JP2012525503A5 - - Google Patents

Claims (19)

1. リフトオフ法を用いて、材料を蒸発によって基板に蒸着するための装置であって、該装置は、
   ドーム型上部と、底部開口と、前記ドーム型上部から前記底部開口に向かって収束する側壁部とを有する、円錐型ハウジングと、
   前記底部の近傍に位置し、かつ、前記ドーム型上部の該中心点を通って延びる第１の軸と整列した、蒸発源と、
   前記第１の軸と整列した中心点を有し、前記蒸発源の上方にて、前記ドーム型上部の近傍に位置する中央のドーム状部材であって、前記中心点の周りを回転する中央のドーム状部材と、
   前記蒸発源の上方にて、前記ドーム型上部の近傍かつ前記ドーム型上部の前記中心点から一定半径、に位置する、１つ以上の周回軌道型ドーム状部材であって、該１つ以上のドーム状部材は前記第１の軸の周りを回転すると同時に、該周回軌道型ドーム状部材のそれぞれは、当該周回軌道型ドーム状部材の中心点を通って延びる第２の軸の周りを回転し、該１つ以上の周回軌道型ドーム状部材は、前記中央のドーム状部材と直径及び凹面が等しい、１つ以上の周回軌道型ドーム状部材と、
   前記蒸発源と前記中央のドーム状部材との間に位置し、前記中央のドーム状部材と共に使用されるためだけに、該中央のドーム状部材に動作可能に係合する、均一性マスクと、
   前記１つ以上の周回軌道型ドーム状部材のそれぞれの内側及び前記中央のドーム状部材の内側に配置され、ウエハを受け取るための１つ以上のウエハ受取り位置と、を備える、装置。
2. 前記１つ以上のウエハ受取り位置は、前記蒸発源と直交することを特徴とする、請求項１に記載の装置。
3. 前記１つ以上の周回軌道型ドーム状部材及び前記中央のドーム状部材を、位置決めして前記第１の軸の周りに回転させる、支持構造をさらに備えることを特徴とする、請求項１又は２に記載の装置。
4. 請求項３に記載の装置であって、前記支持構造は、前記１つ以上の周回軌道型ドーム状部材及び前記中央のドーム状部材を位置決めするものであり、前記１つ以上の周回軌道型ドーム状部材と前記中央のドーム状部材とによって形成される当該アーチは、前記第１の軸上に球体の中心を有し、かつ、前記蒸発源に位置する、球体の当該外周と一致することを特徴とする、請求項３に記載の装置。
5. 前記支持構造は、前記１つ以上の周回軌道型ドーム状部材をそれぞれの前記第２の軸の周りに回転させるための、駆動システムを有することを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載の装置。
6. 前記１つ以上の周回軌道型ドーム状部材は、６つの周回軌道型ドーム状部材であることを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載の装置。
7. リフトオフ法を用いる蒸着装置であって、該装置は、
   蒸発源と、
   前記蒸発源を通る第１の軸の周りにおける回転のために取り付けられたスペースフレームと、
   前記スペースフレームに取り付けられた中央のドーム状ウエハホルダであって、該中央のドーム状ウエハホルダの中心点が前記第１の軸と整列している、中央のドーム状ウエハホルダと、
   前記第１の軸からオフセットする位置にて前記スペースフレームに取り付けられた周回軌道型ドーム状ウエハホルダであって、該周回軌道型ドーム状ウエハホルダの中心点及び前記蒸発源を通る第２の軸の周りを回転可能である、周回軌道型ドーム状ウエハホルダと、
   前記中央のドーム状ウエハホルダ及び前記周回軌道型ドーム状ウエハホルダにある複数のウエハ位置であって、該複数のウエハ位置は、それぞれ、前記第１の軸及び前記第２の軸からオフセットしており、該複数のウエハ位置は、それぞれ、前記第１の軸及び前記第２の軸の周りを回転中に、前記ウエハ位置から前記蒸発源に延びる放射軸と直交する、該ウエハ位置に取り付けられたウエハの基板表面に配向されている、複数のウエハ位置と、を備えることを特徴とする、装置。
8. 請求項７に記載の装置であって、ドーム型上部と、底部開口と、前記ドーム型上部から前記底部開口に向かって収束する側壁部とを有する、円錐型ハウジングをさらに備え、前記円錐型ハウジングは、前記底部開口の近傍にある前記蒸発源と、前記スペースフレームと、前記ドーム型上部の近傍にある、前記中央のドーム状ウエハホルダと、前記周回軌道型ドーム状ウエハホルダと、を囲んでいることを特徴とする、装置。
