JP2012229946A - 封止容器の検査方法及び検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パッケージ36にリッド37を接合した封止容器の上面へスリット光を照射し、スリット光に対し封止容器を相対的に移動させて封止容器の複数箇所にスリット光を照射し、パッケージ36の厚みにより分離したスリット光の端点の位置情報を光切断方式を用いて測定し、測定した平面方向の位置情報と予め定めた基準値とを比較する事によりパッケージ36に対するリッド37の位置ずれと傾きを判断する。
【選択図】図4
Description
対して光切断方式ではリッドとパッケージ上面との輝度差は問題にならず、スリット光の幅が十分細ければリッドの厚みでスリット光が分断されるためパッケージとリッドの縁辺を容易に判別できる。ただし、対象物から反射されるスリット光の幅は、対象物の反射面とスリット光の角度または対象物の反射面と撮影するカメラの角度によりで変化する。ここでは混乱を避けるため、以後スリット光の幅はカメラで撮影した時のスリット光の幅とする。
1)図4(a)および(b)に示すa1〜d2の位置を測定する。
2)a1〜d2のX方向の位置情報をa1x〜d2xとし、
α=b1x−a1x、β=b2x−a2x、γ=d1x−c1x、δ=d2x−c2xを計算する。
3)α、β、γ、δを予め定めた基準値と比較する事により位置ずれの良否を判断する。
ex. 最小正常値<=α又はβ又はγ又はδ=<最大正常値
4)a1点とa2点のY方向上の差(スリット光と封止容器の相対位置の変化量)をLとすると
パッケージに対するリッドの傾きθ= Tan−1(α−β)/Lを計算する。
5)θを予め定めた基準値と比較する事により傾きの良否を判断する。
1)光切断方式により封止容器のパッケージの相対する2辺の外縁とリッドの相対する2辺の外縁の位置情報を測定する。図4(a)および(b)の例ではa1〜d2の位置情報を測定している。
2)封止容器を略90度回転させて前記1)項で測定した外縁に直交するパッケージの相対する2辺の外縁とリッドの相対する2辺の外縁の位置情報を測定する。図4(c)の例では、e1〜h2の位置情報を測定している。
3)前記1)項で測定した位置情報と前記2)項で測定した位置情報は異なる座標系上にあるので一つの座標系上に表すように座標変換を行う。
4)外縁の辺毎の位置情報から各辺に近似の直線を求める。例として図4(b)、(c)に示す直線A〜Hを求める。前記例では各辺につき2箇所の位置情報としているが複数の位置情報からたとえば最小自乗法等を使用して直線を求めても良い。
5)リッドの外縁の隣接する2辺から直線を求め、前記2本の直線の交点の座標を求める。例として図4(e)に示すj,k,m,nが交点でありリッドに近似した方形の頂点となる。
6)リッドに近似の方形の頂点から下ろした垂線とパッケージの外縁から求めた直線の交点までの距離を計算する。例として図4(e)に示す線分P1〜P8の長さと予め定めた基準値と比較する。
つまりパッケージに対するリッドの位置ずれ量として最大となるのは通常リッドの頂点からパッケージの外縁までの距離となる。この距離はリッドの頂点からパッケージの外縁に対しての垂線として求められるので、垂線の方程式等で求めたリッドの頂点からパッケージの外縁までの長さを予め定めた基準値と比較すれば良い。
7)パッケージに対するリッドの傾きはパッケージの辺の傾きとリッドの辺の傾きの差で求まる。
図6に第4の実施形態として記載の検査方法の例を示す。スリット光と移動手段の移動軸が垂直になるように設置し、スリット光に対し封止容器を傾けた状態を図6(a)、封止容器と移動手段の移動軸が垂直になるように設置し、封止容器に対してスリット光を傾けた状態を図6(b)に示す。 図6の場合、7回の計測を行い各々の光切断線から測定した位置情報をそれぞれx1からx7(xはaからgを示す。以下同じ)で示す。但し、x1とx7はリッドの外縁には照射されず、パッケージの外縁を計測する。
この動作の一例を図7に示す。図7はスリット光が4箇所照射され、図7(a)ではx1、x3、x5、x7(xはa〜h以下同じ)の位置情報を同時に測定し、封止容器を図7の上方向に一定値移動させ再度測定すれば図7(b)に示すx2、x4、x6の位置情報が得られる。この例では一本のスッリト光のみの使用の場合は6回の移動と7回の撮影を行うところ本方式では1回の移動と2回の撮影で同様の位置情報を得ることができる。
図4(a)において光切断線の上下(Y)方向の位置情報は、通常光切断法では高さ(Z)方向の情報として扱うが、本方式では光切断線が分断されパッケージとリッド上面の判別がつけば良いので上下(Y)方向の位置情報に数値的な意味はない。使用する情報としては、図4(a)における横(X)方向 の位置情報と、図4(a)と図4(b)の光切断線の移動量であるa1−a2間の距離を使用する。
次に図4(b)のように封止容器とスリット光の相対位置を変えて同様の測定を行い,a2,b2,c2,d2,の位置情報を求める。同様にスリット光の当てる位置を変えて測定をn回(nは2以上)行う。
以後、スリット光と封止容器の相対位置を変えて複数回測定する測定を“スキャン測定”と記する。
図4(a)、(b)を例にとるとa1〜d2の横方向の位置情報をa1x〜d2xとし、
α=b1x−a1x、β=b2x−a2x、γ=d1x−c1x、δ=d2x−c2xを予め設定した値と比較する事で位置ずれの検査を行う。パッケージに対するリッドの傾きの検査を行う場合はa1点とa2点のY方向上の差(スリット光と封止容器の相対位置の変化量)をLとするとパッケージに対するリッドの傾きθ=Tan−1(α−β)/Lを予め設定した値と比較する。
図8のトレイ81の上面には封止容器より大きい凹部82が均等に配置され、前期凹部82に封止容器83が置かれるため封止容器83はトレイ81に対して位置ずれおよび回転している可能性がある。
本実施形態はスリット光に対してパッケージまたはリッドの外縁が垂直でない場合でも高精度の検査が可能となる。
第一の検査動作と第二の検査動作ではトレイが回転するため座標系が異なる。そのままでは位置情報の関連付けが不可能のため同一の座標に変換する。変換する座標自体は一方の座標を他方に合わせても第三の座標にあわせても良い。但し、トレイ全体の位置情報を座標変換すると個々の封止容器は誤差が大きくなるので封止容器毎に座標変換するのが望ましい。
パッケージにリッドを接合したときの位置ずれは、通常パッケージの辺とリッドの頂点間の距離の変化が一番大きいと考えられる。図4(e)に示すようにリッドの頂点から対応するパッケージの辺へ垂線 p1〜p8を引き、直線の方程式等で求めたリッドの頂点から垂線とパッケージの辺の交点までの長さを予め設定した値と比較することで位置ずれ検査を行う。
第7の実施形態として記載の検査装置では第一の検査動作と第二の検査動作と2種類の検査動作を行った。このとき高精度の測定が可能なようにカメラの視野や角度を測定する外縁にあわせた場合、他方の外縁がスリット光に略水平になり同じ検査条件で隣接する2辺の測定が不可能となる。
第8の実施形態に係る検査装置では封止容器の隣接する縁辺を同時に横切るように封止容器に対して特定の角度を持つスリット光を照射することで隣接するパッケージまたはリッド縁辺の位置情報を同時に測定することが可能となる。
照明手段として一本のスッリト光のみの使用の場合、前記スリット光からなる一組の光切断部を測定後、移動手段により次の測定位置に移動する動作を行う。このため測定数が多いとその数だけ移動・撮影が繰り返され、検査のタクトタイムに影響する可能性がある。
本検査装置は移動・撮影の繰り返す回数を減らす手段としてスリット光を複数本同時に照射し、複数のスリット光によるパッケージまたはリッド縁辺の光切断部から位置情報を計算する。また、ある光切断線がどのスリット光により発生したかの判別は、リッドの厚みによる光切断線の位置変化はそれほど大きくないためスリット光間の距離を前記位置変化より十分広い間隔にすれば、カメラに撮影された画面上の光切断線の位置により判断できる。
20・・・・・パラレルシーム接合法
22・・・・・レーザービーム接合法
26・・・・・加熱接合法
31・・・・・光切断線(リッド部)
32・・・・・光切断線(パッケージ部)
34・・・・・スリット光照明
35・・・・・撮像部
36・・・・・リッド
37・・・・・パッケージ
38・・・・・画像処理部
39,81・・トレイ
44・・・・・パッケージに近似した方形
45・・・・・リッドに近似した方形
82・・・・・凹部
83・・・・・封止容器
Claims (9)
- パッケージの開口にリッドを溶接した封止容器のパッケージに対するリッドの位置ずれと傾きを検査する方法であって、前記パッケージと前記リッドを含む前記封止容器の上面へスリット光を照射し、前記スリット光に対し前記封止容器を相対的に移動させて前記封止容器の複数箇所に前記スリット光を照射する照射手順と、前記複数箇所に照射される前記スリット光の反射像をその都度撮影する撮影手順にて、前記リッドの厚みにより分離した前記スリット光のリッド縁辺にある端点の位置情報と前記パッケージの厚みにより分離した前記スリット光のパッケージ縁辺にある端点の位置情報を光切断方式を用いて測定し、測定した高さ方向の位置情報と平面方向の位置情報のうち平面方向の位置情報のみから算出した値と予め定めた基準値とを比較する事によりパッケージに対するリッドの位置ずれと傾きを判断することを特徴とする封止容器の検査方法。
- パッケージにリッドを溶接した封止容器のパッケージの相対する2辺の外縁とリッドの相対する2辺の外縁を第一の外縁群とし、第一の外縁群を略垂直に横切るスリット光を照射し前記スリット光に対し前記封止容器を相対的に略水平に移動する移動手段を用いて前記封止容器の複数箇所に前記スリット光を照射する照射手順と、前記複数箇所に照射される前記スリット光の反射像をその都度撮影する撮影手順にて、前記リッドの厚みにより分離した前記スリット光のリッド縁辺にある端点の平面方向の位置情報と前記パッケージの厚みにより分離した前記スリット光のパッケージ縁辺にある端点の平面方向の位置情報を光切断方式を用いて測定する画像処理手順を有する第一の検査手順と、
第一の検査手順から封止容器を略90度回転させて第一の外縁群に直交するパッケージの相対する2辺の外縁とリッドの相対する2辺の外縁を第二の外縁群とし、第二の外縁群を略垂直に横切るスリット光を照射し前記スリット光に対し前記封止容器を相対的に略水平に移動する移動手段を用いて前記封止容器の複数箇所に前記スリット光を照射する照射手順と、前記複数箇所に照射される前記スリット光の反射像をその都度撮影する撮影手順にて、前記リッドの厚みにより分離した前記スリット光のリッド縁辺にある端点の平面方向の位置情報と前記パッケージの厚みにより分離した前記スリット光のパッケージ縁辺にある端点の平面方向の位置情報を光切断方式を用いて測定する画像処理手順を有する第二の検査手順と、パッケージの外縁の平面方向の位置情報と対応するリッドの外縁の平面方向の位置情報の差を予め定めた基準値と比較する事によりパッケージに対するリッドの平面方向の位置ずれを判断し、パッケージの外縁の平面方向の位置情報と対応するリッドの外縁の平面方向の位置情報の差と、前記照射手順で移動した距離に基づいてパッケージに対するリッドの傾きを計算し、予め定めた基準値と比較する事で判断する第三の検査手順とを有することを特徴とする請求項1に記載の封止容器の検査方法。 - パッケージにリッドを溶接した封止容器のパッケージの相対する2辺の外縁とリッドの相対する2辺の外縁を第一の外縁群とし、第一の外縁群を略垂直に横切るスリット光を照射し前記スリット光に対し前記封止容器を相対的に略水平に移動する移動手段を用いて前記封止容器の複数箇所に前記スリット光を照射する照射手順と、前記複数箇所に照射される前記スリット光の反射像をその都度撮影する撮影手順にて、前記リッドの厚みにより分離した前記スリット光のリッド縁辺にある端点の平面方向の位置情報と前記パッケージの厚みにより分離した前記スリット光のパッケージ縁辺にある端点の平面方向の位置情報を光切断方式を用いて測定する画像処理手順を有する第一の検査手順と、第一の検査手順から封止容器を略90度回転させて第一の外縁群に直交するパッケージの相対する2辺の外縁とリッドの相対する2辺の外縁を第二の外縁群とし、第二の外縁群へ略垂直に横切るスリット光を照射し前記スリット光に対し前記封止容器を相対的に略水平に移動する移動手段を用いて前記封止容器の複数箇所に前記スリット光を照射する照射手順と、前記複数箇所に照射される前記スリット光の反射像をその都度撮影する撮影手順にて、前記リッドの厚みにより分離した前記スリット光のリッド縁辺にある端点の平面方向の位置情報と前記パッケージの厚みにより分離した前記スリット光のパッケージ縁辺にある端点の平面方向の位置情報を光切断方式を用いて測定する画像処理手順を有する第二の検査手順と、第一の検査手順と第二の検査手順で測定した前記スリット光のリッド縁辺にある端点の平面方向の位置情報と前記スリット光のパッケージ縁辺にある端点の平面方向の位置情報を同一の座標上に座標変換し、前記スリット光のリッド外縁にある平面方向の位置情報からリッドの外縁に近似した方形を計算し、前記方形の頂点から、前記スリット光のパッケージ外縁にある平面方向の位置情報から計算したパッケージの外縁に近似した直線の各辺への最短距離を計算し、前記最短距離の値と予め定めた基準値とを比較する事でパッケージに対するリッドの平面方向の位置ずれ量を判断し、前記リッドの外縁に近似した方形の各辺と、対応する前期パッケージの外縁に近似した直線の各辺の角度の差と予め定めた基準値とを比較する事によりパッケージに対するリッドの傾きを判断する第三の検査手順を有することを特徴とする請求項1に記載の封止容器の検査方法。
