JP2012222186A - 磁性シートの移載システム、キャリア及び磁性シートの移載方法 - Google Patents
磁性シートの移載システム、キャリア及び磁性シートの移載方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012222186A JP2012222186A JP2011087086A JP2011087086A JP2012222186A JP 2012222186 A JP2012222186 A JP 2012222186A JP 2011087086 A JP2011087086 A JP 2011087086A JP 2011087086 A JP2011087086 A JP 2011087086A JP 2012222186 A JP2012222186 A JP 2012222186A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- magnetic sheet
- magnetic
- magnet
- carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 152
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 192
- 239000010408 film Substances 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 229910000938 samarium–cobalt magnet Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 3
- 229910001172 neodymium magnet Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 2
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N Acrylic acid Chemical compound OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- KPLQYGBQNPPQGA-UHFFFAOYSA-N cobalt samarium Chemical compound [Co].[Sm] KPLQYGBQNPPQGA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明の一実施形態に係るキャリア10は、第1の非磁性基板11と、第2の非磁性基板12と、磁石13とを有する。第1の非磁性基板11は、磁性シートMを支持する第1の面11aとこれとは反対側の第2の面11bとを有する。第2の非磁性基板12は、第2の面11bに対向し、磁石13は、第2の非磁性基板12に固定され、第1の面11aに磁場を形成する。第1の非磁性基板12は、第2の非磁性基板12と近接した第1の支持位置と第2の非磁性基板12から離間した第2の支持位置との間を移動可能に構成され、第2の支持位置で第2の非磁性基板12からウェーハカセットへ磁性シートとともに移載される。
【選択図】図5
Description
上記キャリアは、第1の非磁性基板と、第2の非磁性基板と、磁石とを有する。上記第1の非磁性基板は、上記磁性シートを支持することが可能な第1の面と、上記第1の面とは反対側の第2の面とを有する。上記第2の非磁性基板は、上記第2の面に対向する第3の面と、上記第3の面とは反対側の第4の面とを有する。上記磁石は、上記第2の非磁性基板に固定され、上記第1の面に磁場を形成する。
上記移動機構は、上記第1の非磁性基板を支持可能な支持体と、駆動部とを有する。上記駆動部は、上記第1の非磁性基板が上記第2の非磁性基板と近接した第1の支持位置と、上記第1の非磁性基板が上記第2の非磁性基板から離間した第2の支持位置との間で上記支持体を移動させる。
上記第1の非磁性基板は、上記磁性シートを支持することが可能な第1の面と、上記第1の面と反対側の第2の面とを有する。
上記第2の非磁性基板は、上記第2の面に対向する。
上記磁石は、上記第2の非磁性基板に固定され、上記第1の面に磁場を形成する。
上記磁性シートは、上記磁石の磁力で上記第1の非磁性基板の表面で保持される。
上記キャリア上の上記磁性シートは、真空処理室内で真空処理される。
上記第1の非磁性基板は、上記第2の非磁性基板から離間させられる。
上記磁性シートは、上記第1の非磁性基板と上記第2の非磁性基板との間に配置された載台に、上記第1の非磁性層とともに移載される。
上記キャリアは、第1の非磁性基板と、第2の非磁性基板と、磁石とを有する。上記第1の非磁性基板は、上記磁性シートを支持することが可能な第1の面と、上記第1の面とは反対側の第2の面とを有する。上記第2の非磁性基板は、上記第2の面に対向する第3の面と、上記第3の面とは反対側の第4の面とを有する。上記磁石は、上記第2の非磁性基板に固定され、上記第1の面に磁場を形成する。
上記移動機構は、上記第1の非磁性基板を支持可能な支持体と、駆動部とを有する。上記駆動部は、上記第1の非磁性基板が上記第2の非磁性基板と近接した第1の支持位置と、上記第1の非磁性基板が上記第2の非磁性基板から離間した第2の支持位置との間で上記支持体を移動させる。
上記第1の非磁性基板は、上記磁性シートを支持することが可能な第1の面と、上記第1の面と反対側の第2の面とを有する。
上記第2の非磁性基板は、上記第2の面に対向する。
上記磁石は、上記第2の非磁性基板に固定され、上記第1の面に磁場を形成する。
上記磁性シートは、上記磁石の磁力で上記第1の非磁性基板の表面で保持される。
上記キャリア上の上記磁性シートは、真空処理室内で真空処理される。
上記第1の非磁性基板は、上記第2の非磁性基板から離間させられる。
上記磁性シートは、上記第1の非磁性基板と上記第2の非磁性基板との間に配置された載台に、上記第1の非磁性層とともに移載される。
図1は、本実施形態に係る移載システムを備えた真空処理装置1の概略構成図である。本実施形態では、真空処理装置1がマルチチャンバ方式の真空処理装置であるとする。なお、ここでは一般的な基板を真空処理するとして真空処理装置1の構成を説明する。
図2は、本発明の一実施形態に係る磁性シートのキャリア10を示す概略平面図であり、図3は、図2における[A]−[A]方向の概略断面図である。キャリア10は、第1の基板(第1の非磁性基板)11と、第2の基板(第2の非磁性基板)12と、磁石13とを具備する。
