JP2012227422A - Method of manufacturing metal housing integrated type circuit board - Google Patents

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Yasuo Miyazaki
靖夫 宮崎
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing a metal housing integrated type circuit board which facilitates a close attachment of a board to the metal housing and allows an efficient dissipation of heat.SOLUTION: A method of manufacturing a metal housing integrated type circuit board comprises: a step in which a wiring board 14, on one side of which a circuit is formed and on the other side of which an adhesive layer 3 is laminated, is attached to a metal housing 7 by means of the adhesive layer; a mounting step in which a semiconductor package 8 is mounted on the circuit after the step for attachment; and a reflow step in which reflow is performed, after the mounting step, with the wiring board, metal housing, and semiconductor package integrated.

Description

本発明は、金属筐体一体型の回路基板の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a metal housing integrated circuit board.

近年、電子機器の小型化、軽量化、多機能化が一段と進み、これに伴い、配線の高集積化と小型化が急速に進んでいる。   In recent years, electronic devices have been further reduced in size, weight, and functionality, and accordingly, high integration and miniaturization of wiring are rapidly progressing.

発光ダイオード(LED:Light Emitting Diode(以下、単に「LED」と称する場合もある))は低い消費電力で大きな光エネルギーを得られ、長寿命といった特性から、照明や液晶ディスプレイのバックライトとして注目されている。しかしながら、LEDは発光時の発熱が大きく、それにより動作温度が上がると発光効率の低下・寿命の短縮など、LEDの利点が失われてしまうことから、LEDパッケージの熱をいかに効率的に筐体に逃がすかが重要な課題となっている。   Light emitting diodes (LEDs: Light Emitting Diodes (hereinafter sometimes simply referred to as “LEDs”)) are able to obtain large light energy with low power consumption, and are attracting attention as backlights for lighting and liquid crystal displays due to their long life characteristics. ing. However, LEDs generate a large amount of heat during light emission, and as a result, if the operating temperature rises, the advantages of the LED, such as a decrease in light emission efficiency and a shortened life, are lost. How to escape is an important issue.

放熱性を向上させるため、LEDが実装された回路基板にはしばしば金属基板が用いられるが、回路形成のための絶縁層と金属基板との間、及び、金属基板と金属筐体との間のそれぞれの熱抵抗が大きく、放熱の律速となっている。   In order to improve heat dissipation, a metal substrate is often used for the circuit board on which the LED is mounted. However, between the insulating layer for forming the circuit and the metal substrate, and between the metal substrate and the metal housing. Each heat resistance is large, and the rate of heat dissipation is limited.

絶縁層の熱抵抗を抑制する方法としては、例えば絶縁層の熱伝導率を向上させる、又は絶縁層を薄層化するという方法等が挙げられる。   Examples of a method for suppressing the thermal resistance of the insulating layer include a method of improving the thermal conductivity of the insulating layer or reducing the thickness of the insulating layer.

また、金属基板と金属筐体の間の熱抵抗を抑制するためには、固定用のネジを増やす、TIM(Thermal Interface Material)と呼ばれるグリースや粘着シートなどの熱接触を改善するという方法が取られている(例えば、特許文献1、2参照)。この場合、金属基板と金属筐体との密着状態や、金属基板とTIMと金属筐体との密着状態などが重要である。しかし、回路形成やLEDパッケージを実装することよって、金属基板に反りや歪みが発生していたり、LEDパッケージが実装されているために充分に押さえつけられなかったりするなどの要因があると、密着性が悪くなり、放熱性が悪くなるという問題があった。   In addition, in order to suppress the thermal resistance between the metal substrate and the metal housing, a method of increasing the thermal contact such as grease or pressure sensitive adhesive sheet called TIM (Thermal Interface Material) which increases the number of fixing screws is used. (For example, see Patent Documents 1 and 2). In this case, the close contact state between the metal substrate and the metal housing, the close contact state between the metal substrate, the TIM, and the metal housing are important. However, if there are factors such as circuit formation or mounting of the LED package, the metal substrate may be warped or distorted, or it may not be pressed down sufficiently because the LED package is mounted. However, there was a problem that heat dissipation was deteriorated.

特開2006−308738号公報JP 2006-308738 A 特開2008−166406号公報JP 2008-166406 A

このような状況のもと、本発明は、金属筐体に容易に配線板を密着させることができ、半導体から放出される熱を効率よく金属筐体に放熱することができる金属筐体一体型の回路基板の製造方法を提供するものである。   Under such circumstances, the present invention can easily attach a wiring board to a metal casing, and can efficiently dissipate heat released from a semiconductor to the metal casing. A method for manufacturing a circuit board is provided.

本発明者らは、上記課題を解決するため鋭意検討した結果、本発明に至った。すなわち本発明は、
<1>:一方の面に回路が形成され他方の面に粘・接着剤層を有する配線板を、前記粘・接着剤層によって金属筐体に貼付する工程と、
前記貼付工程の後に、前記回路上に半導体パッケージを搭載する搭載工程と、
前記搭載工程の後に、前記配線板、前記金属筐体及び前記半導体パッケージを一体としてリフローするリフロー工程と、
を有する金属筐体一体型の回路基板の製造方法;
<2>:前記半導体パッケージが、LEDパッケージである<1>に記載の金属筐体一体型の回路基板の製造方法;
<3>:前記配線板は、5μm〜105μm厚の回路形成用銅箔と、5μm〜25μm厚のポリイミド樹脂を含む絶縁層と、3μm〜25μm厚の粘・接着剤層と、キャリアフィルムとがこの順に積層された配線板材料に、回路を形成して得られるものである<1>または<2>に記載の金属筐体一体型の回路基板の製造方法;
<4>:前記配線板が、5μm〜105μm厚の回路形成用銅箔と、5μm〜25μm厚のポリイミド樹脂が含まれた絶縁層と、3μm〜25μm厚の接着剤層と、18μm〜500μm厚の金属箔と、3μm〜250μm厚の粘・接着剤層と、キャリアフィルムとがこの順に積層された配線板材料に、回路を形成して得られるものである<1>または<2>に記載の金属筐体一体型の回路基板の製造方法;
<5>:前記リフロー工程は、熱硬化性を有する前記粘・接着剤層を硬化させる<1>から<4>のいずれかに記載の金属筐体一体型の回路基板の製造方法;ならびに、
<6>:前記リフロー工程は、ホットメルト型である前記粘・接着剤層を溶融させる<1>から<4>のいずれかに記載の金属筐体一体型の回路基板の製造方法;
を提供するものである。
As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have reached the present invention. That is, the present invention
<1>: a step of affixing a wiring board having a circuit formed on one surface and having an adhesive / adhesive layer on the other surface to a metal housing with the adhesive / adhesive layer;
A mounting step of mounting a semiconductor package on the circuit after the pasting step;
After the mounting step, a reflow step of reflowing the wiring board, the metal casing and the semiconductor package as a unit;
A method of manufacturing a metal substrate integrated circuit board having
<2>: The method of manufacturing a circuit board integrated with a metal housing according to <1>, wherein the semiconductor package is an LED package;
<3>: The wiring board has a copper foil for circuit formation having a thickness of 5 μm to 105 μm, an insulating layer containing a polyimide resin having a thickness of 5 μm to 25 μm, an adhesive / adhesive layer having a thickness of 3 μm to 25 μm, and a carrier film. <1> or <2> a method for producing a circuit board integrated with a metal housing according to <1>, which is obtained by forming a circuit on wiring board materials laminated in this order;
<4>: The wiring board is a copper foil for circuit formation having a thickness of 5 μm to 105 μm, an insulating layer containing a polyimide resin having a thickness of 5 μm to 25 μm, an adhesive layer having a thickness of 3 μm to 25 μm, and a thickness of 18 μm to 500 μm. <1> or <2> obtained by forming a circuit on a wiring board material in which a metal foil, a 3 μm to 250 μm thick adhesive / adhesive layer, and a carrier film are laminated in this order Manufacturing method of a circuit board integrated with a metal casing;
<5>: The method for producing a circuit board integrated with a metal housing according to any one of <1> to <4>, wherein the reflow step cures the adhesive / adhesive layer having thermosetting properties;
<6>: The method of manufacturing a circuit board integrated with a metal housing according to any one of <1> to <4>, wherein the reflow step melts the adhesive / adhesive layer that is a hot-melt type;
Is to provide.

