JP2012507173A - ステージ制御用光学システム - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2008年10月28日に出願された米国仮出願第61/108,941号と2009年10月16日に出願された米国特許出願第12/580,324号の優先権を主張しかつこれらの出願に関連し、これらの両方の出願は、教示し開示する全ての内容に関して参照により本明細書に組み込まれる。
図を参照し、詳細には図1を参照すると、基板12上にレリーフ・パターンを形成するために使用されるリソグラフィ・システム10が示されている。基板12は、基板チャック14に結合されることがある。図示されたように、基板チャック14は、真空チャックである。しかしながら、基板チャック14は、真空式、ピン型、溝型、電磁気式などを含むがこれらに限定されない任意のチャックでよい。例示的なチャックは、米国特許第6,873,087号に記載されており、この特許は、参照により本明細書に組み込まれる。
図3は、インプリント・プロセス前とその最中にテンプレート18および/または基板12の撮像を提供するための例示的な光学システム60を示す。例えば、光学システム60は、ステージ16(図1に示された)の移動によってテンプレート18と基板12のアライメントを容易にするために、テンプレート18、基板12またはこれらの両方の実時間またはほぼ実時間の撮像を提供する。他の実施態様では、ステージ16は、テンプレート18が移動している間静止したままでよい。
テンプレート18、基板12またはこれらの両方は、作成中に移動することがあるので、生産不良を阻止しないにしても最小にするためには、これらの2つの間の正確なアライメントが望ましい。移動は、2つの直交軸(X,Y)含む平面内の平行移動、平面に対して直角な軸のまわりの回転(θ)、またはこれらの両方を含んでもよい。図4に示されたように、現行の実施形態は、インプリント・リソグラフィの際にステージ16の位置を検出するためにエンコーダ80を使用する。そのようなエンコーダは、光学式エンコーダまたは干渉計でよい。
Claims (20)
- テンプレートと基板との位置合わせをする位置合わせ方法であって、
前記基板と前記テンプレートとが対応するフィーチャを有し、デジタル・マイクロミラー装置(DMD)によって前記テンプレートを介して前記基板を走査する段階と、
前記基板上の前記フィーチャと前記テンプレート上の前記フィーチャ間の光の相互作用により生じるモアレ信号を測定する段階と、
前記測定されたモアレ信号に基づいてミスアライメントを決定する段階と
を含む、位置合わせ方法。 - 前記DMDが、前記基板、前記テンプレートまたはこれらの両方の上の領域から検出器要素に光を導く、請求項1に記載の位置合わせ方法。
- 前記決定されたミスアライメントに応じて前記基板と前記テンプレート間のアライメントを調整する段階をさらに含む、請求項1または2に記載の位置合わせ方法。
- DMDが、光を前記基板上の複数の不連続領域から複数の検出器要素に、前記不連続領域のそれぞれが1つの検出器要素に対応するようにして導く、請求項1〜3のいずれか1項に記載の位置合わせ方法。
- 撮像する段階が、圧縮サンプリングする段階を含む、請求項1〜4のいずれか1項に記載の位置合わせ方法。
- 前記モアレ信号が、フーリエ領域で疎でありかつ圧縮的に符号化される、請求項1〜5のいずれか1項に記載の位置合わせ方法。
- 前記アライメントが、前記テンプレート、前記基板またはこれらの両方を、2つの直交軸を含む平面内で移動させる段階、前記平面に対して直角の軸のまわりで回転させる段階、またはこれらの両方の段階を含む、請求項1〜6のいずれか1項に記載の位置合わせ方法。
- インプリント・リソグラフィ用の命令であって、プロセッサによって実行されると、
前記基板上のフィーチャと前記テンプレート上のフィーチャ間の相互作用によって生成されたモアレ信号を、デジタル・マイクロミラー装置(DMD)で取得し、
前記モアレ信号に応じて前記テンプレートと前記基板との位置合わせをすることを含む動作を前記プロセッサに実行させる
インプリント・リソグラフィ用の命令を記憶した1つまたは複数のコンピュータ可読記憶媒体。 - 位置合わせをする段階が、閉制御ループを含む、請求項8に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
- 前記基板上のフィーチャと前記テンプレート上のフィーチャとが、周波数領域内で疎のモアレ信号を生成するように構成された、請求項8または9に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
- 前記モアレ信号の取得が、更に、前記DMDに指示して前記モアレ信号の前記光の少なくとも一部分を検出器に反射させる段階を含む、請求項8〜10のいずれか1項に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
- 前記検出器が、線形配列の検出要素を含む、請求項10に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
- 第1の領域からの前記モアレ信号からの光の少なくとも一部分が、前記DMDを介して第1の検出要素に導かれ、実質的に同時に第2の領域からの前記モアレ信号からの光の別の部分が、前記DMDを介して第2の要素に導かれる、請求項8〜12のいずれか1項に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
- 前記モアレ信号の前記取得が、圧縮サンプリングを含む、請求項8〜13のいずれか1項に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
- インプリント・リソグラフィ・システムであって、
インプリントをするように構成されかつアライメント表示を含むテンプレートと、
前記インプリントを複製するように構成できかつアライメント表示を含む基板と、
前記テンプレートおよび前記基板を照明するように構成された照明装置と、
検出器と、
前記テンプレートおよび前記基板から前記検出器に光の少なくとも一部分を反射させるように構成可能な複数の個別にアドレス指定可能なマイクロミラーを含むデジタル・マイクロミラー装置とを含み、前記光が、前記テンプレートの前記アライメント表示と前記基板の前記アライメント表示の間の相互作用により生じるモアレ・パターンを含む
ことを特徴とする、インプリント・リソグラフィ・システム。 - 前記検出器が、複数の検出要素を含み、前記テンプレート、基板またはこれらの両方の上の複数の不連続領域のそれぞれからの光が、個々の検出要素に導かれる、請求項14に記載のシステム。
- 前記モアレ・パターンが、前記テンプレートと前記基板の間の相対的アライメント誤差の現場測定として使用される、請求項15または16に記載のシステム。
- 前記基板が、前記光を実質的に通す、請求項15〜17のいずれか1項に記載のシステム。
- 前記基板が取り付けられたステージの前記モアレ・パターンに基づいて変位情報と現在位置を出力するように構成されたアライメント・コントローラと、
前記アライメント・コントローラ出力を受け入れ前記ステージを制御するように構成されたステージ・コントローラと
を更に含む、請求項15〜18のいずれか1項に記載のシステム。 - 前記検出器から入力を受け入れ画像を生成するように構成された圧縮サンプリング・モジュールを更に含む、請求項15〜19のいずれか1項に記載のシステム。
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