TWI428196B - And a method of manufacturing a stationary table for a workpiece - Google Patents

Description

被加工物載置固定用台之製造方法

本發明係關於一種雷射加工裝置等中所使用之用以載置固定被加工物之台，尤其關於一種可自正反兩面觀察所固定之被加工物之台。

對於在藍寶石等之基板形成有元件圖案者，藉由照射脈衝雷射而形成用於分割之起點之方法為眾所周知(例如參照專利文獻1)。

又，於欲利用專利文獻1中所揭示之裝置將基板於特定位置分割之情形時等、欲對載置固定於台(亦稱作載物台等)上之被加工物進行加工之情形時，有時對被加工物欲自其背面側(與台接觸之側)進行觀察。可自背面側較佳地觀察吸附固定於載物台上之透明性基板之觀察裝置已為眾所周知(例如參照專利文獻2)。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]國際公開第2006/062017號

[專利文獻2]日本專利特開2009-244549號公報

專利文獻2中所揭示之觀察裝置所包含之載物台係以石英玻璃等透明之構件形成，且於其內部，設置有成為用以抽吸固定被加工物之抽氣通路之抽吸用管。上述載物台係以如下方式製作：藉由機械加工分別對成為其上半部分之透明構件與成為下半部分之透明構件之管形成對象位置進行鑽孔，其後將兩個構件以各自之鑽孔位置一致之方式固定。又，為抑制設置於內部之抽吸用管中之漫反射，亦進行將黑色等低亮度色之塗料塗佈於管部分之處理。假設不進行上述處理時，會觀察到管本身之像，而對被加工物之識別性造成影響，因而不佳。

由於以上述製程加以製作，故而專利文獻2中所揭示之載物台存在需要加工時間且耗費製造成本之問題。

本發明係鑒於上述課題而完成者，其目的在於提供一種容易進行加工且可穩定地保持被加工物之雷射加工裝置用台及其中所使用之玻璃夾具。

為解決上述課題，技術方案1之發明係一種被加工物載置固定用台之製造方法，其特徵在於：其係製造於雷射加工裝置中載置固定被加工物之台者，且包括如下步驟：準備平板狀之玻璃板；於上述玻璃板之一主面之抽吸用槽之形成預定位置，藉由噴砂處理而形成粗糙槽；及蝕刻上述粗糙槽之表面而獲得上述抽吸用槽。

技術方案2之發明係如技術方案1之被加工物載置固定用台之製造方法，其中於上述玻璃板之上述一主面，以包含俯視時呈蜂窩狀配置之區域之方式形成上述抽吸用槽。

技術方案3之發明係如技術方案2之被加工物載置固定用台之製造方法，其中於上述玻璃板之上述一主面之自中央呈十字狀擴展之十字狀區域以外之區域，將上述抽吸用槽形成為上述蜂窩狀。

技術方案4之發明係如技術方案1至3中任一技術方案之被加工物載置固定用台之製造方法，其中上述玻璃板為透明。

技術方案5之發明係如技術方案1至4中任一技術方案之被加工物載置固定用台之製造方法，其特徵在於進而包括如下步驟：藉由上述噴砂處理與上述蝕刻處理，於上述玻璃板之上述被載置面，與上述抽吸用槽同時形成與上述抽吸用槽連通且到達至上述玻璃板之端部之第2抽吸用槽，並且藉由設有抽氣路徑之保持框而保持形成有上述抽吸用槽及上述第2抽吸用槽之上述玻璃板之外周；上述抽氣路徑其一端部與上述第2抽吸用槽連通，且另一端部成為與上述台外之抽吸用管之連接部。

根據技術方案1至技術方案5之發明，可實現台之製造時間之縮短與製造成本之降低。

尤其根據技術方案2之發明，不僅實現台之製造時間之縮短與製造成本之降低，而且於台上載置固定被加工物而進行雷射加工時之加工精度亦得以穩定地確保。

尤其根據技術方案3之發明，不僅實現台之製造時間之縮短與製造成本之降低，而且加工時所進行之對準處理之精度亦得以確保。

尤其根據技術方案4之發明，不僅實現台之製造時間之縮短與製造成本之降低，而且於包含對應之觀察系統之雷射加工裝置中加以使用時，被加工物之正反兩面均可進行觀察。

<雷射加工裝置>

圖1係概略性地表示包含本發明之實施形態之台7之雷射加工裝置50之構成之模式圖。再者，雷射加工裝置50之以下所示之各部分之動作(雷射光之照射、台之移動、照明光之照射、用以決定加工位置之運算處理等)均由未圖示之包含計算機等之特定之控制機構控制。