- パッケージにリッドを溶接した封止容器の上面を照射するスリット光が、前記封止容器の隣接する縁辺を同時に横切るようなスリット光と封止容器の相対的な角度を持ち、このスリット光でパッケージの上面を照射しながら、前記スリット光に対し前記封止容器を相対的に移動し、前記封止容器の複数箇所に前記スリット光を照射する照射手順と、前記複数箇所に照射される前記スリット光の反射像をその都度撮影する撮影手順にて、前記リッドの厚みにより分離た前記スリット光のリッド縁辺にある端点の平面方向の位置情報と前記パッケージの厚みにより分離した前記スリット光のパッケージ縁辺にある端点の平面方向の位置情報を光切断方式を用いて測定する画像処理手順を有し、
前記スリット光のリッド外縁にある平面方向の位置情報からリッドの外縁に近似した方形を計算し、前記方形の頂点から、前記スリット光のパッケージ外縁にある平面方向の位置情報から計算したパッケージの外縁に近似した直線の各辺への最短距離を計算し、前記最短距離の値と予め定めた基準値と比較する事でパッケージに対するリッドの平面方向の位置ずれ量を判断し、前記リッドの外縁に近似した方形の各辺と、対応する前記パッケージの外縁に近似した直線の各辺の角度の差と予め定めた基準値とを比較する事によりパッケージに対するリッドの傾きを判断することを特徴とする請求項1に記載の封止容器の検査方法。 - 前記スリット光を複数本同時に照射し複数の前記スリット光を同時に撮影し、複数の前記スリット光からなるパッケージまたはリッド縁辺の位置情報を計算することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の封止容器の検査方法。
- リッドをパッケージに接合した封止容器を搭載し回転および移動を行うステージとスリット光を照射する照明手段と、前記封止容器周辺を撮影する撮影手段と、前記撮像手段から得られた画像の処理を行い位置情報を測定する画像処理手段と、前記位置情報から計算された値と予め定めた基準値と比較して合否を判断する判定手段とを有し、
リッドをパッケージに接合した封止容器のパッケージの相対する2辺の外縁とリッドの相対する2辺の外縁を第一の外縁群とし、前記第一の外縁群に直交するパッケージの相対する2辺の外縁とリッドの相対する2辺の外縁を第二の外縁群としたとき、前記照明手段にて第一の外縁群へ略垂直に横切るスリット光を照射するとともに前記スリット光と前記封止容器を相対的に略水平に移動して前記封止容器の複数箇所に前記スリット光を照射し、前記撮影手段にて前記複数箇所に照射される前記スリット光の反射像を撮影し、前記画像処理手段にて平面方向の位置情報を測定する第一の検査動作を実施後、第一の検査動作から封止容器を略90度回転させ第二の外縁群へ略垂直に横切るスリット光を照射し前記スリット光に対し前記封止容器を相対的に略水平に移動し前記封止容器の複数箇所に前記スリット光を照射し、撮影手段にて前記複数箇所に照射される前記スリット光の反射像を撮影し、前記画像処理手段にて平面方向の位置情報を測定する第二の検査動作を実施し、前記判定手段は第一の検査動作と第二の検査動作で得たパッケージの外縁の平面方向の位置情報と対応するリッドの外縁の平面方向の位置情報の差によりパッケージに対するリッドの平面方向の位置ずれを判断し、パッケージの外縁の平面方向の位置情報と対応するリッドの外縁の平面方向の位置情報の差を求め、この差と前記ステージが移動した距離によりパッケージに対するリッドの傾きを計算し判断することを特徴とする封止容器の検査装置。 - 前記判定手段において、前記第一の検査動作と前記第二の検査動作の双方で計測した平面方向の位置情報を同一の座標上に座標変換し、リッド外縁の位置情報から計算したリッドの外縁に近似した方形の頂点から、パッケージ外縁の位置情報から計算したパッケージの外縁に近似した直線の各辺への最短距離を計算し、前記最短距離の値と予め定めた基準値と比較する事によりパッケージに対するリッドの平面方向の位置ずれを判断し、前記リッドの外縁に近似した方形の各辺と、前記パッケージの外縁に近似した直線との角度の差と予め定めた基準値とを比較する事により、パッケージに対するリッドの傾きを判断することを特徴とする請求項6に記載の封止容器の検査装置。
- 前記封止容器の隣接する縁辺を同時に横切るように封止容器に対して特定の角度を持つスリット光を照射する照明手段を有し、隣接するパッケージまたはリッド縁辺の位置情報を同時に測定することを特徴とする請求項7に記載の封止容器の検査装置。
- 略平行な複数のスリット光を照射する照明手段を有し、前記複数のスリット光により得られたパッケージまたはリッド縁辺の位置情報を計算することを特徴とする請求項6乃至8のいずれかに記載の封止容器の検査装置。
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