JP2012213778A

JP2012213778A - ウエハの接合方法

Info

Publication number: JP2012213778A
Application number: JP2011079081A
Authority: JP
Inventors: Akinori Ito; 明則伊東; Hisanori Saito; 尚紀齋藤; Kotaro Wakabayashi; 小太郎若林; Shingo Ishiuchi; 真吾石内
Original assignee: Kyocera Crystal Device Corp
Current assignee: Kyocera Crystal Device Corp
Priority date: 2011-03-31
Filing date: 2011-03-31
Publication date: 2012-11-08
Anticipated expiration: 2031-03-31
Also published as: JP5847419B2

Abstract

【課題】ウエハの貼り合せずれがなくウエハの間に異物が混入することなく接合することができる生産性が向上されたウエハの接合方法を提供する。
【解決手段】ウエハの主面同士を接合するウエハの接合方法であって、貫通孔が形成されている平板部と平板部の一婦の主面の縁に沿って平板部との接触面がＬ字形状となるように設けられているＬ字壁部とからなる接合用ジグにウエハを搭載するウエハ搭載工程と
、接合用ジグに搭載されているウエハにエキシマ照射ランプから放射された光を照射する照射工程と、貫通孔から吸引してウエハを接合用ジグに保持したまま一方の接合用ジグのＬ字壁部の面と他方の接合用ジグの平板部の側面とが接するように配置する接合用ジグ配置工程と、ウエハの面を接触させウエハを貼り合わせる貼り合わせ工程と、接合用ジグから貼り合わせた前記ウエハを取り外す取り外し工程と、を備えていることを特徴とする。
【選択図】図５

Description

本発明は、主面の大きさが同じウエハの主面を接合するウエハの接合方法に関する。

ウエハの接合方法には、例えば、陽極接合による接合を用いる場合、接着剤による接合を用いる場合、直接接合による接合を用いる場合がある。
特に、直接接合による接合を用いるウエハの接合方法では、陽極接合を用いて接合する場合のようにウエハの間に金属膜を設けることなく接合することができ、接着剤を用いて接合する場合のようにウエハの間に接着剤を設けることなく接合することができるので、光学変換素子の製造方法に多く用いられる。

光学変換素子は、入射された光を変換し出射させる特性を有している。
このような光学変換素子は、例えば、二つのウエハから構成されており、この二つのウエハの主面同士が直接接合により接合されている。

一方のウエハは、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有している右水晶が用いられ、両主面が四角形状となっている。
また、一方のウエハは、主面がＸ軸とＹ軸に平行でかつ厚み方向がＺ軸に平行となっている旋光板となっている。

他方のウエハは、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有している右水晶が用いられ、両主面が四角形状となっている。
また、他方のウエハは、主面の大きさが一方のウエハの主面の大きさと同じとなっている。
また、一方のウエハは、主面がＸ軸とＹ軸に平行でかつ厚み方向がＺ軸に平行となっている旋光板となっている。

このような光学部品素子は、一方のウエハの一方の主面と他方のウエハの一方の主面とが直接接合によって接合され、一方のウエハの他方の主面から光が入射された光を変換し他方のウエハの他方の主面から出射させる特性を有している（例えば、特許文献１参照）。

ウエハを直接接合によって接合する接合方法は、例えば、ウエハ搭載工程、照射工程、ウエハ配置工程、貼り合わせ工程、を備えている。

（ウエハ搭載工程）
ウエハ搭載工程は、スペーサーに接合されるウエハを搭載する工程である。
スペーサー３１０は、例えば、図７（ａ）及び図７（ｂ）に示すように、矩形形状の平板状となっており、一方の主面に第一の凹部空間３１１と第二の凹部空間３１２とが形成されている。
また、スペーサー３１０は、一方の主面を見た場合、第一の凹部空間３１１が矩形形状となっており、第二の凹部空間３１２が第一の凹部空間３１１の開口部の四つの隅部に円形形状となるように形成されている。
第一の凹部空間３１１は、その底面が接合されるウエハの主面と同じ大きさとなっており、第一の凹部空間３１１の開口部から底面までの長さがウエハの一方の主面から他方の主面までの長さより短くなっている。
第二の凹部空間３１２は、ピンセットの先端を挿入することができる大きさとなっており、スペーサー３１０からウエハを取り出す際に用いられる。
ウエハ搭載工程では、接合されるウエハをスペーサー３１０の第一の凹部空間３１２内に収納するようにしてスペーサーに搭載する工程である。

（照射工程）
照射工程は、例えば、図８に示すように、スペーサー３１０に搭載されているウエハＷ３１，Ｗ３２の接合される面にエキシマ照射ランプ１２０から放射された光を照射する工程である。
照射工程では、エキシマ照射ランプ１２０から放射された光が照射されることで、ウエハＷ３１，Ｗ３２の面の酸化膜や吸着物が除去され、照射されたウエハＷ３１，Ｗ３２の面が活性化される。

（ウエハ配置工程）
ウエハ配置工程は、スペーサー３１０から取り出されたウエハＷ３１，Ｗ３２の照射された面同士が対向するように配置される工程である。
ウエハ配置工程では、一方のウエハＷ３１のエキシマ照射ランプ１２０から放射された光が照射された面が他方のウエハＷ３２のエキシマ照射ランプ１２０から放射された光が照射された面と対向するように、他方のウエハＷ３２の側面を挟むようにピンセットによって保持した状態でウエハＷ３１，Ｗ３２が配置される。