雷射加工裝置50主要包含正面觀察部50A、背面觀察部50B、及台7，該台7包含例如石英等透明之構件，且於其上載置貼附有被加工物10之保持片材4。再者，之後為易於說明，有時將貼附有被加工物10之保持片材4載置於台7上之內容僅表達為載置被加工物10。

正面觀察部50A為對載置於台7上之被加工物10自照射雷射光之側(將其稱為正面)進行觀察之觀察部，背面觀察部50B為對該被加工物10自載置於台7上之側(將其稱為背面)隔著上述台7而觀察之觀察部。台7可藉由移動機構7m而於正面觀察部50A與背面觀察部50B之間沿水平方向移動。再者，台7主要由玻璃夾具1與保持框2構成(參照圖2)，且可藉由例如抽吸泵等抽吸機構11抽吸固定被加工物10，其詳情於之後敘述。

移動機構7m係於未圖示之驅動機構之作用下使台7於水平面內沿特定之XY兩軸方向移動。藉此，可實現上述正面觀察部50A與背面觀察部50B之間之台7之移動、及於各觀察部內之觀察位置之移動或雷射光照射位置之移動。即，於雷射加工裝置50中，藉由利用移動機構7m使台7移動，而可於利用正面觀察部50A之正面側之觀察、與利用背面觀察部50B之背面側之觀察之間進行切換。藉此，可靈活且迅速地進行與被加工物10之材質或狀態對應之最佳之觀察。再者，關於移動機構7m，就進行對準等之方面而言，更佳為亦可與水平驅動獨立地進行以特定之旋轉軸為中心之於水平面內之旋轉(θ旋轉)動作。

於正面觀察部50A中，自落射照明光源S5發出之落射照明光L5由設置於未圖示之鏡筒內之半鏡面52反射，(於台7位於正面觀察部50A之狀態下)照射至被加工物10。又，正面觀察部50A包含正面觀察機構16，該正面觀察機構16包含設置於半鏡面52之上方(鏡筒之上方)之CCD(Charge Coupled Device，電荷耦合器件)相機16a及與該CCD相機16a連接之監視器16b，於照射落射照明光L5之狀態下可實時地進行被加工物10之明場像之觀察。本實施形態中，上述正面觀察部50A與台7相當於本發明之觀察裝置之主要構成要素。

又，正面觀察部50A構成為亦可對載置於台7上之被加工物10進行雷射光之照射。即，正面觀察部50A亦為雷射加工裝置50中之雷射光之照射部。其例如可藉由將雷射之照射系統與觀察光學系統構成為同軸而實現。更具體而言，正面觀察部50A可藉由具有與專利文獻1中所揭示之雷射加工裝置之基本構成相同之構成而實現。

更詳細而言，於正面觀察部50A中，自雷射光源SL發出雷射光LB，由省略圖示之鏡筒內所包含之半鏡面51反射後，將該雷射光LB於台7位於正面觀察部50A之狀態下以於台7上所載置之被加工物10之被加工部位聚焦之方式藉由聚光透鏡18聚光，並照射至被加工物10，藉此可實現被加工物10之加工，例如成為分割起點之熔融改質區域之形成或燒蝕(ablation)等。

於已根據正面觀察部50A中所獲得之觀察像決定加工位置之情形時，繼而，可根據上述決定內容進行基於雷射光LB之照射之加工。

再者，加工位置之決定較佳為利用藉由未圖示之控制機構而實現之GUI(Graphical User Interface，圖形用戶界面)，由雷射加工裝置50之操作員一邊視覺確認顯示於監視器16b之由CCD相機16a所拍攝之圖像一邊進行決定。即，較佳為由操作員藉由GUI施予用以決定加工位置之特定之指示輸入，控制機構進行基於上述輸入內容之特定之運算處理，藉此決定加工位置。

