JP2012249457A - 半導体モジュール、及び、それを用いた駆動装置 - Google Patents
半導体モジュール、及び、それを用いた駆動装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012249457A JP2012249457A JP2011120273A JP2011120273A JP2012249457A JP 2012249457 A JP2012249457 A JP 2012249457A JP 2011120273 A JP2011120273 A JP 2011120273A JP 2011120273 A JP2011120273 A JP 2011120273A JP 2012249457 A JP2012249457 A JP 2012249457A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- potential side
- terminal
- conductor
- high potential
- switching element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 64
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 181
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 53
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical group [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 22
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 22
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract description 9
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 13
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 5
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 5
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 3
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 3
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 3
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/03—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
- H01L25/04—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
- H01L25/07—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L29/00
- H01L25/072—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L29/00 the devices being arranged next to each other
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/34—Strap connectors, e.g. copper straps for grounding power devices; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/36—Structure, shape, material or disposition of the strap connectors prior to the connecting process
- H01L24/37—Structure, shape, material or disposition of the strap connectors prior to the connecting process of an individual strap connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/34—Strap connectors, e.g. copper straps for grounding power devices; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/39—Structure, shape, material or disposition of the strap connectors after the connecting process
- H01L24/40—Structure, shape, material or disposition of the strap connectors after the connecting process of an individual strap connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/06—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of a plurality of bonding areas
- H01L2224/0601—Structure
- H01L2224/0603—Bonding areas having different sizes, e.g. different heights or widths
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/34—Strap connectors, e.g. copper straps for grounding power devices; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/36—Structure, shape, material or disposition of the strap connectors prior to the connecting process
- H01L2224/37—Structure, shape, material or disposition of the strap connectors prior to the connecting process of an individual strap connector
- H01L2224/37001—Core members of the connector
- H01L2224/37099—Material
