JP2008107349A - 加速度計のトルク及び検知キャパシタの分離システム及び方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】慣性質量と基板との間に形成された1つ以上の検知キャパシタ26と、慣性質量と基板との間に形成された1つ以上のトルク・キャパシタ24と、慣性質量上において検知キャパシタ26のカソードをトルク・キャパシタ24のカソードから電気的に分離する分離デバイスとを含む。
【選択図】図2
Description
分離デバイスは、慣性質量内部にトラフ(trough)を含み、検知キャパシタのカソードとトルク・キャパシタのカソードとの間に配置されている。本発明の一態様では、トラフは、酸化物層及びポリシリコンのビーズ(bead)の少なくとも一方を含む。
本発明の別の態様では、分離デバイスは、検知キャパシタのアノードをトルク・キャパシタのアノードから、そして検知キャパシタのカソードをトルク・キャパシタのカソードから電気的に分離する回路を含む。
図2は、本発明の実施形態にしたがって形成した回路20の一例の図を示す。この例では、回路20は、4つのトルク・キャパシタ24と、2つの検知キャパシタ26とを含む。また、回路20は、トルク・キャパシタ24のアノードの各々に接続されているトルク増幅器30も含む。単極双投(SPDT)スイッチ34が、電圧源V1及びV2と検知キャパシタ26のアノードとの間に接続されている。検知キャパシタ26のカソードは、トランスインピーダンス増幅器40の負リード(反転入力端子)に接続されている。増幅器40は、キャパシタ46及び抵抗器44と並列に接続されている。トルク・キャパシタ24のカソードは、トランスインピーダンス増幅器40の正リード(非反転入力端子)及びMID電圧50に接続されている。トランスインピーダンス増幅器40の出力は、抵抗器44及びキャパシタ46の反対側の端子に接続されており、更にアナログの特定用途集積回路(ASIC)52に接続されている。ディジタルASIC54が、アナログASIC52の出力に接続されている。別のアナログASIC56が、ディジタルASIC54の出力、及びトルク増幅器30の入力に結合されている。HPAアナログASIC(52及び56)は、図2では2つのデバイスとして示すが、通例では単一のアナログASICである。
24 トルク・キャパシタ
26 検知キャパシタ
30 トルク増幅器
34 単極双投(SPDT)
40 トランスインピーダンス増幅器
44 抵抗器
46 キャパシタ
50 MID電圧
V1、V2 電圧源
52、56 アナログの特定用途集積回路(ASIC)
54 ディジタルASIC
100 加速度
104 デバイス層
105、107 実装ポスト
24a、26a 金属堆積物
106 基板
108 検知部
114 デバイス層
116 トルク部
110 溝
112、114 パッド
140 チップ
142 ハンドル層
146 トラフ
148 酸化物層
150 ポリシリコン層
Claims (9)
- 基板に可撓自在に取り付けられた慣性質量を有する微小電気機械系(MEMS)加速度測定デバイスであって、
前記慣性質量と前記基板との間に形成された1つ以上の検知キャパシタ(26)と、
前記慣性質量と前記基板との間に形成された1つ以上のトルク・キャパシタ(24)と、
前記慣性質量上において、前記検知キャパシタのカソードを前記トルク・キャパシタのカソードから電気的に分離するように構成されている分離デバイス(110)と、
を備えていることを特徴とする加速度測定デバイス。 - 請求項1記載の加速度測定デバイスにおいて、前記分離デバイスは、前記慣性質量内部において、前記検知キャパシタのカソードと前記トルク・キャパシタのカソードとの間に配置されたトラフを含み、該トラフは、酸化物層及びポリシリコンのビーズの内少なくとも1つを含むことを特徴とする加速度測定デバイス。
- 請求項1記載の加速度測定デバイスにおいて、前記分離デバイスは、前記1つ以上の検知キャパシタのアノードを前記1つ以上のトルク・キャパシタのアノードから電気的に分離し、更に前記1つ以上の検知キャパシタのカソードを前記1つ以上のトルク・キャパシタのカソードから電気的に分離する回路を含むことを特徴とする加速度測定デバイス。
- 請求項4記載の加速度測定デバイスにおいて、該デバイスは更に、
前記1つ以上のトルク・キャパシタのカソードに電気的に接続されている中間電圧源(50)と、
前記1つ以上の検知キャパシタのカソードに電気的に接続されているメカニズム・ノードと、
第1及び第2入力電圧源と、該第1及び第2入力電圧源と前記1つ以上の検知キャパシタのアノードとの間に接続されている1つ以上のスイッチと、
前記メカニズム・ノードに接続されているトランスインピーダンス増幅器(40)と、
を備えていることを特徴とする加速度測定デバイス。 - 基板に可撓自在に取り付けられている慣性質量を有する微小電気機械系(MEMS)加速度計の製造方法であって、
前記慣性質量と前記基板との間に1つ以上の検知キャパシタを形成するステップと、
前記慣性質量と前記基板との間に1つ以上のトルク・キャパシタを形成するステップと、
前記1つ以上の検知キャパシタのカソードを、前記1つ以上のトルク・キャパシタのカソードから電気的に分離するステップと、
を備えていることを特徴とする製造方法。 - 請求項6記載の製造方法において、前記電気的に分離するステップは、前記慣性質量内において、前記1つ以上の検知キャパシタのカソードと、前記1つ以上のトルク・キャパシタのカソードとの間にトラフを形成するステップを含み、前記トラフを形成するステップは、酸化物層及びポリシリコンのビーズの少なくとも一方を前記トラフ内に充填することを含むことを特徴とする製造方法。
- 請求項6記載の製造方法において、前記電気的に分離するステップは、前記1つ以上の検知キャパシタのアノードを前記1つ以上のトルク・キャパシタのアノードから電気的に分離し、更に前記1つ以上の検知キャパシタのカソードを前記1つ以上のトルク・キャパシタのカソードから電気的に分離する回路を形成するステップを含むことを特徴とする製造方法。
- 請求項8記載の製造方法において、前記形成された回路は、中間電圧源を前記1つ以上のトルク・キャパシタのカソードに電気的に接続し、前記形成された回路は、前記1つ以上の検知キャパシタのカソードをメカニズム・ノードに電気的に接続することを特徴とする製造方法。
- 請求項9記載の製造方法において、前記形成された回路は、第1及び第2入力電圧源を、1つ以上のスイッチを通じて、前記1つ以上の検知キャパシタのノードに電気的に接続し、前記メカニズム・ノードはトランスインピーダンス増幅器に電気的に接続されていることを特徴とする方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/550,630 US7409862B2 (en) | 2006-10-18 | 2006-10-18 | Systems and methods for isolation of torque and sense capacitors of an accelerometer |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008107349A true JP2008107349A (ja) | 2008-05-08 |
Family
ID=39333205
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007271560A Pending JP2008107349A (ja) | 2006-10-18 | 2007-10-18 | 加速度計のトルク及び検知キャパシタの分離システム及び方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7409862B2 (ja) |
JP (1) | JP2008107349A (ja) |
GB (1) | GB2443087A (ja) |
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- 2006-10-18 US US11/550,630 patent/US7409862B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-10-18 GB GB0720432A patent/GB2443087A/en not_active Withdrawn
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Also Published As
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---|---|
GB2443087A (en) | 2008-04-23 |
GB0720432D0 (en) | 2007-11-28 |
US7409862B2 (en) | 2008-08-12 |
US20080092654A1 (en) | 2008-04-24 |
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