背面觀察部50B構成為於台7位於背面觀察部50B之狀態下，可一邊對於載置於台7上之被加工物10自台7之上方重疊地進行來自同軸照明光源S1之同軸透射照明光L1之照射、與來自斜光照明光源S2之斜光透射照明光L2之照射，一邊自台7之下方側藉由背面觀察機構6觀察該被加工物10。

又，於背面觀察部50B中，於台7之下方，更佳為包含背面觀察機構6，該背面觀察機構6包含設置於後述之半鏡面9之下方(鏡筒之下方)之CCD相機6a及與該CCD相機6a連接之監視器6b。再者，監視器6b與正面觀察機構16所具備之監視器16b可通用。

較佳為，正面觀察部50A亦可包含斜光照明光源S6，可將斜光照明光L6對台7上之被加工物10照射。於照射斜光照明光L6之情形時，於正面觀察機構16中可獲得觀察對象之暗場像。根據被加工物10之材質或表面狀態而適當切換落射照明光L5與斜光照明光L6，或者同時照射落射照明光L5與斜光照明光L6，藉此不論材質等如何均可獲得較佳之觀察像。

又，亦可於台7之下方，使自同軸照明光源S3發出之同軸照明光L3由設置於未圖示之鏡筒內之半鏡面9反射，並藉由聚光透鏡8聚光後，經由台7照射至被加工物10。更佳為亦可於台7之下方包含斜光照明光源S4，可將斜光照明光L4經由台7對被加工物10照射。例如於被加工物10之正面側由於有不透明之金屬層等，而在利用正面觀察部50A自正面側觀察下自該金屬層產生反射而難以進行之情形時等，而需藉由背面觀察部50B觀察被加工物10之背面側時，可適宜使用該等同軸照明光源S3或斜光照明光源S4。

<台之詳細構造>

其次，對本實施形態中具特徵性之台7之構造進行詳細說明。圖2係表示台7之構成之模式剖面圖。如圖2所示，台7主要包含玻璃夾具1及保持框2。圖3係玻璃夾具1之俯視圖。圖4係玻璃夾具1之局部立體圖。

玻璃夾具1為包含石英玻璃等之具有5 mm~20 mm左右之厚度之構件。如圖3所示，玻璃夾具1於俯視時大致呈圓板狀，於其外周端部設置有凸部1a，藉此，如圖2所示，玻璃夾具1之外周部分具有剖面視時為L字型之形狀。玻璃夾具1之直徑可根據作為加工對象之被加工物10之尺寸而適當決定。例如，若要加工具有4~5英吋左右之直徑之圓板狀之被加工物10，則玻璃夾具1之直徑為180 mm~200 mm左右即可。

於台7中，玻璃夾具1之表面1s為實質上之被加工物10之被載置面。即，表面1s構成台7中之被載置面之大部分。於上述玻璃夾具1之表面1s，如圖3及圖4所示，於除自中央於十字方向延伸之十字狀區域1b以外之四個扇型區域1c、1d、1e、1f內，遍佈被加工物10之於抽吸固定時使用之一定寬度之抽吸用槽3。

再者，於玻璃夾具1中，設置十字狀區域1b係考慮到下述情形而設置：例如於以透明之被加工物10為對象進行對準之情形時、或於被加工物10之背面側進行對準之情形時，作為配置被加工物10之形成有對準標記之部位。於假設對準標記位於抽吸用槽3之正上方之情形時，於進行對準時，因於抽吸用槽3會發生漫反射，故有無法準確地特定對準標記之位置之虞。於本實施形態中，於配置對準標記之可能性較高之上述十字狀區域1b不形成抽吸用槽3，以便可避免此種狀況。惟在本實施形態中，玻璃夾具1具有十字狀區域1b並非必需之態樣。又，即便形成有十字狀區域1b，亦可充分確保台7之吸附固定被加工物10之穩定性。