- H01L2224/371—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
- H01L2224/37138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/37147—Copper [Cu] as principal constituent
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/34—Strap connectors, e.g. copper straps for grounding power devices; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/39—Structure, shape, material or disposition of the strap connectors after the connecting process
- H01L2224/40—Structure, shape, material or disposition of the strap connectors after the connecting process of an individual strap connector
- H01L2224/401—Disposition
- H01L2224/40135—Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
- H01L2224/40137—Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being arranged next to each other, e.g. on a common substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/34—Strap connectors, e.g. copper straps for grounding power devices; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/39—Structure, shape, material or disposition of the strap connectors after the connecting process
- H01L2224/40—Structure, shape, material or disposition of the strap connectors after the connecting process of an individual strap connector
- H01L2224/401—Disposition
- H01L2224/40151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/40221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/40245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/34—Strap connectors, e.g. copper straps for grounding power devices; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/39—Structure, shape, material or disposition of the strap connectors after the connecting process
- H01L2224/40—Structure, shape, material or disposition of the strap connectors after the connecting process of an individual strap connector
- H01L2224/401—Disposition
- H01L2224/40151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/40221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/40245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/40247—Connecting the strap to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73201—Location after the connecting process on the same surface
- H01L2224/73221—Strap and wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/13—Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
- H01L2924/1304—Transistor
- H01L2924/1305—Bipolar Junction Transistor [BJT]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/13—Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
- H01L2924/1304—Transistor
- H01L2924/1305—Bipolar Junction Transistor [BJT]
- H01L2924/13055—Insulated gate bipolar transistor [IGBT]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/13—Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
- H01L2924/1304—Transistor
- H01L2924/1306—Field-effect transistor [FET]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/13—Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
- H01L2924/1304—Transistor
- H01L2924/1306—Field-effect transistor [FET]
- H01L2924/13091—Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor [MOSFET]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/181—Encapsulation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/19—Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/191—Disposition
