JP2012507716A - 相互直交方向で分離的検知を有するトランスデューサ - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (20)
- 少なくとも二つの相互に直交する方向の加速を検知するトランスデューサであって、
基板と、
前記基板の表面の上に基板と離間した関係で配置され、回転軸に対して移動される第1試験質量であって、前記第1試験質量を通る開口を有する第1試験質量と、
前記基板の表面に形成され、相互直交方向の第1方向の加速に応答して前記第1試験質量が回転軸の周囲を回転可能なように、前記回転軸の位置で前記第1試験質量を前記基板に枢動可能に接続する第1アンカーシステムと、
前記開口内で、前記基板の表面の上に基板と離間した関係で存在する第2試験質量と、
前記基板の表面に形成され、相互直交方向の第2方向の加速に応答して前記第2試験質量が前記基板の表面と実質的に平行に移動できるように前記第2試験質量に接続された第2アンカーシステムと、
を備えたトランスデューサ。 - 請求項1記載のトランスデューサにおいて、
前記回転軸は、前記第1試験質量の前記開口の中心線に配置されることを特徴とするトランスデューサ。 - 請求項1記載のトランスデューサにおいて、
前記第1試験質量の前記開口は、内部周辺壁によって区画形成され、
前記第1アンカーシステムは、
前記内部周辺壁の第1側で前記第1試験質量に取り付けられた第1枢動要素と、
前記内部周辺壁の第1側の反対側の前記内部周辺壁の第2側で前記第1試験質量に取り付けられた第2枢動要素と、
を備えることを特徴とするトランスデューサ。 - 請求項1記載のトランスデューサにおいて、
前記第1試験質量は第1端部及び第2端部を有し、
前記回転軸と前記第1端部との間に第1部分が形成され、
前記回転軸と前記第2端部との間に第2部分が形成され、
前記第1部分は前記第2部分より大きな質量を示すことを特徴とするトランスデューサ。 - 請求項4記載のトランスデューサにおいて、
第1部分が回転軸と第1端部の間である第1の長さを示し、第1の長さは回転軸と第2端部の間である第2部分の第2の長さよりも大きくなるように、前記第1試験質量の前記回転軸は、第1端部と第2端部との間でオフセットされていることを特徴とするトランスデューサ。 - 請求項1記載のトランスデューサにおいて、トランスデューサはさらに、
前記基板表面に形成され、前記第1部分に向けた第1電極と、
前記基板表面に形成され、前記第2部分に向け、第2電極とを備え、
前記第1電極及び第2電極はそれぞれ、前記回転軸に対して実質的に等しい距離でオフセットし、
前記第1電極及び第2電極はそれぞれ、前記基板と垂直な前記第1方向の加速度を検知するように構成されることを特徴とするトランスデューサ。 - 請求項1記載のトランスデューサにおいて、
前記第2試験質量は、前記第1試験質量の前記回転軸と同軸である中心線を示すことを特徴とするトランスデューサ。 - 請求項1記載のトランスデューサにおいて、
前記第2アンカーシステムは、回転軸よりオフセットされ、前記回転軸に対して対称的に配置された複数のバネ要素を有することを特徴とするトランスデューサ。 - 請求項8記載のトランスデューサにおいて、
第2試験質量は、前記回転軸と実質的に直交する中心線を示し、
前記複数のバネ要素は、前記中心線に対して対称的に配置されることを特徴とするトランスデューサ。 - 請求項1記載のトランスデューサにおいて、
前記第2アンカーシステムが、前記相互直交方向における第3方向の加速に応答して、前記第2試験質量が前記基板表面と平行に移動することを可能にすることを特徴とするトランスデューサ。 - 請求項10記載のトランスデューサにおいて、前記第2試験質量が、
前記回転軸と直交する前記第2試験質量の第1中心線に整列し、前記第2方向の前記加速度を検知するようになっている第1セットの検知フィンガーと、
前記第1中心線と直交すると共に前記回転軸と実質的に平行な前記第2試験質量の第2中心線に整列し、前記第3方向の前記加速度を検知する第2セットの検知フィンガーと、
を備えることを特徴とするトランスデューサ。 - 請求項11記載のトランスデューサにおいて、
第1セット及び第2セットの検知フィンガーの各々は、前記基板表面に固定され取り付けられた二つの平行なフィンガーの間に配置されることを特徴とするトランスデューサ。 - 請求項1記載のトランスデューサにおいて、トランスデューサはさらに、