（貼り合わせ工程）
貼り合わせ工程は、他方のウエハＷ３２の側面を挟むようにピンセットによって保持した状態でウエハＷ３１，Ｗ３２の照射された面同士が対向するように配置されているウエハＷ３１，Ｗ３２の面を接触させて活性化された面同士を接合する工程である。

従って、ウエハの接合方法は、エキシマ照射ランプ１２０から放射された光をウエハＷ３１，Ｗ３２に照射した後、一方のウエハＷ３１の照射された面と他方のウエハＷ３２のウエハＷ３２の照射された面とが対向するようにピンセットで他方のウエハＷ３２を挟み保持しウエハＷ３１，Ｗ３２を配置させた後接触させて接合している。

特開２００７−１１４５２０号公報

しかしながら、従来のウエハの接合方法は、エキシマ照射ランプから放射された光をウエハに照射した後、一方のウエハの照射された面と他方のウエハの照射された面とが対向するようにピンセットで他方のウエハを挟み保持しウエハを配置させた後接触させて接合しているので、手間と時間を要する上に、接合後に一方のウエハから他方のウエハに向かう向きに一方のウエハの主面を見たとき、一方のウエハの主面の縁部と他方のウエハの主面の縁部とが重なっていないといった貼り合せずれが生じてしまう恐れがある。
従って、従来のウエハの接合方法では、貼り合わせずれが生じた場合、接合をしなおすために貼り合わせずれが生じたウエハを洗浄し、再び、接合しなければならず、手間と時間を要し、生産性が低減する恐れがある。

また、従来のウエハの接合方法は、エキシマ照射ランプから放射された光をウエハの照射し、照射された一方のウエハの面と照射された他方のウエハの面とが対向するようにピンセットで他方のウエハを挟み保持しウエハを配置させた後接触させて接合しているので、ピンセットに付着していた付着物が接合されるウエハの面に付着し接合されるウエハの間に異物として混入する恐れがある。また、接合されるウエハの面の縁部がピンセットによって欠損し、この欠損した部分がウエハの間に異物として混入する恐れがある。
このため、従来のウエハの接合方法によれば、接合されるウエハの間に異物が混入し、接合後の生産性が低減する恐れがある。
接合されている一方のウエハから他方のウエハに向かう向きに光を入射させる場合、従来のウエハの接合方法では、接合されているウエハの間に混入した異物により干渉縞が生じるといった外観不良が発生し生産性が低減する恐れがある。

本発明は、ウエハの貼り合せずれがなくウエハの間に異物が混入することなく接合することができる生産性が向上されたウエハの接合方法を提供することを目的とする。

前記課題を解決するため、両主面が四角形状となっている２枚のウエハの主面同士を接合するウエハの接合方法であって、両主面が四角形状に形成され一方の主面から他方の主面にかけて貫通孔が形成されている平板部と、前記平板部の一方の主面の縁部に沿って設けられ前記平板部に接する面の形状がＬ字形状となっているＬ字壁部と、を備えている接合用ジグに、露出されている前記平板部の一方の主面に前記ウエハの一方の主面を接触させつつ前記Ｌ字壁部の面に前記ウエハの所定の二つの側面を接触させ
前記平板部の所定の他の二つの側面と前記ウエハの所定の他の側面が同一平面上となるように、前記ウエハをそれぞれの前記接合用ジグに搭載するウエハ搭載工程と、前記接合用ジグに搭載されている前記ウエハであって前記平板部に接する面に対向する前記ウエハの面に、エキシマ照射ランプから放射された光を照射する照射工程と、前記ウエハの一方の主面が前記ウエハの前記平板部に接触したままとなるように前記平板部の他方の主面側の前記貫通孔の開口部から吸引して前記ウエハを前記接合用ジグに保持した状態で、一方の前記ウエハが搭載されている
接合用ジグの前記一方のウエハの所定の二つの側面が接しているＬ字壁部の面が他方の前記ウエハが搭載されている前記接合用ジグの前記平板部の所定の二つの側面に接触するように、前記ウエハが搭載されている前記接合用ジグを配置する接合用ジグ配置工程と、配置された接合用ジグに保持されている前記ウエハを接触させ前記ウエハを貼り合わせる貼り合せ工程と、前記接合用ジグから貼り合わせた前記ウエハを取り外す取り外し工程と、を備えていることを特徴とする。