- H01L2924/19101—Disposition of discrete passive components
- H01L2924/19107—Disposition of discrete passive components off-chip wires
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/30—Technical effects
- H01L2924/301—Electrical effects
- H01L2924/30107—Inductance
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Inverter Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】 三相(U相、V相、W相)インバータ回路を構成するMOS81〜86を備えるパワーモジュール60Aにおいて、U相用の半導体ユニットを例に取ると、電源側導体552は、上MOS81が搭載される第1幅広部56と、第1幅広部56から電源電圧端子652まで延びる第1幅狭部57とを有する。第1幅狭部57は、第1幅広部56のグランド側導体553寄りに、グランド側導体553と隣接して設けられる。これにより、電源電圧端子652からグランド端子653へ至る電流経路Riを可及的に短くし、高周波電流のループ面積を可及的に小さくすることができる。よって、MOS81、84のスイッチング動作に起因して流れる高周波電流による放射磁界の発生を抑制することができる。
【選択図】 図5
Description
放射磁界が発生すると、例えば半導体モジュールが接続される基板に他に接続されるコネクタ、導電部材(バスバー等)、コイルやコンデンサ等の電子部品等との間で磁気結合が生じ、機器の誤動作や他機器へのノイズ流出を引き起こすおそれがある。
この半導体モジュールは、高電位側に設けられる高電位側スイッチング素子、低電位側に設けられる低電位側スイッチング素子、高電位側導体、負荷側導体、低電位側導体、第1接続導体、第2接続導体およびモールド部を備える。
負荷側導体は、負荷に接続する負荷端子を有し、低電位側スイッチング素子が搭載され、低電位側スイッチング素子のドレインまたはドレイン相当電極と接続する。
低電位側導体は、高電位端子と同方向に延び低電位源に接続する低電位端子を有する。
第1接続導体は、高電位側導体上の高電位側スイッチング素子のソースまたはソース相当電極と負荷側導体とを接続する。
第2接続導体は、負荷側導体上の低電位側スイッチング素子のソースまたはソース相当電極と低電位側導体とを接続する。
モールド部は、高電位側スイッチング素子、低電位側スイッチング素子、高電位側導体、負荷側導体、低電位側導体、第1接続導体および第2接続導体を一体にモールドする。
そして、高電位側導体は、高電位側スイッチング素子が搭載される第1幅広部と、当該第1幅広部から高電位端子まで延びる第1幅狭部とを有し、第1幅狭部は、第1幅広部の低電位側導体寄りに設けられる。
この構成により、高電位端子は第1幅広部の低電位側導体寄りに設けられるため、高電位側端子から低電位側端子へ至る電流経路を可及的に短くし、高周波電流のループ面積を可及的に小さくすることができる。よって、スイッチング素子のスイッチング動作に起因して流れる高周波電流による放射磁界の発生を抑制することができる。その結果、半導体モジュールが接続される基板に他に接続されるコネクタ、導電部材、電子部品等との間の磁気結合を抑制し、機器の誤動作や他機器へのノイズ流出を回避することができる。
これにより、高電位側端子から低電位側端子へ至る電流経路を一層短くし、高周波電流のループ面積を一層小さくすることができる。よって、放射磁界の発生をさらに抑制することができる。
仮に、負荷側導体を低電位側導体に対して高電位側導体と反対側に設けると、第2接続導体は負荷側導体をジャンプするように配線する必要がある。そこで、請求項3に記載の構成とすることで、第2接続導体をジャンプ配線とすることを回避することができる。
低電位端子、高電位端子、負荷端子を同一方向にまとめることにより、例えば、これらの端子を1枚のパワー基板に接続し、スペースを集約したり作業性を向上したりすることができる。或いは、負荷端子を負荷に接続する導電部材に溶接することとしてもよい。
銅クリップは、ボンディングワイヤに比べて断面積が大きく、電流の抵抗を小さくすることができる。シャント抵抗は、負荷に供給される電流を検出することができる。
例えば、三相ブラシレスモータを駆動するためのインバータを構成する半導体モジュールは、3組の半導体ユニットを備えればよい。
これにより、半導体モジュールの一方の側に、高電位端子および低電位端子が接続されるパワー基板を配置し、半導体モジュールの他方の側に、制御端子が接続される制御基板を配置するレイアウトに好適である。
これにより、本発明の半導体モジュールを用いた駆動装置において、放射磁界の発生を抑制することができる。
(第1実施形態)
本発明の第1実施形態による半導体モジュールが適用される駆動装置について、図1、図2を参照して説明する。駆動装置1は、車両のステアリング操作をアシストするための電動パワーステアリング装置(以下、「EPS」という。)に適用される。駆動装置1は、モータ2およびコントロールユニット3を備える。
図1に示すように、駆動装置1は、車両のステアリング5の回転軸たるコラム軸6に取り付けられたギア7を介しコラム軸6に回転トルクを発生させ、ステアリング5による操舵をアシストする。具体的には、ステアリング5が運転者によって操作されると、当該操作によってコラム軸6に生じる操舵トルクをトルクセンサ8によって検出し、また、車速情報を図示しないCAN(Controller Area Network)から取得して、運転者のステアリング5による操舵をアシストする。もちろん、このような機構を利用すれば、制御手法によっては、操舵のアシストのみでなく、高速道路における車線キープ、駐車場における駐車スペースへの誘導など、ステアリング5の操作を自動制御することも可能である。
一方のインバータ80は、電界効果トランジスタの一種であるMOSFET(metal-oxide-semiconductor field-effect transistor、以下、「MOS」という。)81〜86を有している。MOS81〜86は、ゲート電位により、ソース−ドレイン間がオン(導通)またはオフ(遮断)される。
MOS82は、ドレインが電源ライン側に接続され、ソースがMOS85のドレインに接続されている。MOS85のソースは、シャント抵抗992を介して接地されている。MOS82とMOS85との接続点は、モータ2のV相巻線に接続されている。
MOS83は、ドレインが電源ライン側に接続され、ソースがMOS86のドレインに接続されている。MOS86のソースは、シャント抵抗993を介して接地されている。MOS83とMOS86との接続点は、モータ2のW相巻線に接続されている。
また、高電位側に接続されるMOS81〜83を「上MOS」、低電位側に接続されるMOS84〜86を「下MOS」という。上MOS81〜83および下MOS84〜86は、それぞれ、特許請求の範囲に記載の「高電位側スイッチング素子」および「低電位側スイッチング素子」に相当する。