9. 請求項７又は８に記載の装置であって、前記スペースフレームは駆動システムを有し、該駆動システムは、前記中央のドーム状ウエハホルダ及び前記周回軌道型ドーム状ウエハホルダを前記第１の軸の周りに回転させ、また、前記周回軌道型ドーム状ウエハホルダを前記第２の軸の周りに回転させることを特徴とする、装置。
10. 請求項７〜９のいずれか１項に記載の装置であって、前記中央のドーム状ウエハホルダ及び前記周回軌道型ドーム状ウエハホルダは、前記蒸発源に関して一定半径を有することを特徴とする、装置。
11. 請求項７〜１０のいずれか１項に記載の装置であって、前記複数のウエハ位置のそれぞれは、ウエハ受取り開口であることを特徴とする、装置。
12. 蒸発源と
    １つ以上のウエハの位置決め用中央手段であって、該１つ以上のウエハのそれぞれにおける中心は、前記蒸発源から等距離にあり、前記位置決め用手段は、前記１つ以上のウエハを、前記蒸発源を通る第１の軸の周りに回転させる、位置決め用中央手段と、
    前記位置決め用中央手段からオフセットしている、１つ以上のウエハの位置決め用周回軌道型手段であって、該位置決め用周回軌道型手段における前記１つ以上のウエハのそれぞれにおける中心は、前記蒸発源から等距離にあり、該位置決め用周回軌道型手段は、前記１つ以上のウエハを、前記蒸発源を通る第２の軸の周りに回転させる、位置決め用周回軌道型手段と、
    前記位置決め用中央手段及び前記位置決め用周回軌道型手段を前記第１の軸の周りに回転させ、前記位置決め用周回軌道型手段を前記第２の軸の周りに回転させるための、回転手段とを備えることを特徴とする、リフトオフ法を用いる蒸着装置。
13. 前記位置決め用中央手段、前記位置決め用周回軌道型手段、及び前記回転手段は、前記１つ以上のウエハを、前記第１の軸及び前記第２の軸の周りに同時に回転させることを特徴とする、請求項に１２記載の装置。
14. 請求項１２又は１３に記載の装置であって、ドーム型上部と、底部開口と、前記ドーム型上部から前記底部開口に向かって収束する側壁部とを有する、円錐型ハウジングをさらに備え、前記円錐型ハウジングは、前記底部開口の近傍にある前記蒸発源と、前記ドーム型上部の近傍にある、前記位置決め用中央手段と、前記位置決め用周回軌道型手段と、前記回転手
    段と、を囲んでいることを特徴とする、装置。
15. 前記周回軌道型手段は、６つの周回軌道型ドーム状部材を備えることを特徴とする、請求項１２〜１４のいずれか１項に記載の装置。
16. 前記中央手段は、１つの中央のドーム状部材を備えることを特徴とする、請求項１２〜１５のいずれか１項に記載の装置。
17. ウエハにリフトオフ法によるコーティングを効率よく形成する方法であって、該方法は、
    ソースから材料を蒸発させるステップと、
    前記ソースから間隔が空けられている中央のドーム状部材を、該中央のドーム状部材の中心点及び前記ソースを通る、第１の軸の周りに回転させるステップであって、該中央のドーム状部材には、前記第１の軸からオフセットしているウエハが取り付けられており、該中央のドーム状部材は、前記ソースと直交する表面を有している、ステップと、
    前記中央のドーム状部材からオフセットしている周回軌道型ドーム状部材を、前記第１の軸の周りに回転させ、前記周回軌道型ドーム状部材を、該周回軌道型ドーム状部材の中心点及び前記ソースを通る、第２の軸の周りに回転させるステップであって、該周回軌道型ドーム状部材には、前記第１の軸からオフセットしているウエハが取り付けられており、該周回軌道型ドーム状部材は、前記ソースと直交する表面を有しており、前記中央のドーム状部材及び前記周回軌道型ドーム状部材は、前記第１の軸上に球体の中心を有し、かつ、前記蒸発源に位置する、球体の当該外周と一致する、ステップと、
    を含むことを特徴とする、方法。
18. 前記中央のドーム状部材及び前記周回軌道型ドーム状部材を前記第１の軸の周りに回転させることと、前記周回軌道型ドーム状部材を前記第２の軸の周りに回転させることとが、同時に起こることを特徴とする、請求項１７に記載の方法。
19. 請求項１７又は１８に記載の方法であって、該方法は、前記材料を蒸発させるステップと、前記中央のドーム状部材及び前記周回軌道型ドーム状部材を、ドーム型上部と、底部開口と、前記ドーム型上部から前記底部開口に向かって収束する側壁部とを有する、円錐型ハウジングの内側で回転させるステップとを実施することをさらに含み、
    前記材料を蒸発させるステップは前記底部開口の近傍で実施され、前記中央のドーム状部材及び前記周回軌道型ドーム状部材を回転させるステップは、前記ドーム型上部の近傍で実施されることを特徴とする、方法。