図4は、本実施形態に係る移動機構20の構成を示す斜視図である。移動機構20は、支持体としての複数本のリフターピン(軸部材)210と、駆動部22とを有する。
図5は、磁性シートの移載時におけるキャリア10とリフターピン210との態様を示した概略断面図である。(A)は、第1の基板11と第2の基板12とが相互に近接した第1の支持位置での態様を示し、(B)は、第1の基板11と第2の基板12とが相互に離間した第2の支持位置での態様を示す。なお、ハンド211は図示を省略している。
2A,2B・・・ロードロック室
3A,3B・・・処理室
4・・・コア室
6・・・移載室
7・・・ウェーハカセット
M・・・磁性シート
10・・・キャリア
11・・・第1の基板
12・・・第2の基板
13・・・磁石
20・・・移動機構
22・・・駆動部
210・・・リフターピン
211・・・ハンド
Claims (7)
- 磁性シートの移載システムであって、
前記磁性シートを支持することが可能な第1の面と前記第1の面とは反対側の第2の面とを有する第1の非磁性基板と、前記第2の面に対向する第3の面と前記第3の面とは反対側の第4の面とを有する第2の非磁性基板と、前記第2の非磁性基板に固定され前記第1の面に磁場を形成する磁石とを有するキャリアと、
前記第1の非磁性基板を支持可能な支持体と、前記第1の非磁性基板が前記第2の非磁性基板と近接した第1の支持位置と前記第1の非磁性基板が前記第2の非磁性基板から離間した第2の支持位置との間で前記支持体を移動させる駆動部とを有する移動機構と
を具備する磁性シートの移載システム。 - 請求項1に記載の磁性シートの移載システムであって、
前記磁石は、前記第3の面に固定される
磁性シートの移載システム。 - 請求項1に記載の磁性シートの移載システムであって、
前記磁石は、前記第4の面に固定される
磁性シートの移載システム。 - 請求項1から3のいずれかに記載の磁性シートの移載システムであって、
前記第2の非磁性基板は、複数の貫通孔を有し、
前記支持体は、前記複数の貫通孔に対応して配置された複数本の軸部材を有し、
前記駆動部は、前記複数本の軸部材の各々をその軸方向に昇降させる
磁性シートの移載システム。 - 請求項1から4のいずれかに記載の磁性シートの移載システムであって、
前記磁石は、複数の永久磁石片で構成される
磁性シートの移載システム。 - 磁性シートを支持するためのキャリアであって、
前記磁性シートを支持することが可能な第1の面と、前記第1の面とは反対側の第2の面とを有する第1の非磁性基板と、
前記第2の面に対向する第2の非磁性基板と、
前記第2の非磁性基板に固定され、前記第1の面に磁場を形成する磁石と
を具備するキャリア。 - 第1の非磁性基板と、前記第1の非磁性基板に対向する第2の非磁性基板と、前記第2の非磁性基板に固定された磁石とを有するキャリアを用いた磁性シートの移載方法であって、
前記磁石の磁力で前記磁性シートを前記第1の非磁性基板の表面で保持し、
前記キャリア上の前記磁性シートを真空処理室内で真空処理し、
前記第1の非磁性基板を前記第2の非磁性基板から離間させ、
前記第1の非磁性基板と前記第2の非磁性基板との間に配置された載台に、前記磁性シートを前記第1の非磁性基板とともに移載する
磁性シートの移載方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011087086A JP5841739B2 (ja) | 2011-04-11 | 2011-04-11 | 磁性シートの移載システム、キャリア及び磁性シートの移載方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011087086A JP5841739B2 (ja) | 2011-04-11 | 2011-04-11 | 磁性シートの移載システム、キャリア及び磁性シートの移載方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012222186A true JP2012222186A (ja) | 2012-11-12 |
JP5841739B2 JP5841739B2 (ja) | 2016-01-13 |
Family
ID=47273368
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011087086A Active JP5841739B2 (ja) | 2011-04-11 | 2011-04-11 | 磁性シートの移載システム、キャリア及び磁性シートの移載方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5841739B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021014639A1 (ja) * | 2019-07-25 | 2021-01-28 | 株式会社Fuji | 作業機、および部品搬送方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4790258A (en) * | 1987-04-03 | 1988-12-13 | Tegal Corporation | Magnetically coupled wafer lift pins |
JPH09324273A (ja) * | 1996-06-04 | 1997-12-16 | Ulvac Japan Ltd | 薄膜形成装置 |
JP2000306975A (ja) * | 1999-04-23 | 2000-11-02 | Ricoh Co Ltd | フィルム状基板の搬送治具 |
JP2004346398A (ja) * | 2003-05-23 | 2004-12-09 | Sekisui Chem Co Ltd | 磁性材料基板の成膜装置 |
JP2005142471A (ja) * | 2003-11-10 | 2005-06-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 真空処理装置及び真空処理方法、並びに真空処理システム |
-
2011
- 2011-04-11 JP JP2011087086A patent/JP5841739B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4790258A (en) * | 1987-04-03 | 1988-12-13 | Tegal Corporation | Magnetically coupled wafer lift pins |
JPH09324273A (ja) * | 1996-06-04 | 1997-12-16 | Ulvac Japan Ltd | 薄膜形成装置 |