本実施形態のコンデンサ77、78は、アルミ電解コンデンサであり、コンデンサ78は、コンデンサ77よりも電気的な容量が大きいものが用いられる。なお、コンデンサ77、78は、アルミ電解コンデンサに限らず、容量等に応じて適宜選択可能である。
レギュレータ部95は、電源を安定化する安定化回路である。レギュレータ部95は、各部へ供給される電源の安定化を行う。例えばマイコン94は、このレギュレータ部95により、安定した所定電圧(例えば5V)で動作することになる。
回転角センサ信号増幅部96には、回転角センサ93からの信号が入力される。回転角センサ93は、モータ2の回転位置信号を検出し、検出された回転位置信号は、回転角センサ信号増幅部96に送られる。回転角センサ信号増幅部96は、回転位置信号を増幅してマイコン94へ出力する。
検出電圧増幅部97は、シャント抵抗991〜993の両端電圧を検出し、当該両端電圧を増幅してマイコン94へ出力する。
また、マイコン94は、検出電圧増幅部97から入力されるシャント抵抗991〜993の両端電圧に基づき、モータ2へ供給する電流を正弦波に近づけるべくインバータ80を制御する。なお、制御部90は、インバータ89についてもインバータ80と同様に制御する。
コントロールユニット3は、外部の電子部品との接続に係るコネクタ45、79等の部品以外のほとんどの構成がモータケース10を軸方向に投影した領域であるモータケース領域に収まるように設けられている。コントロールユニット3は、軸方向において、モータ2側から、制御基板40、ヒートシンク50およびパワーモジュール60A、パワー基板70がこの順で配列されている。すなわち、軸方向において、モータケース10、制御基板40、ヒートシンク50およびパワーモジュール60A、パワー基板70が、この順で配列されている。
制御基板40には、制御部90を構成する各種電子部品が実装されている。制御基板40のモータ2側と反対側の面には、プリドライバ91、カスタムIC92、マイコン94(図1参照)が実装されている。また、制御基板40のモータ2側の面には、回転角センサ93が実装されている。
また、他方のパワーモジュール60Aがインバータ89に対応し、インバータ89を構成するMOS、電源リレー用MOS、およびシャント抵抗を有し、1つのパワーモジュールとして一体に樹脂モールドされている。また、1つの受熱部52に対して、1つの駆動系統を構成する1つのパワーモジュール60Aが配置されている。
パワーモジュール60Aの詳細については後述する。
制御基板40上のマイコン94は、回転角センサ93、トルクセンサ8、シャント抵抗99等からの信号に基づき、車速に応じてステアリング5の操舵をアシストするように、プリドライバ91を介してPWM制御により作出されたパルス信号を生成する。このパルス信号は、制御端子64を経由して、パワーモジュール60Aにより構成される2系統のインバータ80、89に出力され、MOS81〜86のオン/オフの切り替え動作を制御する。これにより、モータ2の巻線の各相には、位相のずれた正弦波電流が通電され、回転磁界が生じる。この回転磁界を受けてロータおよびシャフトが一体となって回転する。そして、シャフトの回転により、出力端29からコラム軸6のギア7に駆動力が出力され、運転者のステアリング5による操舵をアシストする。
図3に示すように、パワーモジュール60Aとヒートシンク50との間には、放熱シート67が設けられる。パワーモジュール60Aは、放熱シート67を挟んで、ねじ68、69によりヒートシンク50に螺着され、ヒートシンク50に保持される。これにより、パワーモジュール60Aへの通電により発生する熱が放熱シート67を介してヒートシンク50に放熱される。
また、放熱シート67は、絶縁材料で形成され、パワーモジュール60Aとヒートシンク50との絶縁を確保する。さらに、放熱シート67をパワーモジュール60Aとヒートシンク50との間に設けることにより、パワーモジュール60Aとヒートシンク50との密着性を高めている。
パワー端子65は、パワー基板70側の第1面62に設けられる。パワー端子65は、パワー基板70に形成されるスルーホールに挿通され、はんだ等によりパワー基板70と電気的に接続される。パワー端子65には、パワー基板70および取出線23を経由してモータ2の巻線に供給される巻線電流が通電される。パワーモジュール60A内のMOS81〜88のオン/オフを切り替えることにより、巻線電流が制御される。
本実施形態では、制御基板40側には、モータ2の駆動制御に係る程度の小さい電流(例えば200mA)しか通電されない。一方、パワー基板70側には、モータ2を駆動するための大電流(例えば80A)が通電される。そのため、パワー端子65は、制御端子64よりも太く形成されている。
図5に示すように、パワーモジュール60Aは、<1>MOS81〜88、<2>リレー前端子649、リレー後端子650を有する導体649、650、<3)モータ端子651、654、657を有するモータ側導体551、554、557、<4>電源電圧端子652、655、658を有する電源側導体552、555、558、<5>グランド端子653、656、659を有するグランド側導体553、556、559、<6>銅クリップ900、903、904、905、<7>シャント抵抗991、992、993、及び、<8>モールド部61を備える。
また、上MOS81、82、83のソースとモータ側導体551、554、557とを接続する銅クリップ903、904、905は、特許請求の範囲に記載の「第1接続導体」に相当する。下MOS84、85、86のソースとグランド側導体553、556、559とを接続するシャント抵抗991、992、993は、特許請求の範囲に記載の「第2接続導体」に相当する。
パワーモジュール60Aのヒートシンク50側の面には、各導体549〜559の一部が金属放熱部としてパワーモジュール60Aのモールド部61から露出している(図示しない)。すなわち、本実施形態のパワーモジュール60Aは、所謂ハーフモールド型のモジュールである。本実施形態では、金属放熱部が放熱シート67を介してヒートシンク50の受熱部52に接触することにより、効率よく放熱することができる。
他のMOS81、82、84〜88についても同様である。
導体549〜559、導体に搭載されるMOS81〜88、並びに、MOS同士またはMOSと導体とを接続する銅クリップ900、903、904、905およびシャント抵抗991、992、993は、上述の「電源リレー用、U相巻線用、V相巻線用、W相巻線用の各端子群」に対応し、「電源リレー用、U相巻線用、V相巻線用、W相巻線用の各半導体ユニット」として大別される。
導体549は、チョークコイル76を介して電源75に接続するリレー前端子649を第1面62側に有する。導体549には、電源リレー用MOS87が搭載される。
導体550は、リレー後端子650を第1面62側に有し、リレー後電圧モニタ用の制御端子450を第2面63側に有する。リレー後端子650は、パワー基板70の配線を経由して、U、V、W相の各電源電圧端子652、655、658に接続する。導体550には、逆接防止用の電源リレー用MOS88が搭載される。MOS87のソースとMOS88のソースとは、銅クリップ900により接続される。
制御部90は、モータ2またはコントロールユニット3の異常時等に制御端子487、488を経由してMOS87、88のゲート電圧を切り替え、MOS87、88をオフすることで、インバータ回路80への電力供給を遮断する。