於四個扇型區域1c、1d、1e、1f內，均設置有以將多個抽吸用槽3形成為蜂窩狀之方式配置之蜂窩狀槽部3a、抽吸用槽3沿著十字狀區域1b而配置成直線狀之直線狀槽部3b、及抽吸用槽3沿著玻璃夾具1之外周配置成弧狀之弧狀槽部3c。其中，構成各個槽部之抽吸用槽3彼此連通。又，僅形成為直線狀槽部3b之抽吸用槽3到達至玻璃夾具1之外周端部。更具體而言，於由相互正交之兩個直線狀槽部3b與一個弧狀槽部3c所包圍之扇形區域1e內，設置有蜂窩狀槽部3a。

抽吸用槽3為深度及於表面1s之寬度為0.5 mm~1 mm左右且表面平坦且透明之槽。抽吸用槽3具有半圓狀、橢圓形狀、矩形狀、三角形狀等剖面形狀。又，蜂窩狀槽部3a中之相互平行之抽吸用槽3之間距(相當於六角形之對邊之距離)為3 mm~10 mm，例如為5 mm。

保持框2為包含例如鋁等金屬之構件，且於俯視時呈圓環狀。保持框2為用以保持玻璃夾具1之外周部分之構件。

保持框2由上部框2a與下部框2b構成。於由上部框2a與下部框2b夾著設置於玻璃夾具1之外周部分之凸部1a之狀態下，利用固定螺釘2c將上部框2a與下部框2b螺合而成為一體，藉此實現保持框2對玻璃夾具1之保持。惟使上部框2a與下部框2b成為一體之態樣並不限於此。更具體而言，玻璃夾具1之凸部1a被夾在由上部框2a與下部框2b形成之凹部2d中。如上所述，利用保持框2保持有玻璃夾具1之台7利用未圖示之設置機構而設置成可藉由移動機構7m移動。

於保持框2之表面2s，對應於設置於玻璃夾具1之表面1s之直線狀槽部3b，而設置有抽吸用槽2e。抽吸用槽2e於利用保持框2保持玻璃夾具1時設置於與形成為直線狀槽部3b之抽吸用槽3連通之位置上。因此，更詳細而言，上述保持框2對玻璃夾具1之保持係於實現上述連通狀態之態樣下進行。

抽吸用槽2e於保持框2之表面2s之中途成為終端，自該終端位置起，連通於抽吸用槽2e之抽吸孔2f設置成朝向保持框2之內部開孔。抽吸孔2f之另一端部成為與自抽吸機構11配設之抽吸用管12之連接部。再者，圖2中，抽吸孔2f到達至下部框2b，但其並非必需之態樣。

於利用雷射加工裝置50進行加工時，於具有此種構成之台7上載置被加工物10。更詳細而言，被加工物10係以被加工物10本身或者貼附有被加工物10之保持片材4覆蓋所有抽吸用槽3、2e之方式載置。若於上述狀態下，使抽吸機構11進行動作，則經由抽吸用管12及抽吸孔2f，對抽吸用槽2e及所有抽吸用槽3賦予負壓。上述負壓作用於所載置之被加工物10或保持片材4，藉此將被加工物10或保持片材4固定於台7上。

如上所述，本實施形態之特徵在於如下方面：用以抽吸固定被加工物10之抽氣路徑之大部分為設置於玻璃夾具1之表面1s之抽吸用槽3及與其連通之保持框2之表面2s之抽吸用槽2e，且僅連通於抽吸用槽2e之保持框2之抽吸孔2f設置於台7之內部。尤其因玻璃夾具1係於一塊玻璃板之表面設置有抽吸用槽3者，故與內部設置有抽氣路徑之先前之玻璃製台相比，製作時間縮短，且製作成本降低。具體之玻璃夾具之製法於後敘述。

又，本實施形態中，將設置於玻璃夾具1之抽吸用槽3之大部分構成蜂窩狀槽部3a之原因在於，確保照射雷射光後之被加工物10之固定之穩定性。圖5係用以說明上述內容之表示本實施形態之玻璃夾具1與雷射加工中之加工預定線P1之關係之圖。圖6係表示為進行對比所示之對於以形成為矩形格子之方式配置抽吸用槽1003之玻璃夾具1001之、抽吸用槽1003與雷射加工之加工預定線P2之關係之圖。又，圖7係模式性地表示沿著圖6所示之加工預定線P2進行加工的情形時、與加工方向垂直之剖面之情況之圖。