また、前記課題を解決するため、両主面が円形形状となっている２枚のウエハの主面同士を接合するウエハの接合方法であって、両主面が四角形状に形成され一方の主面から他方の主面にかけて貫通孔が形成されている平板部と、前記平板部の一方の主面の所定の二辺の縁部に沿って設けられ前記平板部に接する面の形状がＬ字形状となっているＬ字壁部と、を備えている接合用ジグに、露出されている前記平板部の一方の主面に前記ウエハの一方の主面を接触させつつ前記Ｌ字壁部の面に前記ウエハの側面を２箇所接触させ、
前記Ｌ字壁部から前記平板部に向かう向きに前記平板部の一方の主面を見たときに前記平板部の所定の他の二辺が前記ウエハの縁部の接線となるように、前記ウエハをそれぞれの前記接合用ジグに搭載するウエハ搭載工程と、前記接合用ジグに搭載されている前記ウエハであって前記平板部に接する面に対向する前記ウエハの面に、エキシマ照射ランプから放射された光を照射する照射工程と、前記ウエハの一方の主面が前記ウエハの前記平板部に接触したままとなるように前記平板部の他方の主面側の前記貫通孔の開口部から吸引して前記ウエハを前記接合用ジグに保持した状態で、
一方の前記ウエハが搭載されている接合用ジグの前記一方のウエハの側面が接しているＬ字壁部の面が他方の前記ウエハが搭載されている前記接合用ジグの前記平板部の所定の他の二つの辺を含む側面に接触するように、前記ウエハが搭載されている前記接合用ジグを配置する接合用ジグ配置工程と、配置された接合用ジグに保持されている前記ウエハを接触させ前記ウエハを貼り合わせる貼り合せ工程と、前記接合用ジグから貼り合わせた前記ウエハを取り外す取り外し工程と、を備えていることを特徴とする。

このようなウエハの接合方法によれば、露出されている平板部の一方の主面にウエハの一方の主面を接触させつつＬ字壁部の面にウエハの所定の二つの側面を接触させ平板部の所定の他の二つの側面とウエハの所定の他の側面が同一平面上となるように、主面が四角形状となっているウエハをそれぞれの接合用ジグに搭載し、エキシマ照射ランプから放射された光を照射した後、平板部の他方の主面側の貫通孔の開口部から吸引してウエハを接合用ジグに保持した状態で、一方のウエハが搭載されている接合用ジグの一方のウエハの所定の二つの側面が接している
Ｌ字壁部の面が他方の前記ウエハが搭載されている接合用ジグの前記平板部の所定の二つの側面に接触するように、接合されるウエハを保持したまま接合用ジグを配置しているので、エキシマランプから放射された光が照射されたウエハの面同士を容易に対向させ接触させることができる。
このため、このようなウエハの接合方法によれば、主面が四角形状のウエハを貼り合わせずれがないように容易に接合することができ、接合後の生産性を向上させることができる。

また、このようなウエハの接合方法によれば、接合用ジグにウエハを搭載した状態でウエハにエキシマ照射ランプから放射された光を照射し、貫通孔から吸引しウエハを接合用ジグに保持し接合用ジグを配置し、光が照射されたウエハの面を貼り合せて接合しているので、ウエハの側面をピンセットで挟むことなくウエハを接合することができる。
このため、このようなウエハの接合方法によれば、従来のウエハの接合方法と比較して接合されているウエハの主面の間に異物が混入するのを抑えることができ、接合後の生産性を向上させることができる。
接合されている一方のウエハから他方のウエハに向かう向きに光を入射させる場合、このようなウエハの接合方法によれば、従来のウエハの接合方法と比較して異物の混入を抑えることができるので、従来のウエハの接合方法と比較して異物の混入により干渉縞による外観不良を抑えることができ、従来のウエハの製造方法と比較して生産性を向上させることができる。

また、このようなウエハの接合方法によれば、露出されている平板の一方の主面にウエハの一方の主面を接触させつつＬ字壁部の面にウエハの側面を２箇所接触させ、Ｌ字壁部から平板部に向かう向きに平板部の一方の主面を見たときに平板部の所定の他の二辺がウエハの縁部の接線となるように、ウエハをそれぞれの接合用ジグに搭載し、エキシマ照射ランプから放射された光を照射した後、平板部の他方の主面側の貫通孔の開口部から吸引してウエハを接合用ジグに保持した状態で、
一方のウエハが搭載されている接合用ジグの一方のウエハの側面が接しているＬ字壁部の面が他方のウエハが搭載されている接合用ジグの平板部の所定の他の二つの辺を含む側面に接触するように、接合されるウエハを保持したまま接合用ジグを配置しているので、エキシマ照射ランプから放射された光が照射されたウエハの面同士を容易に対向させ接触させることができる。
このため、このようなウエハの接合方法によれば、主面が円形形状のウエハを貼り合わせずれがないように容易に接合することができ、接合後の生産性を向上させることができる。

（ａ）は、本発明の第一の実施形態に係るウエハの接合方法で用いる接合用ジグの状態の一例を示す斜視図であり、（ｂ）は、本発明の第一の実施形態に係るウエハの接合方法で用いる接合用ジグの状態の一例を示す断面図である。本発明の第一の実施形態に係るウエハの接合方法におけるウエハ搭載工程の状態の一例を示す斜視図である。本発明の第一の実施形態に係るウエハの接合方法における照射工程の状態の一例を示す断面図である。本発明の第一の実施形態に係るウエハの接合方法における接合用ジグ配置工程の状態の一例を示す断面図である。本発明の第一の実施形態に係るウエハの接合方法における貼り合わせ工程の状態の一例を示す断面図である。（ａ）は、本発明の第二の実施形態に係るウエハの接合方法におけるウエハ搭載工程の状態の一例を示す平面図であり、（ｂ）は、本発明の第二の実施形態に係るウエハの接合方法におけるウエハ搭載工程の状態の一例を示す断面図である。（ａ）は、従来のウエハの接合方法で用いるスペーサーの状態の一例を示す斜視図であり、（ｂ）は、従来のウエハの接合方法で用いるスペーサーの状態の一例を示す断面図である。従来のウエハの接合方法における照射工程の状態の一例を示す断面図である。従来のウエハの接合方法におけるウエハ配置工程の状態の一例を示す断面図である。