V相巻線用半導体ユニットは、電源側導体555、モータ側導体554、グランド側導体556、上MOS82、下MOS85、銅クリップ904およびシャント抵抗992等から構成される。
W相巻線用半導体ユニットは、電源側導体558、モータ側導体557、グランド側導体559、上MOS83、下MOS86、銅クリップ905およびシャント抵抗993等から構成される。
上記三相の半導体ユニットの構成は同様であるため、以下、U相巻線用半導体ユニットを代表として詳細な構成を説明する。
上MOS81のソースは、銅クリップ903によりモータ側導体551と接続される。
下MOS84のソースは、シャント抵抗991によりグランド側導体553と接続される。
以上の構成により、MOS81、84のスイッチング動作に起因する高周波電流は、電源電圧端子652、電源側導体552、上MOS81、銅クリップ903、モータ側導体551、下MOS84、シャント抵抗991、グランド側導体553およびグランド端子653を経由する電流経路Riを流れる。
制御端子491、494は、シャント抵抗991の両端に接続され、電圧信号を出力する。この電圧信号に基づいて、U相巻線に供給される電流の大きさが検出される。
(1)比較例では、電源電圧端子122からグランド端子124に至る電流経路Riが長くなり、高周波電流のループ面積が大きくなる。したがって、放射磁界が発生し、図7に太いブロック矢印M0で示すようにパワー基板70に接続されたパワーコネクタ79等との間で磁気結合が生じる。その結果、機器の誤動作や他機器へのノイズ流出を引き起こすおそれがある。
(3)モータ側導体551の第2幅狭部59は、第2幅広部58のグランド側導体553と反対側に設けられる。そのため、モータ端子651は、電源電圧端子652およびグランド端子653と同方向である第1面62側へ延び、1枚のパワー基板70に接続される。これにより、スペースを集約し、作業性を向上することができる。
(5)下MOS84のソースとグランド側導体553とを接続する「第2接続導体」としてシャント抵抗991が用いられるため、モータ2の巻線に供給される電流を検出することができる。
本発明の第2実施形態について図6を参照して説明する。第2実施形態のパワーモジュール60Bは、第1実施形態に対し、主に電源側導体とモータ側導体との配置が異なる。その他、第1実施形態に係る構成と実質的に同一の構成には同一の符号を付して説明を省略する。また、電源リレー用MOS87、88に対応する導体等の構成に関しては説明を省略する。
各導体、MOS、銅クリップおよびシャント抵抗は、第1実施形態と同様、相毎に半導体ユニットを構成する。上記三相の半導体ユニットの構成は同様であるため、代表としてU相巻線用半導体ユニットについて詳細な構成を説明する。
電源側導体504は、上MOS81が搭載される第1幅広部56のグランド側導体506寄りに、電源電圧端子603が延びる第1幅狭部57が設けられる。グランド側導体506は、第1実施形態のグランド側導体553と類似する略直線状であり、第1面62側にグランド端子605が設けられる。モータ側導体505から第1面62側に延びるモータ端子604は、電源電圧端子603とグランド端子605との間に設けられる。
(ア)上記実施形態のパワーモジュール60A等では、電源リレー用のMOS87、88、及び、三相巻線に対応するMOS81〜86の計8つのMOSが、パワーコネクタ79側から、電源リレー用MOS87、88、U相MOS81、84、V相MOS82、85、W相MOS83、86の順に設けられている。他の実施形態では、この順に限らず、電源リレーおよび各相MOSをどのような順番で配置してもよい。
また、パワーモジュールは、電源リレー用を含まなくてもよい。
IGBT等を用いる場合は、「エミッタ」が「ドレイン相当電極」に該当し、「コレクタ」が「ソース相当電極」に該当する。
また、上記実施形態では、下MOSのソースとグランド側導体とをシャント抵抗により接続しているが、他の実施形態では、シャント抵抗に代えて、ボンディングワイヤまたは銅クリップ等で接続してもよい。
(カ)モータ端子(負荷端子)は、電源電圧端子(高電位端子)およびグランド端子(低電位側端子)に対して、パワーモジュールの反対側に設けられてもよい。
(ク)上記実施形態の駆動装置1では、パワーモジュール60A等は、ヒートシンク50に当接する側の面に、モールド部61から露出する金属放熱部を有している。他の実施形態では、パワーモジュールは、モールド部から露出する金属放熱部を有しない所謂フルモールド型のモジュールとしてもよい。なお、この場合、放熱シート67は、絶縁性を有するものでなくてもよい。
以上、本発明は、上記実施形態になんら限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の形態で実施可能である。
2 ・・・モータ
3 ・・・コントロールユニット
40 ・・・制御基板(基板)
50 ・・・ヒートシンク
551、554、557・・・モータ側導体(負荷側導体)
552、555、558・・・電源側導体(高電位側導体)
553、556、559・・・グランド側導体(低電位側導体)
56 ・・・第1幅広部
57 ・・・第1幅狭部
58 ・・・第2幅広部
59 ・・・第2幅狭部
60 ・・・パワーモジュール(半導体モジュール)
61 ・・・モールド部
62 ・・・第1面
63 ・・・第2面
64 ・・・制御端子
65 ・・・パワー端子
651、654、657・・・モータ端子(負荷端子)
652、655、658・・・電源電圧端子(高電位端子)
653、656、659・・・グランド端子(低電位端子)
70 ・・・パワー基板(基板)
79 ・・・パワーコネクタ
81、82、83・・・上MOS(高電位側スイッチング素子)
84、85、86・・・下MOS(低高電位側スイッチング素子)
87、88・・・電源リレー、電源リレー用MOS
903〜905・・・銅クリップ(第1接続導体)
991〜993・・・シャント抵抗(第2接続導体)
Ri ・・・電流経路
Claims (10)
- 直流電流を交流電流に変換するインバータを構成する複数のスイッチング素子を備える半導体モジュールであって、
高電位側に設けられる高電位側スイッチング素子と、
低電位側に設けられる低電位側スイッチング素子と、
高電位源に接続する高電位端子を有し、前記高電位側スイッチング素子が搭載され、前記高電位側スイッチング素子のドレインまたはドレイン相当電極と接続する高電位側導体と、
負荷に接続する負荷端子を有し、前記低電位側スイッチング素子が搭載され、前記低電位側スイッチング素子のドレインまたはドレイン相当電極と接続する負荷側導体と、
前記高電位端子と同方向に延び低電位源に接続する低電位端子を有する低電位側導体と、
前記高電位側導体上の前記高電位側スイッチング素子のソースまたはソース相当電極と前記負荷側導体とを接続する第1接続導体と、
前記負荷側導体上の前記低電位側スイッチング素子のソースまたはソース相当電極と前記低電位側導体とを接続する第2接続導体と、
前記高電位側スイッチング素子、前記低電位側スイッチング素子、前記高電位側導体、前記負荷側導体、前記低電位側導体、前記第1接続導体および前記第2接続導体を一体にモールドするモールド部と、
を備え、
前記高電位側導体は、前記高電位側スイッチング素子が搭載される第1幅広部と、当該第1幅広部から前記高電位端子まで延びる第1幅狭部とを有し、
