JP2012502879A - 溶融汚染物およびウェーハ汚染物を低減するための一方向凝固炉 - Google Patents
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Abstract
Description
る。外部環境から坩堝の分離が補助されるべく、坩堝は炉の一部を形成する格納容器内に置かれる。次いで、格納容器内は減圧される。また、格納容器内の雰囲気量は、モニタリングおよび制御され得る。
Claims (31)
- 溶融シリコンを保持するための坩堝、
坩堝を覆い、溶融シリコン上にて囲いを形成するための蓋、および
溶融シリコンの汚染を防止すべく溶融シリコン上に不活性ガスを導入するための蓋の入口
を有して成る一方向凝固炉。 - 蓋が、周辺部を有しており、また、溶融シリコン上から不活性ガスを排出し、溶融シリコン上にて不活性ガスの一様な流れ形成を促進するための複数のギャップを有している、請求項1に記載の一方向凝固炉。
- 溶融シリコン上から不活性ガスを排出するための複数のギャップが形成されるように坩堝と蓋との間に配置されたブラケットを更に有して成る、請求項1に記載の一方向凝固炉。
- 蓋は、複数のギャップ以外にリーク部分を実質的に有していない、請求項2に記載の一方向凝固炉。
- 複数のギャップが坩堝の上端より下方に位置している、請求項2に記載の一方向凝固炉。
- 蓋が、溶融シリコン上から不活性ガスを排出し、溶融シリコン上の不活性ガスの一様な流れ形成を促進するための複数の穴を含む、請求項1に記載の一方向凝固炉。
- 蓋は、炭化ケイ素が被覆されたグラファイトを含んだ耐熱材料の1つまたはそれよりも多いプレートを有して成る、請求項1に記載の一方向凝固炉。
- 入口が、入口管および封止リングを含んでいる、請求項1に記載の一方向凝固炉。
- 入口管および封止リングは、炭化ケイ素が被覆されたグラファイトから形成されている、請求項8に記載の一方向凝固炉。
- 蓋が、耐熱材料から成る少なくとも4つの部品から形成されている、請求項1に記載の一方向凝固炉。
- 蓋が、水平プレートおよび4枚の垂直側壁を含んでいる、請求項10に記載の一方向凝固炉。
- 蓋が、汚染物の逆流を抑制し、また、複数のギャップを溶融シリコンから保護するための内部水平リップを含んでいる、請求項2に記載の一方向凝固炉。
- 坩堝の断面が正方形である、請求項1に記載の一方向凝固炉。
- 溶融シリコンを保持するための坩堝、
坩堝を支持するための坩堝サポート、
坩堝および坩堝サポートを覆い、溶融シリコン上にて囲いを形成するための蓋、溶融シリコン上に不活性ガスを導入するための蓋の入口、ならびに
蓋に隣接して設けられた第1ギャップおよび第2ギャップ
を有して成り、
第1ギャップおよび第2ギャップは前記囲いからの汚染物除去を容易にするための非直線的流路を規定し、また、不活性ガスを該囲いから流出することを可能とする、一方向凝固炉。 - 第1ギャップおよび第2ギャップが、蓋の外周縁部と坩堝サポートとの間に設けられている、請求項14に記載の一方向凝固炉。
- 第1ギャップおよび入口の各々が断面積を有しており、入口断面積に対する第1ギャップ断面積の比が0.5〜10である、請求項15に記載の一方向凝固炉。
- 第1ギャップおよび入口の各々が断面積を有しており、入口断面積に対する第1ギャップ断面積の比が0.8〜1.2である、請求項15に記載の一方向凝固炉。
- 第1ギャップおよび入口の各々が断面積を有しており、入口断面積に対する第1ギャップ断面積の比が1である、請求項15に記載の一方向凝固炉。
- 第1ギャップが蓋と坩堝サポートとの間に設けられており、第2ギャップが蓋と坩堝と坩堝サポートとの間に設けられている、請求項17に記載の一方向凝固炉。
- 第1ギャップの高さは第1ギャップの長さ方向に沿って一定していない、請求項19に記載の一方向凝固炉。
- 第1ギャップにつき、高さに対する幅の比が約4〜約13となっている、請求項15に記載の一方向凝固炉。
- 第1ギャップにつき、高さに対する幅の比が約6となっている、請求項15に記載の一方向凝固炉。
- 第2ギャップにつき、幅に対する高さの比が約2〜約11となっている、請求項15に記載の一方向凝固炉。
- 第2ギャップにつき、幅に対する高さの比が約4となっている、請求項15に記載の一方向凝固炉。
- 多結晶シリコンインゴットの製造方法であって、
固体ポリシリコンを坩堝内に置くこと、
坩堝上に蓋を配置し、それによって、蓋と坩堝との間にラビリンス・ギャップを有する囲いを形成すること、
加熱してポリシリコンを溶融させること、
ガスが前記囲いから汚染物を追い出して前記ギャップからのみ出ていくことになるように不活性ガスを該囲いへと導入すること、
溶融ポリシリコンを固化してインゴットを形成すること
を含んで成る、多結晶シリコンインゴットの製造方法。 - 蓋の入口管を介して不活性ガスを導入する、請求項25に記載の多結晶シリコンインゴットの製造方法。
- 不活性ガスの導入に先立って、前記囲いから酸素を追い出すことを更に含んで成る、請求項26に記載の多結晶シリコンインゴットの製造方法。
- 前記囲いからのガスを流出するに際して、該ガスを回収することを更に含んで成る、請求項27に記載の多結晶シリコンインゴットの製造方法。
- 回収したガスを再利用することを更に含んで成る、請求項28に記載の多結晶シリコンインゴットの製造方法。
- ポリシリコンの固化には、坩堝から熱エネルギーを除去することが含まれる、請求項26に記載の多結晶シリコンインゴットの製造方法。