すなわち、本発明によれば、金属筐体に容易に配線板を密着させることができ、半導体から放出される熱を効率よく金属筐体に放熱することができる金属筐体一体型の回路基板の製造方法を提供することができる。   That is, according to the present invention, a wiring board can be easily brought into close contact with a metal casing, and a heat-released semiconductor can efficiently dissipate heat to the metal casing. A manufacturing method can be provided.

本発明にかかるプロセスフローの概略を示す図である。It is a figure which shows the outline of the process flow concerning this invention. 本発明にかかる別の態様のプロセスフローの概略を示す図である。It is a figure which shows the outline of the process flow of another aspect concerning this invention.

本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。
また本明細書において「〜」を用いて示された数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値をそれぞれ最小値および最大値として含む範囲を示す。
In this specification, the term “process” is not limited to an independent process, and is included in the term if the intended action of the process is achieved even when it cannot be clearly distinguished from other processes. .
In the present specification, numerical ranges indicated using “to” indicate ranges including the numerical values described before and after “to” as the minimum value and the maximum value, respectively.

本発明の金属筐体一体型の回路基板の製造方法は、一方の面に回路が形成され他方の面に粘・接着剤層が積層された配線板を、前記粘・接着剤層によって金属筐体に貼付する工程と、前記貼付工程の後に、前記回路に半導体パッケージを搭載する搭載工程と、前記搭載工程の後に、前記配線板、前記金属筐体及び前記半導体パッケージを一体としてリフローするリフロー工程と、を有し、必要に応じてその他の工程を含むことができる。   The method of manufacturing a circuit board integrated with a metal housing according to the present invention comprises a wiring board having a circuit formed on one surface and a pressure-sensitive adhesive layer laminated on the other surface. A step of attaching to the body, a mounting step of mounting a semiconductor package on the circuit after the attaching step, and a reflow step of integrally reflowing the wiring board, the metal casing and the semiconductor package after the mounting step. And can include other steps as necessary.

本発明は、半導体パッケージを回路に搭載する前に、配線板を金属筐体に貼り付けるため、配線板全面を、金属筐体に押さえつけることができる。そのため、配線板を金属筐体に貼り付けることが容易で、金属筐体と配線板の密着性を向上させることが可能となる。
また、粘・接着剤層が、熱硬化性を有する場合や、ホットメルト型の粘・接着剤層である場合には、前記粘・接着剤層によって配線板が貼付された金属筐体と、前記回路上に搭載された半導体パッケージとを、一体としてリフローすることにより、一括して、配線板と、金属筐体と、半導体パッケージとを一体化することができるため、全体の工数が少なくなり、製造効率の向上が可能となる。
In the present invention, since the wiring board is attached to the metal casing before the semiconductor package is mounted on the circuit, the entire surface of the wiring board can be pressed against the metal casing. Therefore, it is easy to attach the wiring board to the metal casing, and the adhesion between the metal casing and the wiring board can be improved.
In addition, when the adhesive / adhesive layer has thermosetting properties, or a hot-melt adhesive / adhesive layer, a metal casing to which a wiring board is attached by the adhesive / adhesive layer; By reflowing the semiconductor package mounted on the circuit as a single unit, the wiring board, the metal housing, and the semiconductor package can be integrated together, reducing the overall man-hours. The manufacturing efficiency can be improved.

また、5μm〜105μm厚の回路形成用銅箔と、5μm〜25μm厚のポリイミド樹脂を含む絶縁層と、3μm〜25μm厚の粘・接着剤層と、キャリアフィルムとがこの順に積層された配線板材料や、5μm〜105μm厚の回路形成用銅箔と、5μm〜25μm厚のポリイミド樹脂が含まれた絶縁層と、3μm〜25μm厚の接着剤層と、18μm〜500μm厚の金属箔と、3μm〜250μm厚の粘・接着剤層と、キャリアフィルムとがこの順に積層された配線板材料などの、特定の配線板材料を用いることにより、薄くフレキシブルな配線板にすることができ、作業性を向上させ、金属筐体の加工精度の尤度を広げることも可能となる。
さらに、前記特定の配線板材料を用いることにより、半導体パッケージから金属筐体までの層数を少なくし、薄肉化することができるため、熱抵抗を小さくすることも可能となる。
Further, a wiring board in which a copper foil for circuit formation having a thickness of 5 μm to 105 μm, an insulating layer containing a polyimide resin having a thickness of 5 μm to 25 μm, an adhesive / adhesive layer having a thickness of 3 μm to 25 μm, and a carrier film are laminated in this order. Material, copper foil for circuit formation 5 μm to 105 μm thick, insulating layer containing polyimide resin 5 μm to 25 μm thick, adhesive layer 3 μm to 25 μm thick, metal foil 18 μm to 500 μm thick, 3 μm By using a specific wiring board material such as a wiring board material in which an adhesive / adhesive layer having a thickness of 250 μm and a carrier film are laminated in this order, a thin and flexible wiring board can be obtained. It is also possible to improve the likelihood of the processing accuracy of the metal casing.
Further, by using the specific wiring board material, the number of layers from the semiconductor package to the metal casing can be reduced and the thickness can be reduced, so that the thermal resistance can be reduced.

本発明の金属筐体一体型の回路基板の製造方法について以下説明する。
なお、本発明の好適な実施形態について、図面を用いて詳細に説明するが、本発明の製造方法は記載の実施形態に限定されるものではない。
A method for manufacturing a metal housing integrated circuit board according to the present invention will be described below.
In addition, although preferred embodiment of this invention is described in detail using drawing, the manufacturing method of this invention is not limited to described embodiment.

図1には、金属筐体一体型の回路基板16の製造方法にかかるプロセスフローが示されている。本プロセスフローは、キャリアフィルム付き配線板12を準備する工程((f)〜(h))と、キャリアフィルム付き配線板12のキャリアフィルム4を剥離する工程(a)、キャリアフィルム4を剥離した後の配線板14を金属筐体7に仮貼りする工程(b)、及び、金属筐体7に仮貼りした配線板14を金属筐体7に馴染ませる工程(c)を有する貼付工程と、貼付工程の後に、金属ペースト層6を介して半導体パッケージ8を搭載する搭載工程(d)と、搭載工程の後に、配線板14、金属筐体7及び半導体パッケージ8を一体としてリフローするリフロー工程(e)とを含む。   FIG. 1 shows a process flow according to a method for manufacturing a metal housing integrated circuit board 16. In this process flow, the steps ((f) to (h)) of preparing the wiring board 12 with the carrier film, the step (a) of peeling the carrier film 4 of the wiring board 12 with the carrier film, and the carrier film 4 were peeled off. A step (b) of temporarily attaching the subsequent wiring board 14 to the metal housing 7 and a step of attaching the wiring board 14 temporarily attached to the metal housing 7 to the metal housing 7 (c); A mounting step (d) for mounting the semiconductor package 8 via the metal paste layer 6 after the pasting step, and a reflow step for reflowing the wiring board 14, the metal housing 7 and the semiconductor package 8 together after the mounting step ( e).

<貼付工程>
貼付工程では、配線板14を金属筐体7に貼付する。
貼付工程に用いる配線板14は、一方の面に回路配線15と金属ペースト層6とが形成され、他方の面に粘・接着剤層3を有する。この配線板14は、例えば以下の準備工程により準備することができる。
<Paste process>
In the attaching step, the wiring board 14 is attached to the metal housing 7.
The wiring board 14 used in the pasting process has the circuit wiring 15 and the metal paste layer 6 formed on one surface and the adhesive / adhesive layer 3 on the other surface. This wiring board 14 can be prepared, for example, by the following preparation process.

[準備工程]
準備工程は、配線板材料11の回路形成用金属箔1上に回路配線15を形成する工程(回路形成工程(f))、金属ペーストを付与して金属ペースト層6を形成する工程(金属ペースト付与工程(g))、キャリアフィルム付き配線板12に個片化する工程(個片化工程(h))で構成される。準備工程で得られたキャリアフィルム付き配線板12は、次の貼付工程に供される。なお、金属ペースト付与工程(g)は、回路形成工程(f)の後であり、半導体パッケージ8を搭載する搭載工程(d)の前であれば、任意に順番を変えて行うことが出来る。図1では一括印刷することで工数を減らす一例として回路形成工程(f)と個片化工程(h)の間に行った場合を例示した。
[Preparation process]
In the preparation step, a step of forming the circuit wiring 15 on the circuit forming metal foil 1 of the wiring board material 11 (circuit formation step (f)), a step of applying the metal paste to form the metal paste layer 6 (metal paste) Application step (g)), and a step of dividing into individual wiring boards 12 with a carrier film (single step (h)). The wiring board 12 with a carrier film obtained in the preparation process is subjected to the next pasting process. The metal paste application step (g) can be performed in any order as long as it is after the circuit formation step (f) and before the mounting step (d) for mounting the semiconductor package 8. In FIG. 1, the case where it performed between the circuit formation process (f) and the fragmentation process (h) was illustrated as an example which reduces a man-hour by batch printing.