雷射加工之加工中，主流為以如加工預定線P1、P2所示之直線狀之加工。如圖6所示，於欲使用以形成為矩形狀之方式設置有抽吸用槽1003之玻璃夾具1001對被加工物10進行直線狀之加工的情形時，根據加工內容與被加工物10之固定態樣之不同，而如圖6所示，可能會發生加工預定線P2之位置與抽吸用槽1003之配置位置於水平面內重疊之情形。上述重疊容易於如下情形時發生：例如以使抽吸用槽1003對準xy兩軸方向之方式配置台7，且沿著x軸方向或y軸方向對被加工物10進行雷射加工之情形。

另一方面，於抽吸固定被加工物10之期間，負壓作用於抽吸用槽1003。因此，於保持片材4中位於抽吸用槽1003上方之部分4a(亦為未與玻璃夾具1001接觸之部分)，如圖7所示之鉛垂向下之抽吸力F1沿著抽吸用槽1003發生作用。結果如圖7所示，上述部分4a容易自被加工物10剝離。於此種狀況下，若沿著如圖6所示之與抽吸用槽1003一致之加工預定線P2進行雷射加工，則因保持片材4受到向下之抽吸力F1，故對於被加工物10，會如圖7所示般於加工槽10a之下方作用拉伸應力F2，而視情況產生如下不良情形：裂縫10b自加工槽10a之下端部擴展，導致被加工物10斷裂。

或者，於如利用雷射加工完全切斷被加工物10之情形時，為不產生加工位置之偏移，必須將切斷後之單片繼續由保持片材4保持於與切斷前相同之位置上，但由於保持片材4受到如圖7所示之抽吸力F1，而引起如下不良情形：該單片產生位置偏移，結果導致加工位置偏移。

又，於如加工間距較抽吸用槽1003之寬度小之情形時，亦會引起於抽吸用槽1003上切出之單片自保持片材4剝離而飛散等不良情形。

即，於使用圖6所示之以形成為矩形格子之方式配置有抽吸用1003之玻璃夾具1001之情形時，根據加工預定線與抽吸用槽之配置關係之不同，有時無法實現穩定之加工。

與此相對，於圖5所示之本實施形態之情形時，構成蜂窩狀槽部3a之抽吸用槽3並非於一方向上連續。藉此，即便其一部分與加工預定線P1重疊，於該加工預定線P1所經過之位置亦必然存在未形成抽吸用槽3之部位。因此，於本實施形態之情形時，保持片材4中受到如圖7所示之抽吸力F1之部分僅分散地存在，從而抽吸用槽3處之保持片材4之剝離不會成為問題。

於本實施形態之情形時，於使用台7時，原本便較圖6所示之情形更難發生加工預定線與抽吸用槽3一致之情形，大多數之加工均於加工預定線不沿著抽吸用槽3之狀態下進行。當然，於此種情形時係於穩定之吸附固定狀態下進行加工。因此，使用本實施形態之台7之雷射加工裝置50之加工精度得以穩定地確保。

<玻璃夾具之製法>

其次，對玻璃夾具1之製法、尤其抽吸用槽3之形成進行說明。圖8係表示玻璃夾具1之製造製程之圖。

首先，作為玻璃夾具1之形成素材，準備包含石英玻璃等之圓板狀之玻璃板(步驟ST1)。如上所述，玻璃夾具1具有5mm~20mm左右之厚度，且只要具有對應於被加工物10之尺寸之直徑即可，因此玻璃板亦只要準備與此對應之尺寸之玻璃板即可。又，預先於玻璃板之外周部分形成凸部1a。

其次，於準備之玻璃板之表面(抽吸用槽3之形成對象 面)形成抗蝕膜(步驟ST2)。抗蝕膜之形成可採用公知之方法。

繼而，對於施有上述抗蝕膜之玻璃板，設置對應於抽吸用槽3之配置圖案之遮罩而進行噴砂處理，於玻璃板表面之抽吸用槽3之形成位置形成深度為0.5mm~1mm左右之槽(步驟ST3)。再者，此時所形成之槽為表面存在凹凸(起伏)且透明性較低之粗糙槽。噴砂處理可採用公知之方法。