前記開口内で、前記基板表面の上に基板と離間した関係で存在する第3試験質量と、
前記基板の表面に形成され、前記相互直交方向の第3方向における前記加速に応答して、第3試験質量が前記基板表面と平行に移動することを可能にする前記第3試験質量に接続された第3アンカーシステムと、
をさらに備えることを特徴とするトランスデューサ。 - 請求項13記載のトランスデューサにおいて、
前記第2試験質量及び第3試験質量の各々は、前記開口の中心線からオフセットされ、
前記回転軸は前記中心線と同軸であり、
第1アンカーシステムは、前記第2試験質量と第3試験質量との間で前記回転軸に配置されることを特徴とするトランスデューサ。 - 少なくとも二つの相互に直交する方向の加速度を検知するトランスデューサであって、
基板と、
前記基板の表面上に基板と離間した関係で配置され、回転軸に対して移動される第1試験質量であって、前記第1試験質量を通る開口を有する第1試験質量と、
前記基板の表面に形成され、相互直交方向の第1方向の加速に応答して前記第1試験質量が回転軸周囲を回転可能なように、前記回転軸の位置で前記第1試験質量を前記基板に枢動可能に接続する第1アンカーシステムと、
前記開口内で、基板の表面上に基板に離間した関係で存在する第2試験質量であって、第1中心線と同軸の第2中心線を示す第2試験質量と、
前記基板の表面に形成され、相互直交方向の第2方向の加速に応答して前記第2試験質量が前記基板表面に対して実質的に平行に移動できるように、前記第2試験質量に接続された第2アンカーシステムと、
を備えたトランスデューサ。 - 請求項15記載のトランスデューサにおいて、
第1試験質量は第1端部及び第2端部を有し、
前記第1端部と前記回転軸との間に第1部分が形成され、
前記第2端部と前記回転軸との間に第2部分が形成され、
前記第1部分は前記第2部分より大きな質量を有し、
前記第1試験質量は、前記基板の前記表面と垂直な前記第1方向の前記加速に応答して前記回転軸の周囲を回転することを特徴とするトランスデューサ。 - 請求項15に記載のトランスデューサにおいて、
前記第2アンカーシステムは、前記相互直交方向の第3方向の前記加速に応答して、前記第2試験質量が前記基板の前記表面と実質的に平行に移動することを可能にし、
前記第2方向及び前記第3方向は、前記基板の前記表面と実質的に平行であることを特徴とするトランスデューサ。 - 少なくとも二つの相互に直交な方向の加速度を検知するトランスデューサであって、
基板と、
前記基板の表面の上に基板と離間した関係で配置され、回転軸に対して移動される第1試験質量であって、前記第1試験質量を通る開口を有し、前記開口は内部周辺壁によって形成される、第1試験質量と、
前記基板の表面に形成され、相互直交方向の第1方向の加速に応答して前記第1試験質量が回転軸の周囲を回転可能なように、前記回転軸の位置で前記第1試験質量を前記基板に枢動可能に接続する第1アンカーシステムであって、
前記内部周辺壁の第1側で第1試験質量に取り付けられた第1枢動要素と、
前記内部周辺壁の第1側の反対側の前記内部周辺壁の第2側で第1試験質量に取り付けられた第2枢動要素とを備える前記第1アンカーシステムと、
前記開口内で、前記基板の表面の上に基板と離間した関係で存在する第2試験質量と、
前記基板の表面に形成され、相互直交方向の第2方向の加速に応答して前記第2試験質量が前記基板表面と平行に移動できるように前記第2試験質量に接続された第2アンカーシステムであって、前記回転軸線からオフセットされ、前記回転軸に対して対称的に配置された複数のバネ要素を有する第2アンカーシステムと、
を備えたトランスデューサ。 - 請求項18記載のトランスデューサにおいて、
前記第2試験質量は、前記回転軸と実質的に直交する中心線を示し、
前記複数のバネ要素は、前記中心線に対して対称的に配置されることを特徴とするトランスデューサ。 - 請求項18記載のトランスデューサにおいて、
第2アンカーシステムは、前記相互直交方向の第3方向の前記加速に応答して、前記試験質量が前記基板表面と実質的に平行に移動することを可能にすることを特徴とするトランスデューサ。
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