前記第1幅狭部は、前記第1幅広部の前記低電位側導体寄りに設けられることを特徴とする半導体モジュール。 - 前記高電位側導体の前記第1幅狭部は、前記低電位側導体と隣接して設けられることを特徴とする請求項1に記載の半導体モジュール。
- 前記負荷側導体は、前記低電位側導体に対して前記高電位側導体と同じ側に前記低電位側導体と隣接して設けられ、前記低電位側スイッチング素子が搭載される第2幅広部と、当該第2幅広部から前記負荷端子まで延びる第2幅狭部とを有することを特徴とする請求項2に記載の半導体モジュール。
- 前記負荷端子は、前記高電位端子および前記低電位端子と同方向に延びることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体モジュール。
- 前記第1接続導体および前記第2接続導体の少なくともいずれか一方は、ボンディングワイヤであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の半導体モジュール。
- 前記第1接続導体および前記第2接続導体の少なくともいずれか一方は、銅クリップであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の半導体モジュール。
- 前記第1接続導体および前記第2接続導体の少なくともいずれか一方は、シャント抵抗であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の半導体モジュール。
- 前記高電位側スイッチング素子、前記低電位側スイッチング素子、前記高電位側導体、前記負荷側導体、前記低電位側導体、前記第1接続導体および前記第2接続導体から構成される半導体ユニットを複数備えることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の半導体モジュール。
- 前記高電位側スイッチング素子および前記低電位側スイッチング素子の制御信号が入力される制御端子が、前記高電位端子および前記低電位端子の設けられる側と反対側に設けられることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載の半導体モジュール。
- モータと、
前記モータの巻線と電気的に接続される請求項1〜9のいずれか一項に記載の半導体モジュール、前記半導体モジュールが搭載され発熱を受容可能なヒートシンク、及び前記半導体モジュールと電気的に接続される基板を有し、前記モータの軸方向の一側に設けられるコントロールユニットと、
を備え、
前記負荷はモータ巻線であることを特徴とする駆動装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011120273A JP5267959B2 (ja) | 2011-05-30 | 2011-05-30 | 半導体モジュール、及び、それを用いた駆動装置 |
DE102012104376.0A DE102012104376B4 (de) | 2011-05-30 | 2012-05-22 | Halbleitermodul und Antriebsvorrichtung, die ein Halbeitermodul aufweist |
CN201210175246.3A CN102810979B (zh) | 2011-05-30 | 2012-05-30 | 半导体模块和包括半导体模块的驱动设备 |
US13/483,244 US8564996B2 (en) | 2011-05-30 | 2012-05-30 | Semiconductor module and driving apparatus including semiconductor module |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011120273A JP5267959B2 (ja) | 2011-05-30 | 2011-05-30 | 半導体モジュール、及び、それを用いた駆動装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012249457A true JP2012249457A (ja) | 2012-12-13 |
JP5267959B2 JP5267959B2 (ja) | 2013-08-21 |
Family
ID=47173509
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011120273A Active JP5267959B2 (ja) | 2011-05-30 | 2011-05-30 | 半導体モジュール、及び、それを用いた駆動装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8564996B2 (ja) |
JP (1) | JP5267959B2 (ja) |
CN (1) | CN102810979B (ja) |
DE (1) | DE102012104376B4 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2016104088A1 (ja) * | 2014-12-24 | 2017-04-27 | 日本精工株式会社 | パワー半導体モジュール及びこれを用いた電動パワーステアリング装置 |
WO2017154232A1 (ja) * | 2016-03-11 | 2017-09-14 | 新電元工業株式会社 | 半導体装置及びリードフレーム |
WO2017154198A1 (ja) * | 2016-03-11 | 2017-09-14 | 新電元工業株式会社 | 半導体装置及びその製造方法、リードフレーム |
JP6349470B1 (ja) * | 2017-02-20 | 2018-06-27 | 新電元工業株式会社 | 電子装置、接続体及び電子装置の製造方法 |
WO2018150555A1 (ja) * | 2017-02-20 | 2018-08-23 | 新電元工業株式会社 | 電子装置及び接続体 |
WO2019070064A1 (ja) * | 2017-10-06 | 2019-04-11 | 日本電産株式会社 | モータモジュールおよび電動パワーステアリング装置 |
WO2019077871A1 (ja) * | 2017-10-19 | 2019-04-25 | 株式会社デンソー | 半導体モジュール |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6020379B2 (ja) * | 2013-08-02 | 2016-11-02 | 株式会社デンソー | 半導体装置 |
JP6056827B2 (ja) * | 2014-09-30 | 2017-01-11 | 株式会社デンソー | 回転電機制御装置 |
JP6484436B2 (ja) * | 2014-11-19 | 2019-03-13 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | インバータ制御装置 |
WO2017154195A1 (ja) * | 2016-03-11 | 2017-09-14 | 新電元工業株式会社 | 半導体装置 |
