JP2012231610A - 振動波モータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電気−機械エネルギー変換素子への印加による楕円運動により弾性体に形成された振動子の突起部と接触する被駆動体を相対移動させる振動波モータであって、
被駆動体は環状の移動体で構成され、接触部がバネ性を有する片持ち構造を備え、
弾性体は長方形状に構成され、突起部は該弾性体の長手方向における第一の曲げモードの振動の腹となる位置と振動の節となる位置の間であって、弾性体の長手方向における第二の曲げモードの振動の節となる位置の近傍に設けられ、
振動子の突起部の振動方向が、被駆動体の接触部の変位方向に対応する方向となるように構成されている。
【選択図】 図2
Description
このようなリニア型超音波モータの駆動原理について、図4を用いて説明する。図4(a)のリニア型超音波モータの外観斜視図に示されるように、リニア型超音波モータ410は、振動子401とスライダ406および振動子をスライダ406に加圧するための加圧部材(不図示)から構成されている。
振動子401は、圧電素子等に代表される電気−機械エネルギー変換素子405と、該電気−機械エネルギー変換素子405の片面に接合されて一体化される矩形の形状に形成された弾性体402を備える。
また、更にこの弾性体402の上面に対して凸状に形成された2つの突起部403、404を備える。
超音波モータにおいては、圧電素子に特定の周波数の電圧を印加することで、所望の振動モードを複数励振し、これら振動モードを重ね合わせることにより、駆動するための振動を形成する。
この2つの曲げ振動モードはどちらも、板状の振動子401の面外方向の曲げ振動モードである。
一方の振動モードは、振動子401の長手方向に2次の曲げ振動モード(Mode−A)であり、他方の振動モードは、振動子401の短手方向に1次の曲げ振動モード(Mode−B)である。
振動子401の形状は、2つの振動モードの共振周波数が一致するか、近くなるように設計される。
突起部403、404は、Mode−Aの振動において振動の節となる位置の近傍に配置されており、Mode−Aの振動によって、突起部先端面403−1、404−1は振動の節を支点として振り子運動をするため、X方向に往復運動する。
また突起部403、404は、Mode−Bの振動において振動の腹となる位置の近傍に配置されており、Mode−Bの振動によって、突起部先端面403−1、04−1はZ方向に往復運動する。
この楕円運動により、加圧接触されたスライダ406を一方向に駆動することが出来る。
この種の振動波モータを図5(a)に示す。
図5(a)において、弾性体502は円環状をしており、弾性体502の上部には複数の突起502bが全周にわたって設けられている。弾性体502に対して移動体503は、不図示の加圧部材によって加圧接触されている。
移動体503は、弾性部材で形成されたリング状の本体部503a、本体部503aより延出したフランジ部503b、フランジ部503bの端部から延出し、かつ弾性体502に摩擦接触する摩擦面を有する接触部503cから構成されている。
圧電素子501は、弾性体502の底面に接着剤にて接着され、モータ駆動時に不図示の駆動回路により位相差を有する交流電圧が印加され、進行性振動波を発生させる。進行性振動波の進行方向がθ方向正の向き(図5(a)の矢印参照)の場合、摩擦により駆動される移動体503の移動方向は、θ方向負の向きとなっている。
例えば、振動子401を3個配置した場合を図5(b)に示す。振動子401の突起部先端面403−1、404−1と移動体502の接触部503cを加圧接触し振動子401に2つの曲げ振動モードを励振させると回転する。
上記特許文献2に記載された移動体503はバネ性を有する片持ち構造となっており、移動体503の接触部503cが変位する際には、図5(c)に示すように接触部503cがZ方向変位だけでなく径方向にも変位する。
一方、振動子401の短手方向に1次の曲げ振動モードにおいて、振動子401の各突起部先端面403−1、404−1の振動方向は、図4(b−2)に示すようにZ方向変位のみである。
そのため、移動体503の接触部503cの変位方向と突起部先端面403−1、404−1の振動軌跡の方向とが一致せず、径方向の滑りが生じて接触が安定せず駆動効率が低下する。
前記電気−機械エネルギー変換素子への印加によって節線が略直交する第一の曲げモードと第二の曲げモードとによる2つの曲げモードによる楕円運動を前記振動子の突起部に励起し、該突起部と接触する前記被駆動体を相対移動させる振動波モータであって、
前記被駆動体は環状の移動体で構成され、前記接触部がバネ性を有する片持ち構造を備え、
前記弾性体は長方形状に構成され、前記突起部は該弾性体の長手方向における前記第一の曲げモードの振動の腹となる位置と振動の節となる位置の間であって、該弾性体の長手方向における前記第二の曲げモードの振動の節となる位置の近傍に設けられ、
前記振動子の突起部の振動方向が、前記被駆動体の接触部の変位方向に対応する方向となるように構成されていることを特徴とする。
実施例1として、本発明を適用した振動波モータにおける振動子の構成例について説明する。
本実施例の振動波モータは、電気−機械エネルギー変換素子及び突起部が形成された弾性体とを有する振動子と、該振動子の突起部と接触する接触部を有する被駆動体と、を備える。
そして、上記電気−機械エネルギー変換素子への印加によって節線が略直交する第一の曲げモードと第二の曲げモードとによる2つの曲げモードによる楕円運動を上記振動子の突起部に励起する。
これにより、該突起部と接触する上記被駆動体を相対移動させるように構成されている。
図1において、111は振動子である。本実施例における振動子111は、長方形状の弾性体101と、圧電素子107と、この弾性体上に設けられた2つの突起部109、110と、から構成されている。
突起部109、110は、長手方向に上記2つの曲げモードのうちの2次の曲げ振動モードにおいて振動の節となる位置の近傍に設けられる。本発明において「節となる位置の近傍」とは、厳密に「節となる位置」だけでなく、一定の許容範囲内で「節となる位置からずれた位置」を含む。例えば、製造時の誤差等により、節となる位置から厳密にはズレているが、節となる位置に設けた場合と実質的に同様の機能が発揮される位置であれば「節となる位置の近傍」となる。即ち設計通りの振動を生起させることが可能な位置であれば「節となる位置の近傍」となる。
また、短手方向に上記2つの曲げモードのうちの1次の曲げ振動モードにおいて振動の腹となる位置と振動の節となる位置の間に設けられている。
本実施例では、図7に示すように、弾性体101の長手方向の中心軸Lから弾性体101の短手方向に同じ量離しての弾性体101の上面に2つの突起部109、110が設けられている。
本実施例の移動体503は、図5(a)において従来技術で示したものと基本的に同じ構成を備えている。
本実施例の移動体は、環状の移動体で構成され、接触部がバネ性を有する片持ち構造を備えている。
具体的には、弾性部材で形成されたリング状の本体部503a、本体部503aより延出したフランジ部503b、フランジ部503bの端部から延出し、かつ弾性体502に摩擦接触する摩擦面を有する接触部503cから構成されている。接触部503cは本体部503aに対して径方向内側に設けられている。
図2に示すように、振動子111の長手方向が移動体503の回転方向と一致するように複数配置する。
その際、2つの突起部109、110が共に、短手方向に1次の曲げ振動モードにおける振動の腹に対して径方向内側にくるようにする。
振動子111の突起部109、110と移動体の接触部503cを加圧接触させる。
電源(不図示)から圧電素子107に交流電界を印加すると、振動子111に2つの曲げ振動モードが励振され、突起部109、110の接触面には楕円運動が励振される。
その結果、突起部109、110と加圧接触している移動体は、摩擦駆動力を受け、振動子101の長手方向に駆動され、リングの中心を軸として回転する。
ここで、突起部109、110は図5(c)で示したロータの接触部の変位(角度)と一致する位置に設けている。