- インゴットをウェーハにスライスすることを更に含んで成る、請求項26に記載の多結晶シリコンインゴットの製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US9857008P | 2008-09-19 | 2008-09-19 | |
US61/098,570 | 2008-09-19 | ||
PCT/US2009/057602 WO2010033885A1 (en) | 2008-09-19 | 2009-09-19 | Directional solidification furnace for reducing melt contamination and reducing wafer contamination |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012502879A true JP2012502879A (ja) | 2012-02-02 |
JP2012502879A5 JP2012502879A5 (ja) | 2012-11-08 |
Family
ID=41398514
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011528024A Pending JP2012502879A (ja) | 2008-09-19 | 2009-09-19 | 溶融汚染物およびウェーハ汚染物を低減するための一方向凝固炉 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8317920B2 (ja) |
EP (1) | EP2334847B1 (ja) |
JP (1) | JP2012502879A (ja) |
KR (1) | KR101370180B1 (ja) |
CN (1) | CN102159754B (ja) |
TW (1) | TWI485295B (ja) |
WO (1) | WO2010033885A1 (ja) |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101949056B (zh) * | 2010-09-25 | 2013-01-30 | 王敬 | 在坩埚侧壁底端设置有保温部件的定向凝固炉 |
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-
2009
- 2009-09-19 WO PCT/US2009/057602 patent/WO2010033885A1/en active Application Filing
- 2009-09-19 JP JP2011528024A patent/JP2012502879A/ja active Pending
- 2009-09-19 US US12/563,124 patent/US8317920B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2009-09-19 CN CN2009801368978A patent/CN102159754B/zh active Active
- 2009-09-19 EP EP09792746.1A patent/EP2334847B1/en not_active Not-in-force
- 2009-09-19 KR KR1020117008797A patent/KR101370180B1/ko active IP Right Grant
- 2009-09-21 TW TW098131815A patent/TWI485295B/zh not_active IP Right Cessation
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20100074825A1 (en) | 2010-03-25 |
CN102159754A (zh) | 2011-08-17 |
US9222196B2 (en) | 2015-12-29 |
EP2334847A1 (en) | 2011-06-22 |
KR20110076937A (ko) | 2011-07-06 |
CN102159754B (zh) | 2013-07-31 |
KR101370180B1 (ko) | 2014-03-05 |
US20120186299A1 (en) | 2012-07-26 |
WO2010033885A1 (en) | 2010-03-25 |
US8317920B2 (en) | 2012-11-27 |
TWI485295B (zh) | 2015-05-21 |
TW201018756A (en) | 2010-05-16 |
EP2334847B1 (en) | 2013-06-19 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120918 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120918 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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