US11145576B2 (en) * | 2017-11-10 | 2021-10-12 | Shindengen Electric Manufacturing Co., Ltd. | Electronic module |
JP6504585B1 (ja) * | 2018-06-04 | 2019-04-24 | 三菱電機株式会社 | 半導体モジュール |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3633432B2 (ja) * | 2000-03-30 | 2005-03-30 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置及び電力変換装置 |
JP2007502544A (ja) * | 2003-08-14 | 2007-02-08 | インターナショナル・レクティファイヤ・コーポレーション | Epas用途、ehpas用途のためのモジュール |
JP2009005462A (ja) * | 2007-06-20 | 2009-01-08 | Hitachi Ltd | 電力変換装置 |
JP2010119300A (ja) * | 2008-03-11 | 2010-05-27 | Hitachi Automotive Systems Ltd | 電力変換装置 |
JP2011036016A (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-17 | Daikin Industries Ltd | 電力変換装置 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3774624B2 (ja) * | 2000-10-18 | 2006-05-17 | 三菱電機株式会社 | 電動パワーステアリング装置 |
KR101321361B1 (ko) * | 2005-09-05 | 2013-10-22 | 페어차일드코리아반도체 주식회사 | 모터구동용 인버터 모듈 및 이를 구비한 모터구동장치와인버터 집적회로 패키지 |
JP2007082359A (ja) * | 2005-09-16 | 2007-03-29 | Hitachi Ltd | インバータ装置および制御装置 |
JP2007189865A (ja) * | 2006-01-16 | 2007-07-26 | Mitsubishi Electric Corp | 制御装置一体型回転電機 |
JP4452953B2 (ja) * | 2007-08-09 | 2010-04-21 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 電力変換装置 |
DE102008054487A1 (de) * | 2008-01-09 | 2009-07-16 | DENSO CORPORARTION, Kariya-shi | Steuersystem für eine mehrphasige elektrische Drehmaschine |
JP4722176B2 (ja) * | 2008-10-27 | 2011-07-13 | 三菱電機株式会社 | 制御装置一体型回転電機 |
JP4811749B2 (ja) * | 2009-06-24 | 2011-11-09 | 株式会社デンソー | 駆動装置 |
DE102010017522A1 (de) * | 2009-06-24 | 2011-02-03 | ASMO Co., Ltd., Kosai-city | Antriebsvorrichtung und Halbleitermodul |
JP4957815B2 (ja) * | 2009-06-24 | 2012-06-20 | 株式会社デンソー | 半導体モジュール及びそれを用いた電子回路内蔵型モータ |
JP5365872B2 (ja) * | 2009-06-24 | 2013-12-11 | 株式会社デンソー | 駆動装置 |
JP5446937B2 (ja) * | 2009-06-24 | 2014-03-19 | 株式会社デンソー | 電子回路内蔵型モータ |
JP5481148B2 (ja) * | 2009-10-02 | 2014-04-23 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 半導体装置、およびパワー半導体モジュール、およびパワー半導体モジュールを備えた電力変換装置 |
JP5287787B2 (ja) * | 2010-04-16 | 2013-09-11 | 株式会社デンソー | 電動装置 |
JP5201171B2 (ja) * | 2010-05-21 | 2013-06-05 | 株式会社デンソー | 半導体モジュール、および、それを用いた駆動装置 |
JP5067679B2 (ja) * | 2010-05-21 | 2012-11-07 | 株式会社デンソー | 半導体モジュール、および、それを用いた駆動装置 |
JP5397417B2 (ja) * | 2011-05-30 | 2014-01-22 | 株式会社デンソー | 半導体装置、および、それを用いた駆動装置 |
-
2011
- 2011-05-30 JP JP2011120273A patent/JP5267959B2/ja active Active
-
2012
- 2012-05-22 DE DE102012104376.0A patent/DE102012104376B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2012-05-30 US US13/483,244 patent/US8564996B2/en active Active
- 2012-05-30 CN CN201210175246.3A patent/CN102810979B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3633432B2 (ja) * | 2000-03-30 | 2005-03-30 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置及び電力変換装置 |
JP2007502544A (ja) * | 2003-08-14 | 2007-02-08 | インターナショナル・レクティファイヤ・コーポレーション | Epas用途、ehpas用途のためのモジュール |
JP2009005462A (ja) * | 2007-06-20 | 2009-01-08 | Hitachi Ltd | 電力変換装置 |
JP2010119300A (ja) * | 2008-03-11 | 2010-05-27 | Hitachi Automotive Systems Ltd | 電力変換装置 |
JP2011036016A (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-17 | Daikin Industries Ltd | 電力変換装置 |
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2016104088A1 (ja) * | 2014-12-24 | 2017-04-27 | 日本精工株式会社 | パワー半導体モジュール及びこれを用いた電動パワーステアリング装置 |