図8(a)は突起部を振動子の短手方向に1次の曲げ振動モードにおいて振動の腹となる位置に設けた場合、図8(b)は突起部を前記振動の腹となる位置からずらした場合、図8(c)は図8(b)よりも突起部を前記振動の腹となる位置からずらした場合である。
図に示すように径方向側への変位量は突起の位置が振動の腹の位置からずれるほど大きくなる。
従って、突起部のZ(鉛直)方向の変位とX(径)方向の変位との振動角度はZ方向のみに変位した場合を90°とすると、図9に示すように、突起部の振動角度は、振動の腹の位置からずれるほど小さくなる。
このような原理を用いて、本実施例では突起部109、110を弾性体101上の上記した位置に配置することで、前記突起部の振動方向が、前記接触部の変位方向に対応する振動方向となるように構成される。
これにより、1次の曲げ振動モードにおける振動子の弾性体101の突起部110の振動方向を、移動体503の接触面の変位方向に略一致させること可能となり、図3に示すように径方向の滑りが低減し接触の安定した駆動を起こすことができる。
実施例2として、実施例1と異なる形態の振動波モータにおける振動子の構成例について、図1を用いて説明する。
実施例1が移動体の接触面の変位方向を合わせるために短手方向に1次の曲げモードを用いたのに対して、本発明の実施例2は、2次以上の曲げモードを用いている点において相違する。
本実施例のその他の点(圧電素子、移動体、振動子と移動体との組み合わせ方、2つの曲げモードを励振させて駆動する原理)は、上述した実施例1と同様であるので、説明を省略する。
本実施例では、X方向に2次の曲げモードとY方向に2次の曲げモードを用いて駆動する。X方向に2次の曲げモードを励振させると節線x1、x2、x3が生じる。またY方向に2次の曲げモードを励振させると節線y1、y2、y3が生じる。
実施例1と同様に、移動体の接触面の変位方向とX方向に2次の曲げ振動モードにおける振動子311の突起部310の振動方向が略一致するように突起部309、310を設ける。
突起部310を2つの振動の腹の位置の間で中心線に対して径方向外側に設けた場合を図6(a)に示す。また突起部310を2つの振動の腹の位置の両外側のうち、ロータの軸方向に近い場所に設けた場合を図6(b)に示す。
どちらに突起部を設けるかは、ロータの接触部の位置や振動子の配置できるスペースを勘案して決定する。
これらの構成にすることで径方向の滑りを低減させることが出来る。
以上に説明したように、本発明の各実施例の構成によれば、移動体の接触面の変位方向に合わせて、弾性体の突起部の位置を短手方向に1次の曲げ振動モードにおける振動の腹の位置からずらすことができる。
これにより、突起部の振動方向を移動体の接触面の変位方向と同じ方向にさせ、安定的に接触し駆動できる振動波モータを実現することができる。
107:圧電素子
109、110:突起部
111:振動子
503:移動体
503c:接触部
Claims (2)
- 電気−機械エネルギー変換素子及び突起部が形成された弾性体とを有する振動子と、前記振動子の突起部と接触する接触部を有する被駆動体と、を備え、
前記電気−機械エネルギー変換素子への印加によって節線が略直交する第一の曲げモードと第二の曲げモードとによる2つの曲げモードによる楕円運動を前記振動子の突起部に励起し、該突起部と接触する前記被駆動体を相対移動させる振動波モータであって、
前記被駆動体は環状の移動体で構成され、前記接触部がバネ性を有する片持ち構造を備え、
前記弾性体は長方形状に構成され、前記突起部は該弾性体の長手方向における前記第一の曲げモードの振動の腹となる位置と振動の節となる位置の間であって、該弾性体の長手方向における前記第二の曲げモードの振動の節となる位置の近傍に設けられ、
前記振動子の突起部の振動方向が、前記被駆動体の接触部の変位方向に対応する方向となるように構成されていることを特徴とする振動波モータ。 - 前記振動子の突起部の振動方向が、前記被駆動体の接触部の変位方向と略一致するように、該振動子の突起部が前記弾性体上に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の振動波モータ。
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