次に、本発明を実施するための最良の形態について説明する。なお、各図面において各構成要素の状態を分かりやすくするために誇張して図示している。

（第一の実施形態）
本発明の第一の実施形態に係るウエハの接合方法では、両主面が四角形状となっている二つのウエハの主面同士を直接接合により接合している。
また、本発明の第一の実施形態に係る接合方法は、ウエハ搭載工程、照射工程、接合用ジグ配置工程、貼り合わせ工程、取り外し工程、を備えている。

（ウエハ搭載工程）
ウエハ搭載工程は、図２に示すように、両主面が四角形状に形成され一方の主面から他方の主面にかけて貫通孔１１２（図１（ａ）及び図１（ｂ）参照）が形成されている平板部１１１と、前記平板部１１１の一方の主面の縁部に沿って設けられ前記平板部１１１に接する面の形状がＬ字形状となっているＬ字壁部１１３と、を備えている接合用ジグ１１０に、露出されている前記平板部１１１の一方の主面に前記ウエハＷ１の一方の主面を接触させつつ
前記Ｌ字壁部１１２の面に前記ウエハＷ１の所定の二つの側面を接触させ前記平板部１１１の所定の他の二つの側面と前記ウエハＷ１の所定の他の側面が同一平面上となるように、前記ウエハＷ１をそれぞれの前記接合用ジグ１１０に搭載する工程である。

ウエハ搭載工程では、例えば、ウエハＷ１が二つ用いられ、それぞれのウエハＷ１が接合用ジグ１１０に搭載されている。

一方のウエハＷ１１（図３参照）は、例えば、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有している右水晶が用いられ、両主面が四角形状となっている。
また、一方のウエハＷ１１は、例えば、主面がＸ軸とＹ軸に平行でかつ厚み方向がＺ軸に平行となっている旋光板となっている。

他方のウエハＷ１２（図３参照）は、主面の大きさが一方のウエハＷ１の主面の大きさと同じ大きさとなっている。
また、他方のウエハＷ１２は、例えば、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有している左水晶が用いられ、両主面が四角形状となっている。
また、他方のウエハＷ１２は、例えば、主面がＸ軸とＹ軸に平行でかつ厚み方向がＺ軸に平行となっている。

接合用ジグ１１０は、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、平板部１１１とＬ字壁部１１３とから構成されている。

平板部１１１は、図１（ａ）に示すように、両主面が四角形状となっており所定の一つの隅部に切り欠きが形成されている。
また、平板部１１１は、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、一方の主面から他方の主面にかけて貫通孔１１２が形成されている。
また、平板部１１１は、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、一方の主面の縁部にＬ字壁部１１３が設けられている。

Ｌ字壁部１１３は、前述したように、平板部１１１の一方の主面の縁部に沿って設けられている。
また、Ｌ字壁部１１３は、平板部１１１と接する面の形状がＬ字形状となっている。
また、Ｌ字壁部１１３は、平板部１１１に接する面から平板部１１１に接する面に対向する面までの長さが接合される二つのウエハＷ１の厚みの和と比較して長くなっている。

従って、接合用ジグ１１０は、貫通孔１１２が形成されている平板部１１１の一方の主面であって所定の二つの辺の縁部に沿ってＬ字壁部が設けられており、平板部１１１の一方の主面の一部が露出された状態となっている。

ウエハ搭載工程では、ウエハＷ１の一方の主面が接合用ジグ１１０の平板部１１１の露出されている面と接するように配置され、ウエハＷ１の所定の二つの側面がＬ字壁部１１３の面と接するように配置され、ウエハＷ１が接合用ジグ１１０に搭載される。
このとき、ウエハＷ１の所定の他の二つの側面が平板部１１１の一方の主面であって所定の他の二つの辺を含む平板部１１１の側面と同一平面上に位置している。
ここで、所定の他の二つの辺を含む平板部１１１の側面を平板部１１１の所定の二つの側面とする。

（照射工程）
照射工程は、図３に示すように、二つの前記接合用ジグ１１０にそれぞれ搭載されている前記ウエハＷ１１，Ｗ１２であって前記平板部１１０に接する面に対向する前記ウエハＷ１１，Ｗ１２の面に、エキシマ照射ランプ１２０から放射された光を照射する工程である。
照射工程では、エキシマ照射ランプ１２０から照射された光がウエハＷ１１，Ｗ１２に照射されることで、ウエハＷ１１，Ｗ１２の面の酸化膜や吸着物が除去され、ウエハＷ１１，Ｗ１２の面が活性化される。

（接合用ジグ配置工程）
接合用ジグ配置工程は、図４に示すように、前記ウエハＷ１１，Ｗ１２の一方の主面が前記ウエハＷ１１，Ｗ１２の前記平板部１１１ａ，１１１ｂに接触したままとなるように前記平板部１１１ａ，１１１ｂの他方の主面側の前記貫通孔１１２ａ，１１２ｂの開口部から吸引して前記ウエハＷ１１，Ｗ１２を前記接合用ジグ１１０に保持した状態で、一方の前記ウエハＷ１１が搭載されている接合用ジグ１１０の前記一方のウエハＷ１１の所定の二つの側面が接している
Ｌ字壁部１１３ａの面が他方の前記ウエハＷ１２が搭載されている前記接合用ジグ１１０の前記平板部１１１ｂの所定の二つの側面に接触するように、前記ウエハＷ１１，Ｗ１２が搭載されている前記接合用ジグ１１０を配置する工程である。

ここで、一方のウエハＷ１１が搭載されている接合用ジグ１１０を第一のジグ１１０ａとする。
また、他方のウエハＷ１２が搭載されている接合用ジグ１１０を第二のジグ１１０ｂとする。

接合用ジグ配置工程では、第一の接合用ジグ１１０ａに着目すると、前記平板部１１１ａの他方の主面側の貫通孔１１２ａの開口部から、吸引手段（図示せず）によって吸引して一方のウエハＷ１１を第一のジグの平板部１１１ａの一方の主面に保持している。
また、接合用ジグ配置工程では、第二の接合用ジグ１１０ｂに着目すると、前記平板部１１１ｂの他方の主面側の貫通孔１１２ｂの開口部から、吸引手段（図示せず）によって吸引して他方のウエハＷ１２を第一のジグの平板部１１１ｂの一方の主面に保持している。
その後、接合用ジグ配置工程では、それぞれの接合用ジグ１１０ａ，１１０ｂにそれぞれのウエハＷ１１，Ｗ１２を保持した状態で、第一の接合用ジグ１１０ａの一方のウエハＷ１１の所定の二つの側面が接しているＬ字壁部１１３ａの面が第二の接合用ジグ１１０ｂの平板部１１１ｂの所定の二つの側面に接触するように、第一の接合用ジグ１１０ａと第二の接合用ジグ１１０ｂとを配置する。

このとき、一方のウエハＷ１１は、所定の二つの側面が第一のジグ１１０ａのＬ字壁部１１３ａの面、つまりＬ字壁部１１３ａの側面に接しつつ所定の他の二つの側面が第一のジグ１１０ａの平板部１１１ａの所定の二つの側面と同一平面上に位置するように、第一のジグ１１０ａに搭載されている。
また、他方のウエハＷ１２は、所定の二つの側面が第二のジグ１１０ｂのＬ字壁部１１３ｂの側面に接しつつ所定の他の二つの側面が第二のジグ１１０ｂの平板部１１１ｂの所定の二つの側面と同一平面上に位置するように、第二のジグ１１０ｂに搭載されている。
このため、一方のウエハＷ１１の所定の二つの側面が接している第一のジグ１１０ａのＬ字壁部１１３ａの面を第二のジグ１１０ｂの平板部１１１ｂの所定の二つの側面と接するように配置することで、第一のジグ１１０ａに保持されている一方のウエハＷ１１であってエキシマ照射ランプ１２０によって表面が活性化されている主面と第二のジグ１１０ｂに保持されている他方のウエハＷ１２であってエキシマ照射ランプ１２０によって表面が活性化されている主面とを対向するように容易に配置させることができる。

（貼り合わせ工程）
貼り合わせ工程は、配置された接合用ジグ１１０ａ，１１０ｂに保持されている前記ウエハＷ１１，Ｗ１２を接触させ前記ウエハＷ１、Ｗ２を貼り合わせる工程である。
貼り合せ工程では、一方のウエハＷ１１の表面が活性化されている主面と他方のウエハＷ１２の表面が活性化されている主面とが接触されることで、一方のウエハＷ１１と他方のウエハＷ１２とが直接接合により接合される。

（取り外し工程）
取り外し工程は、前記接合用ジグ１１０ａから貼り合わせた前記ウエハＷ１１，Ｗ１２を取り外す工程である。
取り外し工程では、前述したように、第一の接合用ジグ１１０ａの平板部１１１ａの一方の主面の所定の一つの端部にはきり欠き部が形成されているので、第一の接合用ジグ１１０ａから接合されたウエハＷ１１，Ｗ１２を容易に取り外すことができる。

このような本発明の第一の実施形態に係るウエハの接合方法によれば、露出されている平板部１１１の一方の主面にウエハＷの一方の主面を接触させつつＬ字壁部１１３の面にウエハＷの所定の二つの側面を接触させ平板部１１１の所定の他の二つの側面とウエハＷの所定の他の側面が同一平面上となるように、主面が四角形状となっているウエハＷ１，Ｗ２をそれぞれの接合用ジグ１１０ａ，１１０ｂに搭載し、エキシマ照射ランプ１２０から放射された光を照射した後、
平板部１１１ａ，１１１ｂの他方の主面側の貫通孔１１２ａ，１１２ｂの開口部から吸引してウエハＷ１，Ｗ２を接合用ジグ１１０ａ，１１０ｂに保持した状態で、一方のウエハＷ１が搭載されている接合用ジグ１１０ａの一方のウエハＷ１の所定の二つの側面が接しているＬ字壁部１１３ａの面が他方の前記ウエハＷ２が搭載されている接合用ジグ１１０ｂの前記平板部１１１ｂの所定の二つの側面に接触するように、接合されるウエハＷ１，Ｗ２を保持したまま接合用ジグ１１０ａ，１１０ｂを配置しているので、
エキシマ照射ランプ１２０から放射された光が照射されたウエハＷ１，Ｗ２の面同士を容易に対向させ接触させることができる。
このため、このような本発明の第一の実施形態に係るウエハの接合方法によれば、貼り合わせずれがないように容易に接合することができ、接合後の生産性を向上させることができる。

また、このような本発明の第一の実施形態に係るウエハの接合方法によれば、接合用ジグ１１０にウエハＷを搭載した状態でウエハＷにエキシマ照射ランプ１２０から放射された光を照射し、貫通孔１１２から吸引しウエハＷを接合用ジグ１１０に保持し接合用ジグ１１０を配置し、光が照射されたウエハＷの面を貼り合せて接合しているので、ウエハＷの側面をピンセットで挟むことなくウエハＷを接合することができる。
このため、このような本発明の実施形態に係るウエハの接合方法によれば、従来のウエハの接合方法と比較して接合されているウエハＷの主面の間に異物が混入するのを抑えることができ、接合後の生産性を向上させることができる。
接合されている一方のウエハＷ１１から他方のウエハＷ１２に向かう向きに光を入射させる場合、このようなウエハの接合方法によれば、従来のウエハの接合方法と比較して異物の混入を抑えることができるので、従来のウエハの接合方法と比較して異物の混入により干渉縞による外観不良を抑えることができ、従来のウエハの製造方法と比較して生産性を向上させることができる。

（第二の実施形態）
本発明の第二の実施形態に係るウエハの接合方法は、接合されるウエハの主面が円形形状となっている点で第一の実施形態と異なる。

（ウエハ搭載工程）
ウエハ搭載工程では、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、両主面が四角形状に形成され一方の主面から他方の主面にかけて貫通孔２１２が形成されている平板部２１１と、前記平板部２１１の一方の主面の所定の二辺の縁部に沿って設けられ前記平板部２１１に接する面の形状がＬ字形状となっているＬ字壁部２１３と、を備えている接合用ジグ２１０に、露出されている前記平板部２１１の一方の主面に前記ウエハＷ２の一方の主面を接触させつつ
前記Ｌ字壁部２１３の面に前記ウエハＷ２の側面を２箇所接触させ、前記Ｌ字壁部２１３から前記平板部２１１に向かう向きに前記平板部２１１の一方の主面を見たときに前記平板部２１１の所定の他の二辺が前記ウエハＷ２の縁部の接線となるように、前記ウエハＷ２をそれぞれの前記接合用ジグ２１０に搭載する工程である。

ウエハ搭載工程では、例えば、ウエハＷ２が二つ用いられ、それぞれのウエハＷ２が接合用ジグ２１０に搭載されている。

一方のウエハＷ２は、例えば、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有している右水晶が用いられ、両主面が円形形状となっている。
また、一方のウエハＷ１１は、例えば、主面がＸ軸とＹ軸に平行でかつ厚み方向がＺ軸に平行となっている旋光板となっている。

他方のウエハＷ２は、主面の大きさが一方のウエハＷ２の主面の大きさと同じ大きさとなっている。
また、他方のウエハＷ１２は、例えば、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有している左水晶が用いられ、両主面が円形形状となっている。
また、他方のウエハＷ１２は、例えば、主面がＸ軸とＹ軸に平行でかつ厚み方向がＺ軸に平行となっている。

接合用ジグ１１０は、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、平板部２１１とＬ字壁部２１３とから構成されている。

平板部２１１は、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、一方の主面から他方の主面にかけて貫通孔２１２が形成されている。
また、平板部２１１は、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、一方の主面の縁部にＬ字壁部２１３が設けられている。

Ｌ字壁部２１３は、前述したように、平板部２１１の一方の主面の縁部に沿って設けられている。
また、Ｌ字壁部２１３は、平板部２１１と接する面の形状がＬ字形状となっている。
また、Ｌ字壁部２１３は、平板部２１１に接する面から平板部２１１に接する面に対向する面までの長さが接合される二つのウエハＷ２の厚みの和と比較して長くなっている。

従って、接合用ジグ２１０は、貫通孔２１２が形成されている平板部２１１の一方の主面であって所定の二つの辺の縁部に沿ってＬ字壁部が設けられており、平板部２１１の一方の主面の一部が露出された状態となっている。
このとき、Ｌ字壁部２１３から平板部２１１に向かう向きに平板部２１１の一方の主面を見た場合、露出されている平板部２１１の一方の主面が正方形形状となっており、この正方形の一辺がウエハＷ２の直径と同じ長さとなっている。

ウエハ搭載工程では、ウエハＷ２の一方の主面が露出されている平板部２１１の一方の主面に接しつつ、ウエハＷ２の側面がＬ字壁部２１３の側面に２箇所接するように配置され、ウエハＷ２が接合用ジグ２１０に搭載される。
このとき、露出されている平板部２１１の一方の主面の一辺の長さがウエハＷ２の直径と同じ長さとなっているので、前記Ｌ字壁部２１３から前記平板部２１１に向かう向きに前記平板部２１１の一方の主面を見たときに、露出されている平板部２１１の一方の主面のそれぞれの辺がウエハＷ２の縁部の接線となっている。つまり、前記Ｌ字壁部２１３から前記平板部２１１に向かう向きに前記平板部２１１の一方の主面を見たときに、
ウエハＷ２の接しているＬ字壁部２１３の面と平板部２１１の所定の他の二辺がウエハＷ２の縁部の接線となっている。

（接合用ジグ配置工程）
接合用ジグ配置工程は、前記ウエハＷ２の一方の主面が前記ウエハＷ２の前記平板部２１１に接触したままとなるように前記平板部２１１の他方の主面側の前記貫通孔２１２の開口部から吸引して前記ウエハＷ２を前記接合用ジグ２１０に保持した状態で、一方の前記ウエハＷ２が搭載されている接合用ジグ２１０の前記一方のウエハＷ２の側面が接しているＬ字壁部２１３の面が他方の前記ウエハＷ２が搭載されている
前記接合用ジグ２１０の前記平板部２１１の所定の他の二つの辺を含む側面に接触するように、前記ウエハＷ２が搭載されている前記接合用ジグ２１０を配置する工程である。

ここで、一方のウエハＷ２が搭載されている接合用ジグ２１０を第一のジグとする。
また、他方のウエハＷ２が搭載されている接合用ジグ２１０を第二のジグとする。

接合用ジグ配置工程では、第一の接合用ジグに着目すると、前記平板部２１１の他方の主面側の貫通孔２１２の開口部から、吸引手段（図示せず）によって吸引して一方のウエハＷ２を第一のジグの平板部２１１の一方の主面に保持している。
また、接合用ジグ配置工程では、第二の接合用ジグに着目すると、前記平板部２１１の他方の主面側の貫通孔２１２の開口部から、吸引手段（図示せず）によって吸引して他方のウエハＷ２を第一のジグの平板部２１１の一方の主面に保持している。
その後、接合用ジグ配置工程では、それぞれの接合用ジグ２１０にそれぞれのウエハＷ２を保持した状態で、第一の接合用ジグの一方のウエハＷ２の側面が接しているＬ字壁部２１３の面が第二の接合用ジグの平板部２１１の一方の主面の所定の他の二つの辺を含む側面に接触するように、第一の接合用ジグと第二の接合用ジグとを配置する。

このとき、一方のウエハＷ２は、保持された状態でＬ字壁部２１３から平板部２１１に向かう方向で平板部２１１の一方の主面を見たとき、Ｌ字壁部２１３に接している２面と平板部２１１の一方の主面の所定の他の二辺とが一方のウエハＷ２の縁部の接線となるように、第一のジグに搭載されている。
また、他方のウエハＷ２は、保持された状態でＬ字壁部２１３から平板部２１１に向かう方向で平板部２１１の一方の主面を見たとき、Ｌ字壁部２１３に接している２面と平板部２１１の一方の主面の所定の他の二辺とが他方のウエハＷ２の縁部の接線となるように、第二のジグに搭載されている。
このため、それぞれの接合用ジグ２１０にそれぞれのウエハＷ２を保持した状態で、第一の接合用ジグの一方のウエハＷ２の側面が接しているＬ字壁部２１３の面が第二の接合用ジグの平板部２１１の一方の主面の所定の他の二つの辺を含む側面に接触するように、第一の接合用ジグと第二の接合用ジグとを配置することで、第一のジグに保持されている一方のウエハＷ２であってエキシマ照射ランプ１２０によって
表面が活性化されている主面と第二のジグに保持されている他方のウエハＷ２であってエキシマ照射ランプ１２０によって表面が活性化されている主面とを対向するように容易に配置させることができる。

また、このような本発明の第二の実施形態に係るウエハの接合方法によれば、露出されている平板部２１１の一方の主面にウエハＷ２の一方の主面を接触させつつＬ字壁部２１３の面にウエハＷ２の側面を２箇所接触させ、Ｌ字壁部２１３から平板部２１１に向かう向きに平板部２１１の一方の主面を見たときに平板部２１１の所定の他の二辺がウエハＷ２の縁部の接線となるように、ウエハＷ２をそれぞれの接合用ジグ２１０に搭載し、
エキシマ照射ランプ１２０から放射された光を照射した後、平板部２１１の他方の主面側の貫通孔２１２の開口部から吸引してウエハＷ２を接合用ジグ２１０に保持した状態で、一方のウエハＷ２が搭載されている接合用ジグ２１０の一方のウエハＷ２の側面が接しているＬ字壁部２１３の面が他方のウエハＷ２が搭載されている接合用ジグ２１０の平板部２１１の所定の他の二つの辺を含む側面に接触するように、接合されるウエハＷ２を保持したまま接合用ジグ２１０を配置しているので、
エキシマ照射ランプ１２０から放射された光が照射されたウエハＷ２の面同士を容易に対向させ接触させることができる。
このため、このような本発明の実施形態に係るウエハの接合方法によれば、主面が円形形状のウエハＷ２を貼り合わせずれがないように容易に接合することができ、接合後の生産性を向上させることができる。

また、このような本発明の第二の実施形態に係るウエハの接合方法によれば、接合用ジグ２１０にウエハＷ２を搭載した状態でウエハＷ２にエキシマ照射ランプ１２０から放射された光を照射し、貫通孔１１２から吸引しウエハＷ２を接合用ジグ２１０に保持し接合用ジグ２１０を配置し、光が照射されたウエハＷ２の面を貼り合せて接合しているので、ウエハＷ２の側面をピンセットで挟むことなくウエハＷ２を接合することができる。
従って、このような本発明の第二の実施形態に係るウエハの接合方法によれば、ウエハＷ２の側面をピンセットで挟むことなくエキシマ照射ランプから放射されたウエハＷ２の面を接合することができるので、第一の実施形態と同様の効果を奏する。

なお、貫通孔が平板部に一つ設けられている場合について説明しているが、平板部の他方の主面側の貫通孔の開口部から吸引手段を用いて吸引しウエハを平板部の一方の主面に保持することができれば、貫通孔を複数形成してもよい。

右水晶からなる旋光板と左水晶からなる旋光板とを接合する場合について説明しているが、ウエハの主面を直接接合によって接合していれば、例えば、波長板を貼り合わせてもよい。

また、ウエハが水晶からなる場合について説明しているが、ウエハの主面を直接接合によって接合していれば、例えば、ガラスであってもよい。

また、２枚のウエハを接合する場合について説明しているが、例えば、接合されているウエハを一つのウエハとみなして、接合されているウエハ同士をさらに接合してもよい。

１１０，１１０ａ，１１０ｂ，２１０接合用ジグ
１１１，１１１ａ，１１１ｂ，２１１平板部
１１２，１１２ａ，１１２ｂ，２１２貫通孔
１１３，１１３ａ，１１３ｂ，２１３Ｌ字壁部
１２０エキシマ照射ランプ
Ｗ１，Ｗ１１，Ｗ１２，Ｗ２，Ｗ３１，Ｗ３２ウエハ
２１０スペーサー
２１１第一の凹部空間
２１２第二の凹部空間

Claims

両主面が四角形状となっている２枚のウエハの主面同士を接合するウエハの接合方法であって、
両主面が四角形状に形成され一方の主面から他方の主面にかけて貫通孔が形成されている平板部と、前記平板部の一方の主面の縁部に沿って設けられ前記平板部に接する面の形状がＬ字形状となっているＬ字壁部と、を備えている接合用ジグに、
露出されている前記平板部の一方の主面に前記ウエハの一方の主面を接触させつつ前記Ｌ字壁部の面に前記ウエハの所定の二つの側面を接触させ前記平板部の所定の他の二つの側面と前記ウエハの所定の他の側面が同一平面上となるように、
前記ウエハをそれぞれの前記接合用ジグに搭載するウエハ搭載工程と、
前記接合用ジグに搭載されている前記ウエハであって前記平板部に接する面に対向する前記ウエハの面に、エキシマ照射ランプから放射された光を照射する照射工程と、
前記ウエハの一方の主面が前記ウエハの前記平板部に接触したままとなるように前記平板部の他方の主面側の前記貫通孔の開口部から吸引して前記ウエハを前記接合用ジグに保持した状態で、一方の前記ウエハが搭載されている接合用ジグ
の前記一方のウエハの所定の二つの側面が接しているＬ字壁部の面が他方の前記ウエハが搭載されている前記接合用ジグの前記平板部の所定の二つの側面に接触するように、前記ウエハが搭載されている前記接合用ジグを配置する接合用ジグ配置工程と、
配置された接合用ジグに保持されている前記ウエハを接触させ前記ウエハを貼り合わせる貼り合せ工程と、
前記接合用ジグから貼り合わせた前記ウエハを取り外す取り外し工程と、
を備えていることを特徴とするウエハの接合方法。
両主面が円形形状となっている２枚のウエハの主面同士を接合するウエハの接合方法であって、
両主面が四角形状に形成され一方の主面から他方の主面にかけて貫通孔が形成されている平板部と、前記平板部の一方の主面の所定の二辺の縁部に沿って設けられ前記平板部に接する面の形状がＬ字形状となっているＬ字壁部と
、を備えている接合用ジグに、露出されている前記平板部の一方の主面に前記ウエハの一方の主面を接触させつつ前記Ｌ字壁部の面に前記ウエハの側面を２箇所接触させ、前記Ｌ字壁部から前記平板部に向かう向きに前記平板部の一方の主面を見たときに前記平板部の所定の他の二辺が前記ウエハの縁部の接線となるように
、前記ウエハをそれぞれの前記接合用ジグに搭載するウエハ搭載工程と、
前記接合用ジグに搭載されている前記ウエハであって前記平板部に接する面に対向する前記ウエハの面に、エキシマ照射ランプから放射された光を照射する照射工程と、
前記ウエハの一方の主面が前記ウエハの前記平板部に接触したままとなるように前記平板部の他方の主面側の前記貫通孔の開口部から吸引して前記ウエハを前記接合用ジグに保持した状態で、
一方の前記ウエハが搭載されている接合用ジグの前記一方のウエハの側面が接しているＬ字壁部の面が他方の前記ウエハが搭載されている前記接合用ジグの前記平板部の所定の他の二つの辺を含む側面に接触するように、前記ウエハが搭載されている前記接合用ジグを配置する接合用ジグ配置工程と、
配置された接合用ジグに保持されている前記ウエハを接触させ前記ウエハを貼り合わせる貼り合せ工程と、
前記接合用ジグから貼り合わせた前記ウエハを取り外す取り外し工程と、
を備えていることを特徴とするウエハの接合方法。