | 2010-11-18 |
CN102427864A (zh) | 2012-04-25 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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A521 | Written amendment |
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|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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A761 | Written withdrawal of application |
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