US10438872B2 (en) | 2016-03-11 | 2019-10-08 | Shindengen Electric Manufacturing Co., Ltd. | Semiconductor device and lead frame |
WO2017154232A1 (ja) * | 2016-03-11 | 2017-09-14 | 新電元工業株式会社 | 半導体装置及びリードフレーム |
WO2017154199A1 (ja) * | 2016-03-11 | 2017-09-14 | 新電元工業株式会社 | 半導体装置及びリードフレーム |
WO2017154198A1 (ja) * | 2016-03-11 | 2017-09-14 | 新電元工業株式会社 | 半導体装置及びその製造方法、リードフレーム |
CN107534025A (zh) * | 2016-03-11 | 2018-01-02 | 新电元工业株式会社 | 半导体装置及其制造方法、引线框 |
JP6277292B1 (ja) * | 2016-03-11 | 2018-02-07 | 新電元工業株式会社 | 半導体装置及びリードフレーム |
JP6275292B1 (ja) * | 2016-03-11 | 2018-02-07 | 新電元工業株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
CN107534025B (zh) * | 2016-03-11 | 2020-03-17 | 新电元工业株式会社 | 半导体装置及其制造方法、引线框 |
US10490490B2 (en) | 2016-03-11 | 2019-11-26 | Shindengen Electric Manufacturing Co., Ltd. | Thermally conductive semiconductor device and manufacturing method thereof |
WO2018150555A1 (ja) * | 2017-02-20 | 2018-08-23 | 新電元工業株式会社 | 電子装置及び接続体 |
JPWO2018150555A1 (ja) * | 2017-02-20 | 2019-02-21 | 新電元工業株式会社 | 電子装置及び接続体 |
WO2018150558A1 (ja) * | 2017-02-20 | 2018-08-23 | 新電元工業株式会社 | 電子装置、接続体及び電子装置の製造方法 |
JP6349470B1 (ja) * | 2017-02-20 | 2018-06-27 | 新電元工業株式会社 | 電子装置、接続体及び電子装置の製造方法 |
US11211311B2 (en) | 2017-02-20 | 2021-12-28 | Shindengen Electric Manufacturing Co., Ltd. | Electronic device and connection body |
US11404353B2 (en) | 2017-02-20 | 2022-08-02 | Shindengen Electric Manufacturing Co., Ltd. | Electronic device, connection body, and manufacturing method for electronic device |
WO2019070064A1 (ja) * | 2017-10-06 | 2019-04-11 | 日本電産株式会社 | モータモジュールおよび電動パワーステアリング装置 |
WO2019077871A1 (ja) * | 2017-10-19 | 2019-04-25 | 株式会社デンソー | 半導体モジュール |
JP2019075523A (ja) * | 2017-10-19 | 2019-05-16 | 株式会社デンソー | 半導体モジュール |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102810979A (zh) | 2012-12-05 |
US8564996B2 (en) | 2013-10-22 |
JP5267959B2 (ja) | 2013-08-21 |
DE102012104376B4 (de) | 2019-11-14 |
US20120306299A1 (en) | 2012-12-06 |
DE102012104376A1 (de) | 2012-12-06 |
CN102810979B (zh) | 2016-01-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5267959B2 (ja) | 半導体モジュール、及び、それを用いた駆動装置 | |
JP5206732B2 (ja) | インバータ装置、及び、それを用いた駆動装置 | |
JP5067679B2 (ja) | 半導体モジュール、および、それを用いた駆動装置 | |
JP5435284B2 (ja) | 駆動装置 | |
JP5375874B2 (ja) | モータ駆動装置 | |
JP5201171B2 (ja) | 半導体モジュール、および、それを用いた駆動装置 | |
JP5435285B2 (ja) | 駆動装置 | |
JP5516066B2 (ja) | 駆動装置 | |
JP5435286B2 (ja) | 駆動装置 | |
JP5692575B2 (ja) | 駆動装置 | |
JP5397417B2 (ja) | 半導体装置、および、それを用いた駆動装置 | |
JP5170711B2 (ja) | コントローラ | |
JP5655694B2 (ja) | 駆動装置 | |
JP5177711B2 (ja) | 電動装置 | |
JP6444495B2 (ja) | 電動パワーステアリング駆動装置 | |
JP5327646B2 (ja) | 電子回路内蔵型モータ | |
US20120307476A1 (en) | Control unit and driving apparatus using the same | |
JP2011030407A (ja) | 半導体モジュール及びそれを用いた電子回路内蔵型モータ | |
JP6020379B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP5485591B2 (ja) | 駆動装置及び半導体モジュール | |
JP2012244639A (ja) | モータ駆動装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130405 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130412 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130425 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5267959 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |