JP2012238650A - 位置合わせマークの位置認識装置及び位置認識方法、電子部品の実装装置 - Google Patents

Abstract

【課題】撮像手段によって得られた撮像信号の画像範囲から位置合わせマークの座標を求めるときのサーチエリアを最小限に設定できるようにすること。
【解決手段】液晶セルもしくはＴＣＰに設けられた位置合わせマークを撮像する撮像カメラ１４，２５と、撮像カメラからの撮像信号に基いて位置合わせマークの位置を算出する演算処理部１６と、演算処理部によって算出された位置合わせマークの座標位置が格納蓄積される記憶部１８と、記憶部に格納蓄積された位置合わせマークの座標位置のバラツキに基いて撮像カメラの視野範囲における位置合わせマークをサーチするサーチエリアを設定する設定部１９を具備する。
【選択図】 図５

Description

この発明は基板に電子部品を実装するときに基板もしくは電子部品に設けられた位置合わせマークによってこれらの位置を認識する位置認識装置及び位置認識方法、その位置認識装置を用いて行う電子部品の実装装置に関する。

たとえば、基板としての液晶セルには接着材料としての異方性導電部材を介して電子部品であるＴＣＰ（Tape Carrier Package）が実装される。上記液晶セルは、２枚のガラス板がシール材を介して所定の間隔で液密に接着され、これらガラス板間に液晶が封入されるとともに、各ガラス板の外面にそれぞれ偏光板を貼着して構成される。そして、上記構成の液晶セルには、その側部上面にテープ状の上記異方性導電部材を圧着し、この異方性導電部材に上記ＴＣＰを仮圧着（実装）した後、本圧着（実装）するようにしている。

上記液晶セルに対して上記ＴＣＰを仮圧着するには、液晶セルの下面をバックアップツールの上端面で支持し、その支持された部分の上面に実装ツールに吸着保持された上記ＴＣＰを圧着するようにしている。

上記液晶セルに上記ＴＣＰを実装する場合、液晶セルの一側部の上面に設けられた複数の第１の端子と、上記ＴＣＰに設けられた複数の第２の端子を精密に位置合わせしなければならない。とくに最近では液晶セルの高性能化に伴い上記第１の端子の配置密度や上記ＴＣＰの第２の端子の配置密度がたとえばμｍ単位で狭ピッチ化する傾向にある。

そのため、液晶セルにＴＣＰを実装する際、上記基板とＴＣＰの相対的位置が各端子の配置方向（この方向をＸ方向とする）に対してわずかでもずれると、上記第１の端子と第２の端子の接触不良を招くということがある。

そこで、液晶セルに対して上記ＴＣＰを実装するとき、ステージ上に供給載置された液晶セルと、実装ツールに吸着保持されたＴＣＰとに設けられた位置合わせマークをそれぞれ撮像カメラで撮像する。そして、その撮像に基づいて上記液晶セルとＴＣＰとの相対位置を算出し、その算出によって上記ＴＣＰに対して上記液晶セルをＸ、Ｙ及びθ方向に位置合わせした後、上記ＴＣＰを基板に実装するということが行われている。

上記液晶セルや上記ＴＣＰに設けられた位置合わせマークを撮像カメラによって撮像する場合、上記撮像カメラの視野範囲に対してサーチエリアを設定し、そのサーチエリア内で上記位置合わせマークをサーチしてその位置を算出するということが行われる。

特許第２９５６８４２号公報

上記液晶セルを上記ステージに供給する場合、通常、搬送ロボットによって前工程から取り出されて上記ステージに供給載置される。また、上記ＴＣＰはキャリアテープから金型によって打ち抜かれた後、上記実装ツールによって吸着保持されて上記基板に実装される。

ところで、上記ステージに上記液晶セルを供給載置する場合、上記搬送ロボットによって前工程から上記液晶セルを取り出す位置や取り出した液晶セルを上記ステージに供給載置する位置がたとえば上記搬送ロボットの位置決め精度などによって一定せずバラツキが生じるということがある。

同様に、上記金型によってキャリアテープから打ち抜かれたＴＣＰを上記実装ツールによって吸着保持する場合にも、上記実装ツールの位置決め精度などによってこの実装ツールに対する上記ＴＣＰの保持位置にバラツキが生じるということがある。

そこで、ステージ上に載置された液晶セルの位置合わせマークを撮像したり、実装ツールに吸着保持されたＴＣＰの位置合わせマークを撮像する場合、上記撮像カメラの視野範囲に対するサーチエリアを、上記ステージに載置されたときに生じる上記液晶セルの位置のバラツキや上記加圧ツールに吸着保持されたときに生じる上記ＴＣＰの位置のバラツキにを見込んで大きく設定し、そのサーチエリア内で上記液晶セルや上記ＴＣＰに設けられた位置合わせマークをサーチするということが行われていた。

つまり、ステージに載置される液晶セルの位置にバラツキが生じたり、実装ツールに吸着保持されるＴＣＰの位置にバラツキが生じても、撮像カメラの視野範囲内でそれぞれの位置合わせマークが確実にサーチできるよう、上記サーチエリアは上記バラツキを十分に加味した比較的大きい範囲に設定するようにしていた。

そのため、上記サーチエリアはバラツキを加味しているために大きくなることが避けられないから、そのサーチエリア内から位置合わせマークをサーチするためのサーチ時間が長くなり、生産性を低下させる要因になるということがあった。

逆に、生産性を向上させるためにサーチエリアを小さくすると、液晶セルやＴＣＰに設けられた位置合わせマークがサーチエリアから外れてしまうということが生じる。

この発明は、基板に対して電子部品の実装を繰り返して行う場合、ステージに載置される基板や実装ツールに吸着保持される電子部品の位置合わせマークの座標位置にバラツキが生じても、撮像時におけるサーチエリアを大きくせずに上記位置合わせマークをサーチできるようにした位置合わせマークの位置認識装置及び位置認識方法、その位置認識装置を用いた電子部品の実装装置を提供することにある。

この発明は、基板もしくは電子部品に設けられた位置合わせマークを撮像し、その撮像に基いて上記位置合わせマークの位置を算出する位置合わせマークの位置認識装置であって、
上記基板もしくは電子部品に設けられた上記位置合わせマークを撮像する撮像手段と、
この撮像手段からの撮像信号に基いて上記位置合わせマークの位置を算出する演算処理部と、
この演算処理部によって算出された上記位置合わせマークの座標位置が格納蓄積される記憶部と、
この記憶部に格納蓄積された上記位置合わせマークの座標位置のバラツキに基いて上記撮像手段の視野範囲における上記位置合わせマークをサーチするサーチエリアを設定する設定部と
を具備したことを特徴とする位置合わせマークの位置認識装置にある。

上記設定部は、上記記憶部に蓄積された上記撮像手段の複数回の上記位置合わせマークの座標位置のバラツキの平均値から標準偏差を求め、上記サーチエリアを上記標準偏差の３倍の範囲に設定することが好ましい。

この発明は、基板もしくは電子部品に設けられた位置合わせマークを撮像し、その撮像に基いて上記位置合わせマークの位置を算出する位置合わせマークの位置認識方法であって、
上記基板もしくは電子部品に設けられた上記位置合わせマークを撮像手段によって撮像する工程と、
上記位置合わせマークの撮像した上記撮像手段からの撮像信号に基いて上記マークの位置を算出する工程と、
算出された上記マークの座標位置を格納蓄積する工程と、
格納蓄積された上記位置合わせマークの座標位置のバラツキに基いて上記撮像手段の視野範囲における上記位置合わせマークをサーチするサーチエリアを設定する工程と
を具備したことを特徴とする位置合わせマークの位置認識方法にある。

この発明は、基板に電子部品を実装する電子部品の実装装置であって、
上記基板に設けられた第１の位置合わせマークと、上記電子部品に設けられた第２の位置合わせマークをそれぞれ撮像し、その撮像に基いて上記第１の位置合わせマークと第２の位置合わせマークの座標を位置認識装置によって認識して上記基板に上記電子部品を実装する電子部品の実装装置であって、
上記位置認識装置は請求項１に記載された構成であることを特徴とする電子部品の実装装置にある。

この発明によれば、基板に対して電子部品の実装を繰り返して行う場合、ステージに載置される基板や実装ツールに吸着保持される電子部品の位置合わせマークの座標位置を格納蓄積し、格納蓄積された位置合わせマークの座標位置のバラツキに基いて撮像手段によって撮像された撮像視野内における上記位置合わせマークのサーチエリアを設定するようにした。

そのため、位置合わせマークの座標位置にバラツキが生じても、撮像視野内において位置合わせマークをサーチするためのサーチエリアを必要以上に大きくせずにすむから、上記基板に対して上記電子部品を能率よく確実に位置決めして実装することが可能となる。

この発明の一実施の形態を示す実装装置の正面図。 液晶セルの一側部の下面に設けられた一対の第１の撮像カメラを示す側面図。 実装ツールの経路に設けられた一対の第２の撮像カメラを示す側面図。 （ａ）は液晶セルに設けられた第１の位置合わせマークを一対の第１の撮像カメラで撮像するときの説明図、（ｂ）はＴＣＰに設けられた第２の位置合わせマークを一対の第１の撮像カメラで撮像するときの説明図。 制御系統のブロック図。 視野範囲のサーチエリアを設定するときの説明図。

以下、この発明の一実施の形態を図面を参照しながら説明する。
図１は後述する基板としての液晶セルＷに電子部品としてのＴＣＰ９を実装するための実装装置を示す。この実装装置はベーステーブル１を備えている。このベーステーブル１上にはＸテーブル２が設けられている。このＸテーブル２は上記ベーステーブル１の一側面に設けられたＸ駆動源３によって紙面と直交するＸ方向に沿って駆動されるようになっている。Ｘ方向は図２に矢印で示す。

上記Ｘテーブル２上にはステージとしてのＹテーブル４が上記Ｘ方向と直交するＹ方向に沿って移動可能に設けられている。このＹテーブル４は上記Ｘテーブル２の一側面に設けられたＹ駆動源５によって同図に矢印で示す上記Ｘ方向と直交する上記Ｙ方向に沿って駆動されるようになっている。

上記Ｙテーブル４の上面、つまり保持面４ａには、２枚のガラス板を貼り合わせた上記液晶セルＷがその一側部をＹテーブル４の一側から突出させて吸着保持される。上記Ｘ駆動源３とＹ駆動源５は図５に示す制御装置６によって駆動が制御される。それによって、液晶セルＷを保持した上記Ｙテーブル４がＸ、Ｙ方向に対して位置決めされるようになっている。

上記制御装置６には、液晶セルＷのサイズなどに応じて図示しない入力部によって予め位置情報が入力設定されていて、その位置情報に基づいて上記Ｘ駆動源３とＹ駆動源５が駆動されて上記Ｙテーブル４に保持された上記液晶セルＷの一側部の上記ＴＣＰ９が実装される複数個所の位置が後述する所定の位置に順次位置決めされるようになっている。

上記Ｘ駆動源３とＹ駆動源５とによって位置決めされた上記液晶セルＷの一側部の上面には上記ＴＣＰ９が実装される。そのとき、ＴＣＰ９が実装される上記液晶セルＷの一側部の下面はバックアップツール８によって支持される。

図２に示すように、上記バックアップツール８は、バックアップテーブル１１に下部Ｚ駆動源１２によって上下方向に駆動可能に設けられている。上記ベーステーブル１の一端部の上面にはＸ方向に沿って下部Ｘガイドレール１３が設けられている。

上記バックアップテーブル１１は上記下部Ｘガイドレール１３に沿って図示せぬリニアモータで駆動されるようになっている。それによって、上記バックアップツール８は、上記液晶セルＷの上記ＴＣＰ９が実装される一側部の下面で、この一側部に沿う方向、つまり図２に示すＸ方向に沿って駆動可能に設けられ、上記制御装置６に上記入力部によって入力設定された位置情報に基いて順次位置決めされるようになっている。

上記下部Ｚ駆動源１２と図示しない上記リニアモータは上記制御装置６によって駆動が制御されるようになっている。
上記下部Ｚ駆動源１２のＸ方向に沿う幅方向の両側面には撮像手段としての一対の第１の撮像カメラ１４が設けられている。一対の第１の撮像カメラ１４の撮像信号は図５に示すように画像処理部１５でＡ／Ｄ変換（二値化処理）されて上記制御装置６に内蔵された算出手段である、演算処理部１６に出力される。

一対の第１の撮像カメラ１４は、図４（ａ）に示すように上記液晶セルＷの一側部に所定間隔で設けられた一対の第１の位置合わせマークｍ１の一方と他方をそれぞれの視野範囲Ｓ１内に同時に撮像する。一対の第１の位置合わせマークｍ１は、上記液晶セルＷの一側部に所定間隔で設けられた複数の第１の端子Ｔ１の両側部に設けられている。

図４（ｂ）に示すように、上記ＴＣＰ９の一端部には第２の端子Ｔ２が上記第１の端子Ｔ１に対応する数及び間隔で設けられていて、これら第２の端子Ｔ２の配置方向の外側には一対の第２の位置合わせマークｍ２が第１の位置合わせマークｍ１と同じ間隔で設けられている。

なお、この実施の形態では、第１の位置合わせマークｍ１は第２の位置合わせマークｍ２内に入り込む大きさの丸に形成されているが、これら位置合わせマークｍ１、ｍ２の形状は四角と十字形状など、他の形状であっても差し支えない。

上記演算処理部１６は、上記画像処理部１５で二値化処理された上記一対の第１の撮像カメラ１４の撮像信号から各一対の第１の位置合わせマークｍ１のＸ，Ｙ座標を算出する。

図１に示すように、上記バックアップツール８の上方には実装ツール２１が設けられている。この実装ツール２１は先端部に吸着ノズル２２を有し、この吸着ノズル２２に上記ＴＣＰ９の一端部が吸着保持される。上記実装ツール２１は上記制御装置６によって駆動が制御されるＸ・Ｙ・Ｚ・θ駆動源２３によってＸ，Ｙ，θ及びＺ方向に駆動されるようになっている。

上記Ｘ・Ｙ・Ｚ・θ駆動源２３は、上記実装ツール２１を図示しない上記ＴＣＰ９の供給部の上方に位置決めして上記吸着ノズル２２によって上記ＴＣＰ９を吸着保持させてから、図３に示す一対の第２の撮像カメラ２５が配置された位置の上方を図１に鎖線で示す位置から矢印で示す方向に通過して上記液晶セルＷのＴＣＰ９が実装される側辺部の上方に位置決めされる。

そして、上記吸着ノズル２２が一対の第２の撮像カメラ２５の上方を通過することで、上記ＴＣＰ９に設けられた一対の第２の位置合わせマークｍ２が図４（ｂ）に示すように上記ＴＣＰ９に所定間隔で設けられた一対の第２の位置合わせマークｍ１の一方と他方をそれぞれの視野範囲Ｓ２内に同時に撮像する。

図５に示すように、一対の第２の撮像カメラ２５の撮像信号は、第１の撮像カメラ１４の撮像信号と同様、画像処理部１５で画像処理されてから、演算処理部１６に出力され、ここで一対の第２の位置合わせマークｍ２のＸ、Ｙ座標が算出される。

上記演算処理部１６で第１の位置合わせマークｍ１と第２の位置合わせマークｍ２のＸ、Ｙ座標が算出されると、それらの座標に基く駆動信号が駆動制御部１７に出力されると同時に、記憶部１８に格納貯蔵される。

上記駆動制御部１７は演算処理部１６で算出された上記第１の位置合わせマークｍ１と第２の位置合わせマークｍ２のＸ、Ｙ座標に基づいて上記液晶セルＷに対して上記ＴＣＰ９をＸ、Ｙ及びθ方向に対して位置補正して上記液晶セルＷの一側部に実装する。

つまり、上記駆動制御部１７は図５に示すように上記Ｘ駆動源３、Ｙ駆動源５、下部Ｚ駆動源１２、図示しないリニアモータ及びＸ・Ｙ・Ｚ・θ駆動源２３を駆動制御するようになっている。

上記記憶部１８に格納蓄積された第１の位置合わせマークｍ１と第２の位置合わせマークｍ２のＸ、Ｙ座標は、その蓄積回数が設定された回数、たとえば十〜数十回になると、そのデータが図５に示す設定部１９に出力される。そして、記憶部１８に蓄積されたデータが十〜数十回になる毎に、そのデータが設定部１９に出力されて更新されるようになっている。

上記設定部１９ではそれぞれ一対の第１の位置合わせマークｍ１と第２の位置合わせマークｍ２のＸ、Ｙ座標の平均値ｅを算出し、その平均値ｅから各一対の第１、第２の位置合わせマークｍ１，ｍ２毎の標準偏差σを算出する。図６に標準偏差σを示す。

標準偏差σの求め方をさらに詳しく説明する。つまり、Ｘ、Ｙ座標を求めた後に、Ｘ座標の平均値を求める。この平均値からＸ座標の標準偏差を求め、さらに標準偏差の３倍の３σを求める。この３σによってカメラ視野のＸサーチエリアを設定する。同様に、Ｙ座標についてもＸ座標と同様に標準偏差の３倍の３σを求め、カメラ視野のＹサーチエリアを設定する。

そして、上記ＸサーチエリアとＹサーチエリアを合体することで、図６に示すカメラ視野Ｓ内におけるＸ、Ｙ方向のサーチエリアＳａを設定する。

さらに、上記設定部１９は各一対の第１、第２の位置合わせマークｍ１，ｍ２の標準偏差σを算出したならば、上記演算処理部１６が上記第１、第２の撮像カメラ１４，２５からの撮像信号の視野範囲Ｓ（図６では第１、第２の撮像カメラ１４，２５の視野範囲を纏めてＳで示す）から第１、第２の位置合わせマークｍ１，ｍ２をサーチするときのサーチエリアＳａを設定する設定信号を上記演算処理部１６に出力する。

それによって、上記演算処理部１６が上記第１、第２の撮像カメラ１４，２５からの撮像信号の視野範囲Ｓから第１、第２の位置合わせマークｍ１，ｍ２をサーチするときの視野範囲Ｓ内におけるサーチエリアＳａが変更されることになる。

つまり、上記設定部１９は上記サーチエリアＳａを第１、第２の位置合わせマークｍ１，ｍ２毎の標準偏差σの３倍の範囲内に設定する。

ここで、３σとしたのは、データの分布の平均値の両側にそれぞれ標準偏差σの３倍の値（±３σ）をとることで、この範囲にデータの約９９．７％が存在することにということを根拠にしている。

そのため、上記Ｙテーブル４に載置される液晶セルＷの位置にバラツキが生じたり、上記実装ツール２１の吸着ノズル２２に吸着保持されるＴＣＰ９の位置にバラツキが生じても、上記液晶セルＷに設けられた一対の第１の位置合わせマークｍ１や上記ＴＣＰ９に設けられた一対の第１の位置合わせマークｍ２を上記設定部１９によって設定された上記サーチエリアＳａ内とすることができる。

しかも、上記記憶部１８に格納蓄積されるデータが所定回数になると、そのデータは設定部１９に出力されて更新される。そのため、液晶セルＷの位置のバラツキやＴＣＰ９の位置にバラツキに変動があっても、上記第１、第２の位置合わせマークｍ１，ｍ２の座標を上記サーチエリアＳａの範囲内とすることができる。

このような構成の実装装置によれば、液晶セルＷにＴＣＰ９を実装する際、液晶セルＷの一対の第１の位置合わせマークｍ１とＴＣＰ９の一対の第２の位置合わせマークｍ２を撮像した第１、第２の撮像カメラ１４，２５の撮像信号の視野範囲Ｓ内におけるサーチエリアＳａを、各位置合わせマークｍ１，ｍ２の座標位置のバラツキに基いて設定するようにした。

具体的には、制御装置６の演算処理部１６で処理されて算出された第１、第２の位置合わせマークｍ１，ｍ２のＸ、Ｙ座標を記憶部１８に蓄積し、その数が所定回数に達したならば設定部１９に出力し、この設定部１９で標準偏差σを算出し、その標準偏差σの３倍の範囲である３σの範囲をサーチエリアＳａに設定し、上記演算処理部１６ではそのサーチエリアＳａ内だけをサーチして第１、第２の位置合わせマークｍ１，ｍ２のＸ、Ｙ座標を求めるようにした。

そのため、Ｙテーブル４上における液晶セルＷの位置にバラツキがあったり、実装ツール２１に吸着保持されるＴＣＰ９の位置にバラツキがあっても、そのバラツキの範囲を決定してサーチエリアＳａを最小限に設定することができるから、上記演算処理部１６による第１、第２の位置合わせマークｍ１，ｍ２のＸ、Ｙ座標の算出を迅速に、しかも確実に行うことが可能となる。

さらに、統計学的に、標準偏差σの３倍の３σの範囲に設定されたサーチエリアＳａから第１、第２の位置合わせマークｍ１，ｍ２が外れることはないから、サーチエリアＳａを必要最小限の大きさに設定しても、第１、第２の位置合わせマークｍ１，ｍ２がサーチエリアＳａから外れて測定不能になるということがない。つまり、第１、第２の位置合わせマークｍ１，ｍ２の測定を確実に行うことができる。

なお、上記一実施の形態では液晶セルに設けられた第１の位置合わせマークと、ＴＣＰに設けられた第２の位置合わせマークを別々の撮像カメラで撮像する場合を例に挙げて説明した。

それに代わって、液晶セルのＴＣＰが実装される側辺部に上記ＴＣＰを位置決めし、その状態で上記液晶セルの側辺部に設置された一対の撮像カメラのうちの一方の撮像カメラで液晶セルとＴＣＰの一対の第１、第２の位置合わせマークの一方を撮像し、他方の撮像カメラで第１、第２の位置合わせマークの他方を撮像し、各撮像カメラの撮像信号を上記一実施の形態で説明したように制御装置で処理して視野範囲内におけるサーチエリアを設定するようにしてもよい。

上記実施の形態では液晶セルやＴＣＰが搬送装置によって所定の位置に搬送される際に、この液晶セルの供給位置が一定せずにバラツキが生じることを例に挙げて説明したが、品種による位置合わせマークの位置、形状、マークの素材などによってもバラツキが発生する。したがって、そのような場合にも、この発明を適用することで、そのバラツキから適切なサーチエリアを設定することが可能となる。

また、記憶部に格納蓄積される第１の位置合わせマークｍ１と第２の位置合わせマークｍ２のＸ、Ｙ座標が記憶部に設定された回数に達すると、そのデータが設定部に出力されるようにしたが、これに代わって所定回数の範囲内でデータが追加される毎にデータを設定部に出力するようにしてもよい。たとえば、所定回数を３０回とすると、１〜３０回までデータを蓄積した後、２〜３１回、３〜３２回というように蓄積されるデータを更新するようにしてもよい。

このようにすれば、記憶部に設定されるデータが毎回更新されることになるから、リアルタイムでサーチエリアを更新されることになる。つまり、サーチエリアの設定を位置合わせマークの座標位置の変化に即応させることができるから、液晶セルに対するＴＣＰの位置決めをより一層、確実かつ能率よく行うことが可能となる。

また、上記実施の形態ではサーチエリアを必要以上に大きくせずに液晶セルを能率よく確実に位置決めしてＴＣＰを実装することができるということで説明したが、電子部品の実装装置では液晶セルを確実に位置決めできれば、撮像カメラによる撮像に基く検査ミスが発生して実装装置が停止させられるのをなくすることができる。実装装置を停止させずにすめば、稼働率を向上させ、生産性の向上を図ることが可能となるということもある。

４…Ｙテーブル（ステージ）、６…制御装置、１４…第１の撮像カメラ（撮像手段）、１５…画像処理部、１６…演算処理部、１７…駆動制御部、１８…記憶部、２１…実装ツール、２５…第２の撮像カメラ。

Claims (4)

1. 基板もしくは電子部品に設けられた位置合わせマークを撮像し、その撮像に基いて上記位置合わせマークの位置を算出する位置合わせマークの位置認識装置であって、
   上記基板もしくは電子部品に設けられた上記位置合わせマークを撮像する撮像手段と、
   この撮像手段からの撮像信号に基いて上記位置合わせマークの位置を算出する演算処理部と、
   この演算処理部によって算出された上記位置合わせマークの座標位置が格納蓄積される記憶部と、
   この記憶部に格納蓄積された上記位置合わせマークの座標位置のバラツキに基いて上記撮像手段の視野範囲における上記位置合わせマークをサーチするサーチエリアを設定する設定部と
   を具備したことを特徴とする位置合わせマークの位置認識装置。
2. 上記設定部は、上記記憶部に蓄積された上記撮像手段の複数回の上記位置合わせマークの座標位置のバラツキの平均値から標準偏差を求め、上記サーチエリアを上記標準偏差の３倍の範囲に設定することを特徴とする位置合わせマークの位置認識装置。
3. 基板もしくは電子部品に設けられた位置合わせマークを撮像し、その撮像に基いて上記位置合わせマークの位置を算出する位置合わせマークの位置認識方法であって、
   上記基板もしくは電子部品に設けられた上記位置合わせマークを撮像手段によって撮像する工程と、
   上記位置合わせマークの撮像した上記撮像手段からの撮像信号に基いて上記マークの位置を算出する工程と、
   算出された上記マークの座標位置を格納蓄積する工程と、
   格納蓄積された上記位置合わせマークの座標位置のバラツキに基いて上記撮像手段の視野範囲における上記位置合わせマークをサーチするサーチエリアを設定する工程と
   を具備したことを特徴とする位置合わせマークの位置認識方法。
4. 基板に電子部品を実装する電子部品の実装装置であって、
   上記基板に設けられた第１の位置合わせマークと、上記電子部品に設けられた第２の位置合わせマークをそれぞれ撮像し、その撮像に基いて上記第１の位置合わせマークと第２の位置合わせマークの座標を位置認識装置によって認識して上記基板に上記電子部品を実装する電子部品の実装装置であって、
   上記位置認識装置は請求項１に記載された構成であることを特徴とする電子部品の実装装置。

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