JP4889712B2 - スパッタリング用マルチターゲット装置 - Google Patents
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Description
図1〜図4は、本発明の一実施形態によるスパッタリング用マルチターゲット装置の概略を示す図であり、図1には図3に示した真空チャンバ38(以下、図3参照)は示していない。
まず、真空チャンバ38内において、ターゲットテーブル21上に複数のターゲット29を配置し、保持する。この状態で、真空チャンバ38内を所要の真空度に減圧する。
22 スパッタテーブル
23 磁気結合同軸回転導入機
25 アクチュエータ
27 ストッパホルダ
28 ストッパ受け
29 ターゲット
30 ターゲット保持部
31 ストッパ
33 ストッパ駆動機構のバネ
Claims (5)
- 真空チャンバ内で回転可能に支持され、その回転中心から一定の距離の円周上にターゲット(29)を保持するターゲットテーブル(21)と、このターゲットテーブル(21)の上に配置され、そのターゲットテーブル(21)上のターゲット(29)が停止する位置の真上のスパッタ位置に配置されたターゲット(29)を保持するターゲット保持部(30)と、前記ターゲットテーブル(21)のターゲット(29)がターゲット保持部(30)の真下に停止するよう位置決めする位置決め手段とを有し、前記ターゲット保持部(30)の位置に複数のターゲット(9)を順次供給するスパッタリング用マルチターゲット装置において、ターゲット保持部(30)に対して一定の位置関係に固定されたストッパホルダ(27)により、ターゲットテーブル(21)の径方向にスライド自在に保持されたストッパ(31)と、ストッパ(31)をターゲットテーブル(21)の径方向にスライド駆動するストッパ駆動機構と、ターゲット(29)を設けたターゲットテーブル(21)上に固定され、スライドする前記ストッパ(31)を受けるストッパ受け(28)とを有することを特徴とするスパッタリング用マルチターゲット装置。
- ストッパ駆動機構がストッパ(31)をストッパ受け(28)から離す方向に弾力を付勢したバネ(33)と、ストッパ(31)をストッパ受け(28)に向けて押すアクチュエータ(25)とを有することを特徴とする請求項1に記載のスパッタリング用マルチターゲット装置。
- ストッパ受け(28)がストッパ(31)の先端を受ける溝(32)を有することを特徴とする請求項1または2に記載のスパッタリング用マルチターゲット装置。
- ターゲット(29)を配置したターゲットテーブル(21)が間欠回転されることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のスパッタリング用マルチターゲット装置。
- ターゲットテーブル(21)が磁気結合同軸回転導入機(23)により回転されることを特徴とする請求項4に記載のスパッタリング用マルチターゲット装置。
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