準備工程に用いられる配線板材料11は、回路形成用金属箔1と、絶縁層2と、粘・接着剤層3と、キャリアフィルム4とがこの順に積層されて構成されている。
このような層構成にすることにより、配線板材料11は放熱性と絶縁性に優れる。
配線板材料11の種類としては、特に限定されるものではないが、配線板14を金属筐体7へ貼付する際の利便性の観点から、回路形成した後に可とう性を有するものが好ましい。これにより、配線板14を金属筐体7に貼り付ける際に、配線板14自体を湾曲させることができ、配線板14と金属筐体7との間の密着性を向上させることができる。
The wiring board material 11 used in the preparation step is configured by laminating a circuit forming metal foil 1, an insulating layer 2, an adhesive / adhesive layer 3, and a carrier film 4 in this order.
By using such a layer structure, the wiring board material 11 is excellent in heat dissipation and insulation.
Although it does not specifically limit as a kind of wiring board material 11, From a viewpoint of the convenience at the time of sticking the wiring board 14 to the metal housing | casing 7, what has a flexibility after forming a circuit is preferable. Thereby, when affixing the wiring board 14 to the metal casing 7, the wiring board 14 itself can be curved, and the adhesion between the wiring board 14 and the metal casing 7 can be improved.

回路形成用金属箔1の種類としては、特に制限はされないが、例えば、銅、アルミ、錫などが挙げられる。中でも、回路加工性・熱伝導性・電気伝導性の観点から、銅箔であることが好ましく、さらに、絶縁耐圧、絶縁信頼性の観点から無粗化銅箔であることがより好ましい。   Although there is no restriction | limiting in particular as the kind of metal foil 1 for circuit formation, For example, copper, aluminum, tin etc. are mentioned. Among these, a copper foil is preferable from the viewpoints of circuit processability, thermal conductivity, and electrical conductivity, and further, a non-roughened copper foil is more preferable from the viewpoints of withstand voltage and insulation reliability.

回路形成用金属箔1の厚みとしては、特に制限はされないが、ハンドリングの観点から5μm〜105μmであることが好ましく、9μm〜70μmであることがより好ましい。回路形成用金属箔1の厚みは使用する電力に合わせた最適なものを選択することが出来る。   Although there is no restriction | limiting in particular as thickness of the metal foil 1 for circuit formation, From a viewpoint of handling, it is preferable that they are 5 micrometers-105 micrometers, and it is more preferable that they are 9 micrometers-70 micrometers. The thickness of the metal foil 1 for circuit formation can be selected in accordance with the power used.

絶縁層2を構成する樹脂の種類としては、金属筐体7から配線板14を電気的に絶縁することができれば特に制限はなく、例えば、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、芳香族ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂とアクリル樹脂のポリマーアロイなどが挙げられる。中でも、耐熱性・耐薬品性・可とう性の観点から、ポリイミド樹脂を含むことが好ましい。   The type of resin constituting the insulating layer 2 is not particularly limited as long as it can electrically insulate the wiring board 14 from the metal casing 7. For example, polyimide resin, polyamideimide resin, aromatic polyester resin, epoxy resin And polymer alloy of acrylic resin. Among these, it is preferable to include a polyimide resin from the viewpoint of heat resistance, chemical resistance, and flexibility.

絶縁層2の厚みとしては、特に制限はされないが、放熱性の観点から、絶縁性が示される限り薄いものであることが好ましい。例えば、5μm〜25μmであることが好ましく、5μm〜10μmであることがより好ましい。絶縁層2の厚みが5μm以上である場合には、欠陥のない層を形成することで、絶縁破壊電圧を確保でき好ましく、25μm以下である場合には熱抵抗を小さくすることが出来るため好ましい。   The thickness of the insulating layer 2 is not particularly limited, but is preferably as thin as possible in view of heat dissipation from the viewpoint of heat dissipation. For example, the thickness is preferably 5 μm to 25 μm, and more preferably 5 μm to 10 μm. When the thickness of the insulating layer 2 is 5 μm or more, it is preferable to form a layer having no defect, thereby ensuring a dielectric breakdown voltage. When the thickness is 25 μm or less, it is preferable because the thermal resistance can be reduced.

また、絶縁層2は、予め回路形成用金属箔1を基材として形成・硬化した絶縁層でもよく、下記粘・接着剤層3を兼ねた絶縁性の熱硬化性接着層であってもよい。予め硬化物の絶縁層とすることで、硬化時にアウトガスのある絶縁層も選択できるため好ましく、また、粘・接着剤層を兼ねた絶縁性の熱硬化性接着層とした場合は積層構造が簡略化できるため好ましい。また、絶縁層2が接着性を有することで、回路形成用金属箔1に絶縁層2を積層する際に、その厚みを用途に応じて選択でき、プレスやラミネータにより、空気を挟まずに積層することが可能となる。   The insulating layer 2 may be an insulating layer formed and cured in advance using the circuit forming metal foil 1 as a base material, or may be an insulating thermosetting adhesive layer also serving as the following adhesive / adhesive layer 3. . It is preferable to use an insulating layer of a cured product in advance because it is possible to select an insulating layer with outgas at the time of curing. In addition, an insulating thermosetting adhesive layer that also serves as an adhesive / adhesive layer makes the laminated structure simple. This is preferable. Moreover, since the insulating layer 2 has adhesiveness, when the insulating layer 2 is laminated on the metal foil 1 for circuit formation, the thickness can be selected according to the application, and it is laminated without sandwiching air by a press or a laminator. It becomes possible to do.

粘・接着剤層3の種類としては、特に制限されないが、粘・接着性の観点から、エポキシ樹脂またはアクリル樹脂が好ましく、耐熱性の観点から、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂及びポリウレタン樹脂が好ましく、中でもポリアミドイミド樹脂がより好ましく、応力緩和性の観点からシリコーン変性ポリアミドイミド樹脂であることが特に好ましい。これらはポリマーアロイなどの混合物であってもよく、単体で用いても良い。また、応力緩和性の観点から、低架橋密度のアクリル樹脂などを含むことが好ましい。   The type of the adhesive / adhesive layer 3 is not particularly limited, but an epoxy resin or an acrylic resin is preferable from the viewpoint of adhesiveness / adhesiveness, and a polyamide resin, a polyimide resin, a polyamideimide resin, and a polyurethane resin are preferable from the viewpoint of heat resistance. Among them, a polyamide-imide resin is more preferable, and a silicone-modified polyamide-imide resin is particularly preferable from the viewpoint of stress relaxation. These may be a mixture of a polymer alloy or the like, or may be used alone. Further, from the viewpoint of stress relaxation, it is preferable to include an acrylic resin having a low crosslinking density.

本発明において粘・接着剤層3とは、粘着剤層及び接着剤層の少なくとも一方を意味する。また、粘・接着剤層3としては、熱硬化性を有している粘・接着剤層や、ホットメルト型の粘・接着剤層等が好ましい。熱硬化性を有している粘・接着剤層としては、アクリル/エポキシのポリマーアロイや、ポリアミドイミド樹脂、シリコーン変性ポリアミド樹脂等が挙げられる。また、ホットメルト型の粘・接着剤層としては、信越化学工業(株)製PCS−LTや、住友スリーエム(株) 製Scotch-Weld(登録商標)ホットメルト接着剤 3748V0などが挙げられる。但し、ホットメルト型の接着剤層を使用する場合には、上記熱硬化型の粘・接着剤層に比べて耐熱温度が低く、金属ペーストの融点によってはリフロー工程に耐えられないことがあるが、使用する接着剤の耐熱温度よりも融点が低い金属ペーストを選択することで、耐熱性があまり高くない粘・接着剤層でも使用することが出来る。   In the present invention, the adhesive / adhesive layer 3 means at least one of a pressure-sensitive adhesive layer and an adhesive layer. The adhesive / adhesive layer 3 is preferably a thermosetting adhesive / adhesive layer or a hot-melt adhesive / adhesive layer. Examples of the thermosetting adhesive / adhesive layer include acrylic / epoxy polymer alloys, polyamideimide resins, and silicone-modified polyamide resins. Examples of the hot-melt type adhesive / adhesive layer include PCS-LT manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., and Scotch-Weld (registered trademark) hot melt adhesive 3748V0 manufactured by Sumitomo 3M Limited. However, when using a hot-melt adhesive layer, the heat-resistant temperature is lower than that of the thermosetting adhesive / adhesive layer, and depending on the melting point of the metal paste, it may not be able to withstand the reflow process. By selecting a metal paste having a melting point lower than the heat resistance temperature of the adhesive to be used, it is possible to use even a sticky / adhesive layer having a low heat resistance.