JP2000306975A (ja) * | 1999-04-23 | 2000-11-02 | Ricoh Co Ltd | フィルム状基板の搬送治具 |
JP2004346398A (ja) * | 2003-05-23 | 2004-12-09 | Sekisui Chem Co Ltd | 磁性材料基板の成膜装置 |
JP2005142471A (ja) * | 2003-11-10 | 2005-06-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 真空処理装置及び真空処理方法、並びに真空処理システム |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021014639A1 (ja) * | 2019-07-25 | 2021-01-28 | 株式会社Fuji | 作業機、および部品搬送方法 |
JPWO2021014639A1 (ja) * | 2019-07-25 | 2021-01-28 | ||
CN114208411A (zh) * | 2019-07-25 | 2022-03-18 | 株式会社富士 | 作业机及元件搬运方法 |
JP7271673B2 (ja) | 2019-07-25 | 2023-05-11 | 株式会社Fuji | 作業機、および部品搬送方法 |
CN114208411B (zh) * | 2019-07-25 | 2023-12-05 | 株式会社富士 | 作业机及元件搬运方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5841739B2 (ja) | 2016-01-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI696231B (zh) | 基板的雙面加工系統及方法 | |
JP4375232B2 (ja) | マスク成膜方法 | |
JP5192492B2 (ja) | 真空処理装置、当該真空処理装置を用いた画像表示装置の製造方法及び当該真空処理装置により製造される電子装置 | |
US9463543B2 (en) | Electromagnetic chuck for OLED mask chucking | |
JP6602457B2 (ja) | 減圧システム内でマスクデバイスを取り扱う方法、マスクハンドリング装置、及び減圧システム | |
KR101965370B1 (ko) | 캐리어 또는 기판의 운송을 위한 장치 및 방법 | |
CN107710397B (zh) | 基板保持装置、成膜装置和基板保持方法 | |
JP2008512810A (ja) | 基板プロセスシステム | |
JP2017220561A (ja) | ノズルユニット、およびノズルユニットを備える雰囲気置換装置、ならびに雰囲気置換方法 | |
WO2019101319A1 (en) | Substrate carrier for supporting a substrate, mask chucking apparatus, vacuum processing system, and method of operating a substrate carrier | |
KR20190121751A (ko) | 기판의 진공 프로세싱을 위한 장치, 유기 재료들을 갖는 디바이스들의 제조를 위한 시스템, 및 2개의 압력 구역들을 연결시키는 개구를 밀봉하기 위한 방법 | |
JP5841739B2 (ja) | 磁性シートの移載システム、キャリア及び磁性シートの移載方法 | |
JP4781835B2 (ja) | 成膜装置 | |
KR102069665B1 (ko) | 기판의 진공 프로세싱을 위한 장치, 유기 재료들을 갖는 디바이스들의 제조를 위한 시스템, 및 프로세싱 진공 챔버와 유지보수 진공 챔버를 서로 밀봉하기 위한 방법 | |
JP5399084B2 (ja) | 薄膜形成システムおよび薄膜形成方法 | |
JP7202168B2 (ja) | 成膜装置、有機elパネルの製造システム、及び成膜方法 | |
US11056277B2 (en) | Magnetized substrate carrier apparatus with shadow mask for deposition | |
JP3976546B2 (ja) | 薄膜形成装置 | |
KR20190132096A (ko) | 기판이송장치 | |
JP4889712B2 (ja) | スパッタリング用マルチターゲット装置 | |
JP2004346398A (ja) | 磁性材料基板の成膜装置 | |
TW202018106A (zh) | 從基板、基板載體以及真空處理系統升離安裝在遮罩框架之遮罩之設備,相對於基板來移動安裝在遮罩框架之遮罩之設備,用於顯示器製造之遮罩配置,以及操作具有電永磁鐵組件之系統中之電永磁鐵組件之方法 | |
WO2023160836A1 (en) | Substrate support assembly, substrate processing apparatus method for fixing an edge support frame to a table frame, and method of manufacturing a portion of a display device | |
KR20190116977A (ko) | 디바이스에 캐리어를 클램핑하기 위한 어레인지먼트 | |
JP2010161169A (ja) | 真空処理装置、真空処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140404 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150120 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150319 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151104 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151116 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5841739 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |