JP2012236289A - インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液体が吐出される液体吐出口12と、液体吐出口12に連通する圧力室16を構成する圧力室形成基板18と、圧力室形成基板18の液体吐出口12の反対側に設けられたエネルギー発生素子22と、を有し、エネルギー発生素子22に接続された基板配線と、支持部材62に接着された配線基板60にパターン状に形成された支持部材配線と、が電気的に接続されており、支持部材62は、複数の支持基板82を接合して形成されており、支持基板82間に柔軟な層84を有するインクジェットヘッドおよびこのインクジェットヘッドの製造方法である。
【選択図】図1
Description
図1に示すように、本発明の支持部材62は複数(図1においては2つ)の支持基板82a、82bで柔軟な層84を挟むことで形成されている。支持部材62が斜めに挿入されると、支持部材62のフレキシブル基板60が貼り付けられている面のいずれか一方しか上部電極48に接触しない場合がある。複数の支持基板82a、82bで柔軟な層84を挟んで支持部材62形成することにより、支持部材62が斜めに挿入されても、柔軟な層84を変形させることができるので、接触していない側のフレキシブル基板60を上部電極48に接触させることができ、確実に電気接続を行なうことができる。
以下、支持部材62の構造について説明する。図2(a)は、支持部材62の斜視図であり、(b)は支持部材62のA−A’およびB−B’断面図である。図2に示す支持部材62は、柔軟な層84として接着剤を用いた場合の図である。柔軟な層84として、硬化後においても柔軟な接着剤を用いることにより、支持部材62を容易に変形させることができるので、支持部材62が傾いて挿入されても確実に電気接続させることができる。また、あらかじめ接着剤を硬化させた後、配線部材保持孔78に挿入しているので、アライメント(位置合わせ)時に接着剤がはみ出すことがないので、はみ出した接着剤により電気接続が妨げられることがないので、電気接続を確実に行なうことができる。
図4は、支持部材162の第2実施形態を示す断面図(A−A’断面図およびB−B’断面図)である。図4に示す支持部材162は、支持基板182a、182bの間に柔軟な層として柔軟部材184を設けている点が、第1実施形態の支持部材と異なっている。柔軟な層として、柔軟部材184を設けることによっても、柔軟部材184を介して支持部材162を変形させることができるので、支持部材162が傾いて挿入されても確実に電気接続を行なうことができる。柔軟部材184としては、ゴムシートやウレタンのスポンジなどを用いることができる。
図5は、第3実施形態にかかる支持部材を構成する支持基板の断面図である。第3実施形態においては、複数の支持基板の接合面に凹部または凸部を設けている点が他の実施例と異なっている。図5においては、(a)、(b)が接合面に凸部を有する図、(c)、(d)が凹部を有する図であり、それぞれ、図2におけるA−A’断面図、B−B’断面図を示す。
次にインクジェットの製造方法について説明する。
支持部材形成工程は、複数の支持基板82を柔軟な層84を介して接合させ、支持部材62を形成する工程である。支持部材を構成する材料としては、上述した材料を用いることができる。
図1に示したインクジェットヘッド10のうち支持部材62を除く他のヘッド本体部分、すなわち、ノズル基板14、圧力室形成基板18、圧電素子22、リザーバ形成基板26などの接合および組み付けなどによりヘッド本体の製造を行なう。
次に、上記で形成した支持部材62を圧力室形成基板18上に形成された圧電素子22の上部電極48との間で電気接続を行なう。
電気接続した後、支持部材62と、保持部材であるヘッドケース74とを接着剤で固定する。上述したように、本発明においては、支持部材62が斜めに挿入された場合に、支持基板82間に設けられた柔軟な層84に応力をかけることで、支持部材62の電気接続側の先端を上部電極に対して平坦にしている。したがって、支持部材62とヘッドケース74との接合を強固に固定することで、支持部材62が戻ることを防止することができる。また、必要に応じて、固定用接着剤88を塗布することもできる。
Claims (17)
- 液体が吐出される液体吐出口と、前記液体吐出口に連通する圧力室を構成する圧力室形成基板と、前記圧力室形成基板の前記液体吐出口の反対側に設けられたエネルギー発生素子と、を有し、
前記エネルギー発生素子に接続された基板配線と、支持部材に接着された配線基板にパターン状に形成された支持部材配線と、が電気的に接続されており、
前記支持部材は、複数の支持基板を接合して形成されており、前記支持基板間に柔軟な層を有することを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記支持部材は、前記支持基板、前記配線基板、前記柔軟な層が、層状に積層されて形成されており、
前記支持部材は、配線部材保持孔を通り、前記圧力室形成基板に対して略垂直に挿入されていることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッド。 - 前記柔軟な層は、前記支持基板同士が接合する面より面積が小さいことを特徴とする請求項1または2に記載のインクジェットヘッド。
- 前記支持基板同士の接合は、前記柔軟な層を複数個所に設けることで接合されており、前記支持部材の前記圧力室形成基板側が、前記柔軟な層の密度が低いことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド。
- 前記柔軟な層は、接着剤により形成されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド。
- 前記接着剤は硬化後のヤング率が100MPa以下であることを特徴とする請求項5に記載のインクジェットヘッド。
- 前記柔軟な層は、柔軟部材であり、前記柔軟部材を前記支持基板に接合することで前記支持部材が形成されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド。
- 前記複数の支持基板の少なくとも1つは、他の支持基板の接合面に凹部または凸部が設けられていることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド。
- 前記支持部材の前記電気接続部側の先端がR形状であることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド。
- 複数の支持基板を柔軟な層を介して接合し、支持部材を形成する支持部材形成工程と、
液体が吐出される液体吐出口を有するノズル基板と、前記液体吐出口に連通する圧力室を構成する圧力室形成基板と、前記圧力室形成基板の前記液体吐出口の反対側に設けられたエネルギー発生素子と、からなるヘッド本体部を形成するヘッド本体形成工程と、
前記エネルギー発生素子に接続された基板配線と、前記支持部材に接着された配線基板にパターン状に形成された支持部材配線と、を電気接続する電気接続工程と、
前記支持部材を前記圧力室形成基板に設けられた保持部材に接合し、固定する接合工程と、を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記柔軟な層は、前記支持部材同士が接合する面より面積が小さいことを特徴とする請求項10に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記支持部材形成工程は、前記柔軟な層を複数個所に設けることで接合し、前記支持部材の圧力室形成基板側が、前記柔軟な層の密度が低いことを特徴とする請求項10または11に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記柔軟な層は、接着剤により形成されていることを特徴とする請求項10から12のいずれか1項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記接着剤は硬化後のヤング率が100MPa以下であることを特徴とする請求項13に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記柔軟な層は、柔軟部材であり、前記柔軟部材を前記支持基板に接合することで前記支持部材を形成することを特徴とする請求項10から12のいずれか1項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記複数の支持基板の少なくとも1つは、他の支持基板の接合面に凹部または凸部が設けられていることを特徴とする請求項10から15のいずれか1項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記支持部材の前記電気接続側の先端がR形状であることを特徴とする請求項10から16のいずれか1項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
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