粘・接着剤層3の厚みとしては、特に制限はされないが、例えば、3μm〜25μmであることが好ましく、接着強度と熱抵抗の観点から3μm〜10μmであることが好ましく、熱抵抗の観点から3μm〜5μmであることがより好ましい。粘・接着剤層3の厚みが3μm以上である場合には、接着強度が確保でき好ましく、25μm以下である場合には熱抵抗が小さくなり好ましい。   The thickness of the adhesive / adhesive layer 3 is not particularly limited. For example, the thickness is preferably 3 μm to 25 μm, preferably 3 μm to 10 μm from the viewpoint of adhesive strength and thermal resistance, and from the viewpoint of thermal resistance. More preferably, it is 3 μm to 5 μm. When the thickness of the adhesive / adhesive layer 3 is 3 μm or more, the adhesive strength can be secured, and when the thickness is 25 μm or less, the thermal resistance becomes small.

キャリアフィルム4は、配線板材料11において、回路形成金属箔1の配置面とは異なる形成面とは異なる面に配置されている。配線板材料11は、キャリアフィルム4を備えることにより、取り扱い性が向上する。
キャリアフィルム4の種類としては、熱可塑性フィルム、離型樹脂コートした金属箔等が挙げられ、例えば、ポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム、樹脂コートアルミ箔等が挙げられる。キャリアフィルム4は材質を特に制限するものではないが、後述の回路形成工程(f)にて使用するソルダーレジスト5の硬化温度に耐えることが出来、回路形成時のエッチングの薬液に侵されない材質であると、薬液の浸入により、未硬化の樹脂が侵されるなどして使用不可能となる部分が減り、歩留まりが大幅に向上するために好ましい。また、耐薬品性の観点では、配線板材料11の端面はポリイミドテープなどでメ張りしてあってもよく、メ張りすることで粘・接着剤層3の耐薬品性をカバーすることが出来、未硬化成分の溶出などを抑制できるため、好ましい。また、端面をメ張りすることで、粘・接着剤層3とキャリアフィルム4の相互作用が弱く、端面からめくれ易い状態であっても、薬液の浸透を抑制できるため好ましい。
また、キャリアフィルム4の厚みとしては、特に制限はないが、10μm〜150μmの厚みであることが好ましく、10μm〜50μmの厚みであることがキャリアフィルム以外の部分の厚さと、キャリアフィルムの剥しやすさの関係からより好ましい。キャリアフィルム4の厚みとしては、後述の剥離工程の設備にあわせて、プロセス上剥離しやすい好適な膜厚を選択することが出来る。キャリアフィルムがあまりに厚いと回路形成後の絶縁層2及び粘・接着層3の積層体に比べてキャリアフィルムの強度が強くなりすぎるためにきれいには剥しにくく、キャリアフィルムが薄すぎると回路形成後の強度が不十分となり、ハンドリングしにくくなる。
In the wiring board material 11, the carrier film 4 is disposed on a surface different from the surface on which the circuit forming metal foil 1 is disposed. The wiring board material 11 is provided with the carrier film 4 so that the handleability is improved.
Examples of the carrier film 4 include a thermoplastic film, a release resin-coated metal foil, and the like, and examples thereof include a polyester film, a polyimide film, and a resin-coated aluminum foil. The material of the carrier film 4 is not particularly limited. However, the carrier film 4 can withstand the curing temperature of the solder resist 5 used in the circuit formation step (f) described later, and is a material that is not affected by the etching chemical during circuit formation. If it exists, the part which becomes unusable because the uncured resin is eroded due to the penetration of the chemical solution is reduced, which is preferable because the yield is greatly improved. Further, from the viewpoint of chemical resistance, the end face of the wiring board material 11 may be stretched with polyimide tape or the like, and the chemical resistance of the adhesive / adhesive layer 3 can be covered by stretching. It is preferable because elution of uncured components can be suppressed. Further, it is preferable to stretch the end face because the interaction between the adhesive / adhesive layer 3 and the carrier film 4 is weak and the penetration of the chemical solution can be suppressed even when the end face is easily turned over.
Moreover, there is no restriction | limiting in particular as thickness of the carrier film 4, However, It is preferable that it is the thickness of 10 micrometers-150 micrometers, and the thickness of 10 micrometers-50 micrometers is easy to peel off the thickness of parts other than a carrier film, and a carrier film. It is more preferable from the relationship. As the thickness of the carrier film 4, a suitable film thickness that can be easily peeled in the process can be selected in accordance with the equipment for the peeling process described later. If the carrier film is too thick, the strength of the carrier film is too strong compared to the laminate of the insulating layer 2 and the adhesive / adhesive layer 3 after the circuit is formed. Insufficient strength makes handling difficult.

なお、配線板材料11は必要に応じて他の層を有していてもよく、他の層としては、例えば、支持体用金属箔等が挙げられる。支持体用金属箔を有する配線版材料を用いた実施形態については後述する。
配線板材料11は、シート状に限定されることもなく、ロール状に巻かれていて、連続的な機械加工、貼り付けに供することもできる。
In addition, the wiring board material 11 may have another layer as needed, and examples of the other layer include a metal foil for a support. An embodiment using a wiring plate material having a metal foil for support will be described later.
The wiring board material 11 is not limited to a sheet shape but is wound into a roll shape, and can be used for continuous machining and pasting.

なお、配線板材料11の製造方法は特に制限されず、例えば特開2007−273829号公報に記載の方法を参照することができる。   In addition, the manufacturing method in particular of the wiring board material 11 is not restrict | limited, For example, the method as described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-273729 can be referred.

−回路形成工程−
回路形成工程(f)では、配線板材料11の回路形成用金属箔1に、回路配線15を形成する。
-Circuit formation process-
In the circuit formation step (f), circuit wiring 15 is formed on the circuit forming metal foil 1 of the wiring board material 11.

配線板材料11に、回路配線15を形成する方法としては、特に制限はなく、公知の方法に従うことができる。例えば、回路形成用金属箔1の不要な部分をエッチングにより除去して回路配線15を形成し、ソルダーレジスト5をスクリーン印刷法等により塗布して硬化させ、回路の保護膜を作製すればよい。具体的には、特開2010−266518号公報に記載の方法等に準じることができる。
ソルダーレジスト5は、電子部品のはんだ付けの際、はんだ付けが必要な場所以外に、はんだが付着するのを防止すると共に回路形成用金属箔1を空気に曝さないようにしたり、配線板12の永久保護膜としても機能したりする。そのため、ソルダーレジスト5には密着性、電気絶縁性、はんだ耐熱性、耐溶剤性、耐薬品性等の特性が要求され、例えば日立化成工業(株)製SN−9000や、太陽インキ製造(株)製PSR(登録商標)−4000W10やPSR−9000FLX(登録商標)等が好適である。
There is no restriction | limiting in particular as a method of forming the circuit wiring 15 in the wiring board material 11, It can follow a well-known method. For example, unnecessary portions of the circuit forming metal foil 1 may be removed by etching to form the circuit wiring 15, and the solder resist 5 may be applied and cured by a screen printing method or the like to produce a circuit protective film. Specifically, the method described in JP 2010-266518 A can be applied.
The solder resist 5 prevents the solder from adhering to places other than the places where soldering is necessary, and prevents the circuit forming metal foil 1 from being exposed to the air. It also functions as a permanent protective film. Therefore, the solder resist 5 is required to have properties such as adhesion, electrical insulation, solder heat resistance, solvent resistance, and chemical resistance. For example, SN-9000 manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd. PSR (registered trademark) -4000W10, PSR-9000FLX (registered trademark), etc. are suitable.

−金属ペースト付与工程−
金属ペースト付与工程(g)では、配線板材料11上の回路配線15に金属ペーストを付与し、金属ペースト層6を形成する。
-Metal paste application process-
In the metal paste application step (g), the metal paste is applied to the circuit wiring 15 on the wiring board material 11 to form the metal paste layer 6.

前記金属ペーストの種類としては、特に限定されるものではないが、はんだペーストや銀ペーストなどが挙げられる。金属ペーストの付与方法としては、ディスペンサを用いたものや、スクリーン印刷法やインクジェット印刷法などが挙げられる。
なお、金属ペースト付与工程の際の、金属ペーストの粘度などの条件については、特に限定されず、公知の方法に準じることができる。
Although it does not specifically limit as a kind of said metal paste, A solder paste, a silver paste, etc. are mentioned. Examples of the method for applying the metal paste include a method using a dispenser, a screen printing method, and an ink jet printing method.
In addition, about conditions, such as a viscosity of a metal paste in the case of a metal paste provision process, it does not specifically limit, It can apply to a well-known method.

−個片化工程−
個片化工程では、金属ペースト層6が形成された配線板材料11を個々のキャリアフィルム付き配線板12に個片化する(h)。個片化方法は、特に制限されるものではないが、例えば、金属ペーストが付与された配線板材料11のそれぞれの回路形成領域の外形を切断して個片化を行う。
-Individualization process-
In the separation process, the wiring board material 11 on which the metal paste layer 6 is formed is separated into individual wiring boards 12 with a carrier film (h). There are no particular limitations on the method of dividing, but, for example, the circuit board is cut into individual shapes by cutting the outer shape of each circuit formation region of the wiring board material 11 to which the metal paste is applied.

前記個片化工程では、ソーを用いたダイシングやレーザーダイシングによる切断加工や打ち抜き加工などを行うことが挙げられるが、作業性の観点から、打ち抜き加工を行うことが好ましい。
なお、前記個片化工程の加工の際の、圧力等の条件については、用いる機器等の種類により異なり、公知の方法に準じることができる。
In the singulation step, cutting or punching by dicing using a saw or laser dicing may be performed, but punching is preferably performed from the viewpoint of workability.
In addition, about conditions, such as a pressure in the case of the process of the said singulation process, it changes with kinds of apparatus etc. to be used, and can follow a well-known method.

前記個片化工程においては、金属筐体7の大きさに合わせて配線板材料11を個片化すればよく、個片化のサイズは特に制限されない。また、個片化の際にキャリアフィルムの端面が浮くように切断・打ち抜きを行うと以下の貼付工程の際にキャリアフィルムが剥しやすくなるため好ましい。   In the individualization step, the wiring board material 11 may be individualized according to the size of the metal casing 7, and the size of the individualization is not particularly limited. Further, it is preferable to perform cutting and punching so that the end face of the carrier film is floated during the singulation because the carrier film is easily peeled off during the following sticking process.

<貼付工程>
準備工程で得られたキャリアフィルム付き配線板12は、次いで、貼付工程に供される。貼付工程は、剥離工程(a)、仮貼り工程(b)及び馴染ませ工程(c)で構成され、表面に金属ペースト層6を有する配線板14が、金属筐体7に貼付される。
金属筐体7とは、金属板を有するものであり、立体的な金属体であれば、形状、素材、大きさ等は特に限定されず、目的に応じて適宜選択される。金属筐体に用いることができる金属の種類はアルミ、銅、真鍮、ステンレスなどが挙げられるが、中でも放熱性の観点から、アルミ、銅であることが好ましい。
<Paste process>
The wiring board 12 with a carrier film obtained in the preparation step is then subjected to a pasting step. The pasting step includes a peeling step (a), a temporary pasting step (b), and a conforming step (c), and the wiring board 14 having the metal paste layer 6 on the surface is pasted to the metal casing 7.
The metal housing 7 has a metal plate and is not particularly limited as long as it is a three-dimensional metal body, and is appropriately selected according to the purpose. Examples of the metal that can be used for the metal housing include aluminum, copper, brass, and stainless steel. Among these, aluminum and copper are preferable from the viewpoint of heat dissipation.

剥離工程(a)では、準備工程から供されたキャリアフィルム付き配線板12の表面に配置されたキャリアフィルム4を剥離する。剥離工程により、キャリアフィルム4を有しない配線板14が得られる。
キャリアフィルム4の剥離方法としては、個片の寸法や貼付設備、粘・接着剤層3のタック性などに合わせて公知の方法に準じることができる。
In a peeling process (a), the carrier film 4 arrange | positioned on the surface of the wiring board 12 with a carrier film provided from the preparation process is peeled. The wiring board 14 which does not have the carrier film 4 is obtained by a peeling process.
As a peeling method of the carrier film 4, it can apply to a well-known method according to the size of an individual piece, a sticking installation, the tackiness of the adhesive / adhesive layer 3, and the like.

仮貼り工程(b)では、配線板14を金属筐体7に仮貼りする。
仮貼りは、金属筐体7に配線板14が密着するように、指先やゴムなどの柔軟なロール、ラミネータ、プレス等で空気が入らないように馴染ませる工程であり、粘・接着剤層3のタック性を調整するために適度に冷やしたり加熱したりしても良い。なお、本発明において「仮貼り」とは、配線板14の粘・接着剤層3によって、配線板14を金属筐体7に粘・接着剤層3の硬化状態を問わず、固定することを意味する。
馴染ませ工程(c)では、金属筐体7に仮貼りされた配線板14を金属筐体7に馴染ませる。本発明において「馴染ませる」とは、適度に加圧しながら粘・接着剤層3による配線板14と金属筐体7との密着性を上げることを意味する。即ち前述の仮貼り工程(b)と一括の作業であってもよく、ゴムなどの柔軟なロールや、ラミネータ、プレス等で空気が入らないように圧力をかけて馴染ませる工程であり、粘・接着剤層3を軟らかくするために必要に応じて加熱しても良い。
In the temporary attachment step (b), the wiring board 14 is temporarily attached to the metal housing 7.
Temporary sticking is a process in which a flexible roll such as a fingertip or rubber, a laminator, a press or the like is used so that air does not enter so that the wiring board 14 is in close contact with the metal housing 7, and the adhesive / adhesive layer 3 In order to adjust the tackiness, it may be appropriately cooled or heated. In the present invention, “temporary bonding” means that the wiring board 14 is fixed to the metal housing 7 by the adhesive / adhesive layer 3 of the wiring board 14 regardless of the cured state of the adhesive / adhesive layer 3. means.
In the conforming step (c), the wiring board 14 temporarily attached to the metal casing 7 is adapted to the metal casing 7. In the present invention, “accommodate” means that the adhesiveness between the wiring board 14 and the metal casing 7 by the adhesive / adhesive layer 3 is increased while applying moderate pressure. In other words, it may be a batch operation with the above-described temporary sticking step (b), and is a step in which a soft roll such as rubber, a laminator, a press or the like is used to apply pressure so that air does not enter. You may heat as needed in order to make the adhesive bond layer 3 soft.

本発明においては、仮貼り工程(b)及び馴染ませ工程(c)によって、配線板14が金属筐体7に貼付されれば、それ以外の貼付方法は特に制限されない。例えば、プレス積層法、熱ロールによる連続積層法、しならせて貼り付ける方法などが、貼付方法として挙げられる。前記貼付方法のうち、配線板14をしならせて貼り付ける方法は、配線板14と金属筐体7の間に気泡が入り込むのを抑制しつつ、貼り付けることが可能となるため好ましい。   In this invention, if the wiring board 14 is affixed on the metal housing | casing 7 by the temporary sticking process (b) and the acclimatization process (c), the other sticking method will not be restrict | limited in particular. For example, a press laminating method, a continuous laminating method using a hot roll, a method of laminating and pasting, etc. may be mentioned as the pasting method. Of the pasting methods, the method of pasting and attaching the wiring board 14 is preferable because it is possible to attach the wiring board 14 while suppressing air bubbles from entering between the wiring board 14 and the metal casing 7.

本発明において、貼付方法が特に制限されないのは、配線板14を金属筐体7に貼り付ける際に半導体パッケージ8が実装されておらず、配線板14を十分に金属筐体7に押し付けることが可能だからである。
また、この際に気泡などが含まれないように貼り付けることで密着性を向上させることができ、放熱性の低下を防ぐことが可能となる。
In the present invention, the attaching method is not particularly limited because the semiconductor package 8 is not mounted when the wiring board 14 is attached to the metal casing 7, and the wiring board 14 can be sufficiently pressed against the metal casing 7. Because it is possible.
Moreover, adhesion can be improved by sticking so that bubbles and the like are not included at this time, and it becomes possible to prevent a decrease in heat dissipation.

また、粘・接着剤層3によって配線板14を金属筐体7に、効率よく、特性のばらつきを抑えつつ均一に貼り付けるためには、減圧下において、熱プレスや熱ラミネータを用いて、貼り付けることが好ましい。   Further, in order to attach the wiring board 14 to the metal casing 7 efficiently and uniformly while suppressing variation in characteristics by the adhesive / adhesive layer 3, it is applied using a hot press or a thermal laminator under reduced pressure. It is preferable to attach.

<搭載工程>
搭載工程(d)では、前記貼付工程の後に、配線板14の金属ペースト層6に半導体パッケージ8を搭載する。
半導体パッケージ8は、半導体と、半導体及び外部を電気的に接続する端子と、半導体を密封し保持する封止材とから構成される。前記端子としては、特に制限されず、例えば、銅などの導体や、はんだ等が用いられる。前記封止材としては、特に制限されず、エポキシ樹脂等が用いられる。なお、半導体パッケージ8は、特開2007−110113号公報等に記載の方法等に準じて得ることができる。
金属ペースト層6に半導体パッケージ8を搭載する方法としては、特に制限はなく、公知の方法に従うことができる。例えば、フリップチップ接続して搭載する方法等が挙げられ、具体的には、特開2004−039736号公報に記載の方法等に準じることができる。
なお、搭載工程の条件については、特に限定されず、搭載しようとする半導体パッケージ8の種類により異なり、公知の方法に準じることができる。
<Mounting process>
In the mounting step (d), the semiconductor package 8 is mounted on the metal paste layer 6 of the wiring board 14 after the pasting step.
The semiconductor package 8 includes a semiconductor, terminals that electrically connect the semiconductor and the outside, and a sealing material that seals and holds the semiconductor. The terminal is not particularly limited, and for example, a conductor such as copper, solder, or the like is used. The sealing material is not particularly limited, and an epoxy resin or the like is used. The semiconductor package 8 can be obtained according to the method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-110113.
There is no restriction | limiting in particular as a method of mounting the semiconductor package 8 in the metal paste layer 6, A well-known method can be followed. For example, a method of mounting by flip-chip connection and the like can be mentioned, and specifically, the method described in JP-A-2004-039736 can be applied.
Note that the conditions of the mounting process are not particularly limited, and vary depending on the type of the semiconductor package 8 to be mounted, and can conform to a known method.

<リフロー工程>
リフロー工程(e)では、前記搭載工程の後に、配線板14、金属筐体7、半導体パッケージ8を一体としてリフローする。
前記リフローにより、回路配線15上に金属ペースト層6を介して半導体パッケージ8が固定され、金属筐体一体型の回路基板16が得られる。
<Reflow process>
In the reflow step (e), after the mounting step, the wiring board 14, the metal casing 7, and the semiconductor package 8 are reflowed as a unit.
By the reflow, the semiconductor package 8 is fixed on the circuit wiring 15 via the metal paste layer 6, and the metal substrate integrated circuit board 16 is obtained.

前記リフロー工程は、公知の方法に従うことができる。また、リフローを行う際の温度等の条件については、特に限定されず、用いる機器や金属ペースト等の種類により異なり、公知の方法に準じることができる。
前記リフロー方法として、特に好ましいのは、仮貼りした配線板14をリフローの熱を利用して粘・接着剤層3の硬化又は溶融により本固定する方法であり、工数が少ないため好ましい。
The reflow process can follow a known method. In addition, the conditions such as the temperature at the time of reflow are not particularly limited, and may vary according to the type of equipment used, the metal paste, and the like, and may conform to a known method.
Particularly preferred as the reflow method is a method of fixing the temporarily bonded wiring board 14 by curing or melting the adhesive / adhesive layer 3 using heat of reflow, which is preferable because the number of man-hours is small.

本方法によれば、半導体パッケージ8を金属ペースト層6上に搭載する前に配線板14を金属筐体7に貼付するので、配線板14と金属筐体7とを容易に密着させることができ、また、配線板14、金属筐体7及び半導体パッケージ8を一体としてリフローするので、全体の工数が少なくすることができ、製造効率を向上させることができる。さらに、配線板14を金属筐体7に密着させるため、半導体パッケージ8からの熱を効率よく金属筐体7へ放熱することができる。   According to this method, since the wiring board 14 is affixed to the metal casing 7 before the semiconductor package 8 is mounted on the metal paste layer 6, the wiring board 14 and the metal casing 7 can be easily adhered to each other. In addition, since the wiring board 14, the metal casing 7, and the semiconductor package 8 are reflowed as a unit, the overall man-hour can be reduced and the manufacturing efficiency can be improved. Furthermore, since the wiring board 14 is brought into close contact with the metal housing 7, heat from the semiconductor package 8 can be efficiently radiated to the metal housing 7.

なお、本実施形態における配線板14の層構成としては、前述した層構成に限定されず、支持体用の金属箔を含んでいてもよい。また、配線板14の層構成に従って、必要に応じて、プロセスフローに任意の工程を付加してもよい。   In addition, as a layer structure of the wiring board 14 in this embodiment, it is not limited to the layer structure mentioned above, The metal foil for support bodies may be included. Moreover, according to the layer structure of the wiring board 14, you may add an arbitrary process to a process flow as needed.

図2には、本発明の他の実施形態として、支持体用金属箔10を有する配線板22を用いて、金属筐体一体型の回路基板24を作製するプロセスフローが示されている。なお、図2では、図1で示したプロセスフローにおける作用と同様の作用を行う部材及び工程には同一の符合を付して説明を省略する。   FIG. 2 shows a process flow for producing a metal housing integrated circuit board 24 using a wiring board 22 having a support metal foil 10 as another embodiment of the present invention. In FIG. 2, members and processes that perform the same operations as those in the process flow shown in FIG.

図2に示される配線板22を用いる場合には、準備工程において、支持体用金属箔10を有する配線板材料18を準備する。
本実施形態の準備工程は、支持体用金属箔10を有する配線板材料18に回路配線15を形成し(回路形成工程(f))、配線板材料18の支持体用金属箔10上に粘・接着剤層3及びキャリアフィルム4をこの順に積層し(積層工程(i))、金属ペーストを付与し(金属ペースト付与工程(g))、キャリアフィルム付き配線板20に個片化をすること(個片化工程(h))を含む。これにより、準備工程で得られたキャリアフィルム付き配線板20は、貼付工程に供することが可能となる。なお、本実施形態では、貼付工程以降は、前述した図1に示す回路基板16を作製するプロセスフローと共通するため、説明を省略する。
When using the wiring board 22 shown in FIG. 2, the wiring board material 18 which has the metal foil 10 for support bodies is prepared in a preparatory process.
In the preparation process of the present embodiment, the circuit wiring 15 is formed on the wiring board material 18 having the support metal foil 10 (circuit formation process (f)), and the wiring board material 18 is adhered to the support metal foil 10. -Laminate the adhesive layer 3 and the carrier film 4 in this order (lamination step (i)), apply a metal paste (metal paste application step (g)), and separate the wiring board 20 with the carrier film. (Individualization step (h)). Thereby, it becomes possible to use the wiring board 20 with a carrier film obtained at the preparation process for a sticking process. In this embodiment, the steps after the pasting step are the same as the process flow for manufacturing the circuit board 16 shown in FIG.

準備工程に用いられる配線板材料18は、回路形成用金属箔1と、絶縁層2と、接着剤層9と、支持体用金属箔10とが、この順に積層された硬化物として構成されている。   The wiring board material 18 used in the preparation process is configured as a cured product in which the circuit forming metal foil 1, the insulating layer 2, the adhesive layer 9, and the support metal foil 10 are laminated in this order. Yes.

支持体用金属箔10の種類としては、例えば、銅、アルミ、錫などが挙げられる。中でも、回路加工性・熱伝導性・電気伝導性の観点から、銅箔であることが好ましく、さらに絶縁耐圧、絶縁信頼性の観点から無粗化銅箔であることがより好ましい。
支持体用金属箔10の厚みとしては、18μm〜500μmであることが好ましく、35μm〜210μmであることがより好ましい。金属箔の厚みが18μm以上である場合には、面内強度が増すために好ましく、500μm以下であると貼付時の追従性が増し、210μm以下である場合にはフレキシビリティが維持されるためにさらに好ましい。
Examples of the support metal foil 10 include copper, aluminum, and tin. Among these, a copper foil is preferable from the viewpoint of circuit processability, thermal conductivity, and electrical conductivity, and a non-roughened copper foil is more preferable from the viewpoints of withstand voltage and insulation reliability.
As thickness of the metal foil 10 for support bodies, it is preferable that it is 18 micrometers-500 micrometers, and it is more preferable that it is 35 micrometers-210 micrometers. When the thickness of the metal foil is 18 μm or more, it is preferable for increasing the in-plane strength. When the thickness is 500 μm or less, the followability at the time of application is increased. When the thickness is 210 μm or less, the flexibility is maintained. Further preferred.

接着剤層9の種類としては、特に制限されないが、接着性の観点から、エポキシ樹脂またはアクリル樹脂が好ましく、耐熱性の観点から、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂及びポリウレタン樹脂が好ましく、中でもポリアミドイミド樹脂がより好ましく、応力緩和性の観点からシリコーン変性ポリアミドイミド樹脂であることが特に好ましい。これらはポリマーアロイなどの混合物であってもよく、単体で用いても良い。また、応力緩和性の観点から、低架橋密度のアクリル樹脂などを含むことが好ましい。また、絶縁層2が絶縁性の熱硬化性接着層である場合は、絶縁層2は接着剤層9を兼ねてもよく、単一層であってもよい。   Although it does not restrict | limit especially as a kind of adhesive bond layer 9, From an adhesive viewpoint, an epoxy resin or an acrylic resin is preferable, and a polyamide resin, a polyimide resin, a polyamideimide resin, and a polyurethane resin are preferable from a heat resistant viewpoint, Among these, A polyamide-imide resin is more preferable, and a silicone-modified polyamide-imide resin is particularly preferable from the viewpoint of stress relaxation. These may be a mixture of a polymer alloy or the like, or may be used alone. Further, from the viewpoint of stress relaxation, it is preferable to include an acrylic resin having a low crosslinking density. Moreover, when the insulating layer 2 is an insulating thermosetting adhesive layer, the insulating layer 2 may serve as the adhesive layer 9 or may be a single layer.

接着剤層9の厚みとしては、特に制限はされないが、3μm〜25μmであることが好ましく、接着強度と熱抵抗の観点から3μm〜10μmであることが好ましく、熱抵抗の観点から3μm〜5μmであることがより好ましい。接着剤層9の厚みが3μm以上である場合には、接着強度が確保でき好ましく、25μm以下である場合には熱抵抗が小さくなり好ましい。また、絶縁層2が接着剤層9を兼ねる場合は前述の絶縁層2の厚みの範囲に準ずる。   The thickness of the adhesive layer 9 is not particularly limited, but is preferably 3 μm to 25 μm, preferably 3 μm to 10 μm from the viewpoint of adhesive strength and thermal resistance, and 3 μm to 5 μm from the viewpoint of thermal resistance. More preferably. When the thickness of the adhesive layer 9 is 3 μm or more, the adhesive strength can be secured, and when the thickness is 25 μm or less, the thermal resistance is preferably reduced. Further, when the insulating layer 2 also serves as the adhesive layer 9, it conforms to the above-described thickness range of the insulating layer 2.

−回路形成工程−
回路形成工程(f)では、配線板材料18の回路形成用金属箔1に、回路配線15を形成する。回路配線15の形成については、支持体用金属箔10がパターン形成・エッチングの工程で薬液に侵されるのを防ぐための保護フィルムを貼り付けてから作業し、保護膜を形成する前に除去する以外は前述した事項と同様である。
-Circuit formation process-
In the circuit forming step (f), circuit wiring 15 is formed on the circuit forming metal foil 1 of the wiring board material 18. The circuit wiring 15 is formed by applying a protective film to prevent the support metal foil 10 from being attacked by the chemical solution in the pattern forming / etching process, and removing the protective film before forming the protective film. Other than the above, the same as described above.

上記保護フィルムとは、薬液により支持体用金属箔が侵されなければ特に制限はないが、例えば、粘着材付のポリエチレンテレフタレートフィルムや、粘着材付のポリイミドフィルム、回路パターン形成に用いられる感光性フィルムなどが挙げられるが、中でも、耐薬品性やプロセスの簡便性の観点から、粘着材付のポリエチレンテレフタレートフィルムや、粘着材付のポリイミドフィルムであることが好ましい。   The protective film is not particularly limited as long as the metal foil for the support is not attacked by the chemical solution, but, for example, a polyethylene terephthalate film with an adhesive material, a polyimide film with an adhesive material, or a photosensitivity used for circuit pattern formation. A film etc. are mentioned, but among these, from the viewpoint of chemical resistance and process simplicity, a polyethylene terephthalate film with an adhesive material or a polyimide film with an adhesive material is preferable.

−積層工程−
積層工程(i)では、支持体用金属箔10の表面に、粘・接着剤層3及びキャリアフィルム4をこの順に積層する。積層方法については、粘・接着剤層3、キャリアフィルム4及び支持体用金属箔10の種類等に応じて、適宜選択される。
本プロセスフローでは、回路形成工程後に粘・接着剤層3を積層しているが、粘・接着剤層3を積層する順序は、回路形成の前後のいずれでも問題はない。粘・接着剤層3の種類、例えば、耐薬品性が低い、又は、ソルダーレジスト5を硬化させる際の熱で粘・接着剤層3が硬化してしまう等の問題を回避する観点から、回路形成工程後、個片化工程の前に、前記粘・接着剤層3を積層することが好ましい。
-Lamination process-
In the lamination step (i), the adhesive / adhesive layer 3 and the carrier film 4 are laminated in this order on the surface of the support metal foil 10. About a lamination | stacking method, it selects suitably according to the kind etc. of the adhesive / adhesive layer 3, the carrier film 4, and the metal foil 10 for support bodies.
In this process flow, the adhesive / adhesive layer 3 is laminated after the circuit formation step, but there is no problem in the order of laminating the adhesive / adhesive layer 3 before and after the circuit formation. From the viewpoint of avoiding problems such as the type of the adhesive / adhesive layer 3, for example, the chemical resistance is low, or the adhesive / adhesive layer 3 is cured by heat when the solder resist 5 is cured. It is preferable to laminate the adhesive / adhesive layer 3 after the formation step and before the individualization step.

粘・接着剤層3としては、熱硬化性を有している粘・接着剤層や、ホットメルト型の粘・接着剤層等が好ましい。熱硬化性を有している粘・接着剤層としては、アクリル/エポキシのポリマーアロイや、ポリアミドイミド樹脂、シリコーン変性ポリアミド樹脂等が挙げられる。また、ホットメルト型の粘・接着剤層としては、信越化学工業(株)製PCS−LTや、住友スリーエム(株) 製Scotch-Weldホットメルト接着剤 3748V0などが挙げられる。但し、ホットメルト型の接着剤層を使用する場合には、上記熱硬化型の粘・接着剤層に比べて耐熱温度が低く、金属ペーストの融点によってはリフロー工程に耐えられないことがあるが、使用する接着剤の耐熱温度よりも融点が低い金属ペーストを選択することで、耐熱性があまり高くない粘・接着剤層でも使用することが出来る。また、支持体用金属箔10と金属筐体が共に銅である等、互いにはんだなどとの濡れ性が良好である場合は、はんだペースト等の導電性ペーストを裏面に塗布したものでも良い。この場合も、搭載工程(d)の後のリフロー工程(e)によりホットメルトと同様に密着させることが出来る。   The adhesive / adhesive layer 3 is preferably a thermosetting adhesive / adhesive layer or a hot-melt adhesive / adhesive layer. Examples of the thermosetting adhesive / adhesive layer include acrylic / epoxy polymer alloys, polyamideimide resins, and silicone-modified polyamide resins. Examples of the hot-melt adhesive / adhesive layer include PCS-LT manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., and Scotch-Weld hot melt adhesive 3748V0 manufactured by Sumitomo 3M Limited. However, when using a hot-melt adhesive layer, the heat-resistant temperature is lower than that of the thermosetting adhesive / adhesive layer, and depending on the melting point of the metal paste, it may not be able to withstand the reflow process. By selecting a metal paste having a melting point lower than the heat resistance temperature of the adhesive to be used, it is possible to use even a sticky / adhesive layer having a low heat resistance. Moreover, when the wettability with a solder etc. is favorable mutually, such as the metal foil 10 for support bodies, and a metal housing | casing, what applied the conductive paste, such as a solder paste, to the back surface may be sufficient. Also in this case, it can be made to adhere like the hot melt by the reflow process (e) after the mounting process (d).

粘・接着剤層3の厚みとしては、特に制限はされないが、例えば、3μm〜250μmであることが好ましく、5μm〜100μmであることが好ましく、10μm〜50μmであることがより好ましい。接着剤層9の厚みが厚いほど金属筐体の表面凹凸や歪みを吸収でき、密着性を保持できるため好ましく、厚みが薄いほど熱抵抗が小さくなり好ましい。粘・接着剤層3の厚みは金属筐体の加工精度に合わせて、密着性が確保できる範囲でなるべく薄い最適なものを使用することが出来る。   The thickness of the adhesive / adhesive layer 3 is not particularly limited, but is preferably 3 μm to 250 μm, for example, preferably 5 μm to 100 μm, and more preferably 10 μm to 50 μm. A thicker adhesive layer 9 is preferable because it can absorb surface irregularities and distortions of the metal casing and can maintain adhesion, and a thinner thickness is preferable because thermal resistance is reduced. The optimum thickness of the adhesive / adhesive layer 3 can be selected as thin as possible within the range in which adhesion can be secured in accordance with the processing accuracy of the metal casing.

なお、支持体用金属箔10が厚いほど配線板22は面内強度が増すために筐体形状への追従性が悪くなり、密着性確保のためには粘・接着剤層3の厚層化が必要となる。支持体用金属箔10には、面内強度の確保によるハンドリング性の向上とパッケージから発生した熱を一旦面内拡散させるという2つの機能がある。全体の熱抵抗をなるべく小さくするためには、これら2つの機能が十分となる範囲で支持体用金属箔10としてなるべく薄いものを選択すると好ましい。   In addition, since the in-plane strength of the wiring board 22 increases as the metal foil 10 for the support body increases, the followability to the housing shape deteriorates, and the adhesive / adhesive layer 3 is thickened to ensure adhesion. Is required. The metal foil for support 10 has two functions of improving handling by securing in-plane strength and once diffusing heat generated from the package. In order to reduce the overall thermal resistance as much as possible, it is preferable to select a metal foil 10 as thin as possible as long as these two functions are sufficient.

−金属ペースト付与工程−
金属ペースト付与工程(g)では、配線板材料18上の回路配線15に金属ペーストを付与し、金属ペースト層6を形成する。金属ペーストの付与の方法等については、前述した事項がそのまま適用される。
−個片化工程−
個片化工程では、金属ペースト層6が形成された配線板材料18を個々のキャリアフィルム付き配線板20に個片化する(h)。金属ペーストの付与の方法等については、前述した事項がそのまま適用される。
個片化されたキャリアフィルム付き配線板20は、貼付工程に供されて剥離工程(a)でキャリアフィルム4を剥離された後に、仮貼り工程(b)、馴染ませ工程(c)を経て、搭載工程(d)、リフロー工程(e)に供される。これにより、支持体用金属箔10を有する金属筐体一体型の回路基板24が得られる。
本回路基板24では、支持体用金属箔10を有するので、上述した効果に加えて、取扱い性がより向上する。
-Metal paste application process-
In the metal paste application step (g), a metal paste is applied to the circuit wiring 15 on the wiring board material 18 to form the metal paste layer 6. As for the method of applying the metal paste, the above-mentioned matters are applied as they are.
-Individualization process-
In the separation process, the wiring board material 18 on which the metal paste layer 6 is formed is separated into individual wiring boards 20 with a carrier film (h). As for the method of applying the metal paste, the above-mentioned matters are applied as they are.
The separated wiring board 20 with a carrier film is subjected to a pasting process and after the carrier film 4 is peeled off in the peeling process (a), followed by a temporary sticking process (b) and a conforming process (c), It uses for a mounting process (d) and a reflow process (e). As a result, a metal housing integrated circuit board 24 having the support metal foil 10 is obtained.
In this circuit board 24, since it has the metal foil 10 for a support body, in addition to the effect mentioned above, handleability improves more.

本発明の製造方法に従い製造された金属筐体一体型の回路基板は、特に限定はされないが、LEDバックライトやLED照明などの光源設備にも適用することができる。   The metal housing integrated circuit board manufactured according to the manufacturing method of the present invention is not particularly limited, but can be applied to light source equipment such as an LED backlight and LED lighting.

1 回路形成用金属箔
2 絶縁層
3 粘・接着剤層
4 キャリアフィルム
5 ソルダーレジスト
6 金属ペースト層
7 金属筐体
8 半導体パッケージ
9 接着剤層
10 支持体用金属箔
11 配線板材料
12 キャリアフィルム付き配線板
14 配線板
15 回路配線
16 回路基板
18 配線板材料
20 キャリアフィルム付き配線板
22 配線板
24 回路基板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Metal foil for circuit formation 2 Insulating layer 3 Adhesive layer 4 Carrier film 5 Solder resist 6 Metal paste layer 7 Metal housing 8 Semiconductor package 9 Adhesive layer 10 Metal foil for support body 11 Wiring board material 12 With carrier film Wiring board 14 Wiring board 15 Circuit wiring 16 Circuit board 18 Wiring board material 20 Wiring board with carrier film 22 Wiring board 24 Circuit board

Claims (6)

一方の面に回路が形成され他方の面に粘・接着剤層を有する配線板を、前記粘・接着剤層によって金属筐体に貼付する工程と、
前記貼付工程の後に、前記回路上に半導体パッケージを搭載する搭載工程と、
前記搭載工程の後に、前記配線板、前記金属筐体及び前記半導体パッケージを一体としてリフローするリフロー工程と、
を有する金属筐体一体型の回路基板の製造方法。
A step of attaching a wiring board having a circuit formed on one surface and having an adhesive / adhesive layer on the other surface to the metal casing by the adhesive / adhesive layer;
A mounting step of mounting a semiconductor package on the circuit after the pasting step;
After the mounting step, a reflow step of reflowing the wiring board, the metal casing and the semiconductor package as a unit;
Manufacturing method of circuit board integrated with metal casing having
前記半導体パッケージが、LEDパッケージである請求項1に記載の金属筐体一体型の回路基板の製造方法。   The method for manufacturing a circuit board integrated with a metal housing according to claim 1, wherein the semiconductor package is an LED package. 前記配線板は、5μm〜105μm厚の回路形成用銅箔と、5μm〜25μm厚のポリイミド樹脂を含む絶縁層と、3μm〜25μm厚の粘・接着剤層と、キャリアフィルムとがこの順に積層された配線板材料に、回路を形成して得られるものである請求項1または請求項2に記載の金属筐体一体型の回路基板の製造方法。   In the wiring board, a copper foil for circuit formation having a thickness of 5 μm to 105 μm, an insulating layer containing a polyimide resin having a thickness of 5 μm to 25 μm, an adhesive / adhesive layer having a thickness of 3 μm to 25 μm, and a carrier film are laminated in this order. 3. The method of manufacturing a circuit board integrated with a metal casing according to claim 1, wherein the circuit board is obtained by forming a circuit on the wiring board material. 前記配線板が、5μm〜105μm厚の回路形成用銅箔と、5μm〜25μm厚のポリイミド樹脂が含まれた絶縁層と、3μm〜25μm厚の接着剤層と、18μm〜500μm厚の金属箔と、3μm〜250μm厚の粘・接着剤層と、キャリアフィルムとがこの順に積層された配線板材料に、回路を形成して得られるものである請求項1または請求項2に記載の金属筐体一体型の回路基板の製造方法。   The wiring board includes a copper foil for circuit formation having a thickness of 5 μm to 105 μm, an insulating layer containing a polyimide resin having a thickness of 5 μm to 25 μm, an adhesive layer having a thickness of 3 μm to 25 μm, and a metal foil having a thickness of 18 μm to 500 μm. The metal casing according to claim 1 or 2, which is obtained by forming a circuit on a wiring board material in which a 3 μm to 250 μm thick adhesive / adhesive layer and a carrier film are laminated in this order. A method of manufacturing an integrated circuit board. 前記リフロー工程は、熱硬化性を有する前記粘・接着剤層を硬化させる請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の金属筐体一体型の回路基板の製造方法。   The said reflow process is a manufacturing method of the circuit board of a metal housing | casing integrated type of any one of Claim 1 to 4 which hardens the said adhesive / adhesive layer which has thermosetting property. 前記リフロー工程は、ホットメルト型である前記粘・接着剤層が溶融する請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の金属筐体一体型の回路基板の製造方法。   5. The method of manufacturing a circuit board integrated with a metal housing according to claim 1, wherein the adhesive / resin layer that is a hot-melt type melts in the reflow process.
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