於形成上述粗糙槽之後，進行蝕刻處理，使該粗糙槽之表面腐蝕，藉此去除起伏而使其變得平滑(步驟ST4)。藉此，形成表面平坦且透明之(經鏡面精加工之)抽吸用槽3。蝕刻處理可採用公知之方法。若玻璃板包含石英玻璃，則較佳為使用以例如硝酸鈰銨等為主成分之蝕刻溶液，且將處理時間設為1~2小時左右。

最後，藉由去除抗蝕膜(步驟ST5)，而獲得包含抽吸用槽3之玻璃夾具1。藉由將所獲得之玻璃夾具1由預先製作之保持框2以上述方式保持，而完成台7。

如上所述，本實施形態中特徵在於如下方面：於玻璃夾具1形成抽吸用槽3時，併用噴砂處理與蝕刻處理。假設僅利用蝕刻處理形成深度為0.5mm左右之槽時，必需6小時左右之蝕刻時間。而且，由於會產生不僅進行深度方向之蝕刻，而且進行朝向抗蝕膜之下方之水平方向之蝕刻之過度蝕刻等，故而亦存在難以進行槽形狀之控制之問題。因此，欲僅以蝕刻處理形成抽吸用槽3，就形成時間及槽形狀之精度之觀點而言不佳。

與此相對，於本實施形態之情形時，只要以噴砂處理於短時間內形成某種程度之深度之粗糙槽之後，進行短時間之蝕刻處理，便可形成特定形狀之抽吸用槽3。與僅進行蝕刻處理之情形相比，一個玻璃板中之槽之形成時間縮短，且精度亦得以確保。

再者，於噴砂處理之後進行之蝕刻處理雖耗費最初成本，但關於重複處理之成本較低，因此於重複製作玻璃夾具之情形時，有助於製作成本之降低。

又，於專利文獻2中所揭示之構成之載物台之情形時，於製作複數個時，每一個均需要切削之時間，而於本實施形態中進行之噴砂處理可同時對複數個玻璃板進行，因此本實施形態之玻璃夾具之製法於此點上亦可謂之為製造效率提昇者。

以上，如所說明般，根據本實施形態，作為雷射加工裝置中用以載置固定被加工物之台，使用於表面呈蜂窩狀配置有抽吸用槽之台，藉此可穩定地確保雷射加工時之加工精度。又，由於在構成台之玻璃夾具中所設置之抽吸用槽之形成中，併用噴砂處理與蝕刻處理，故而可實現槽之形成時間之縮短與形狀精度之確保。即，可實現製造玻璃夾具及台時之製造時間之縮短與製造成本之降低。

<變形例>

即便於抽吸用槽形成為格子之情形時，亦存在可避免上述不良情形之情況。圖9係例示上述變形例之玻璃夾具101之圖。上述玻璃夾具101具有鋸齒配置有抽吸用槽103之格子之構成。此時，亦與圖5所示之玻璃夾具1同樣地，抽吸用槽103並不於一方向上連續，因此即便其一部分與加工預定線P3重疊，於該加工預定線P3所經過之位置上亦必然存在未形成抽吸用槽103之部位。然而，於如上述實施形態般玻璃夾具1包含蜂窩狀槽部3a之情形時，沿著加工預定線P2而存在之抽吸用槽3與除此以外之部分之比率大致為1:2，與此相對，於如圖9所示之情形時，沿著加工預定線P3而存在之抽吸用槽103與除此以外之部分之比率大致為1:1。因此，由於後者之存在抽吸用槽之比率相對較大，故而就穩定地確保加工精度之方面而言，如上所述般設置蜂窩狀槽部3a更優異。

1、101、1001．．．玻璃夾具

2．．．保持框

2e．．．抽吸用槽

2f．．．抽吸孔

3、103、1003．．．(玻璃夾具之)抽吸用槽

3a．．．蜂窩狀槽部

3b．．．直線狀槽部

3c．．．弧狀槽部

4．．．保持片材

7．．．台

7m．．．移動機構

10．．．被加工物

10a．．．加工槽

10b．．．裂縫

11．．．抽吸機構

12．．．抽吸用管

50．．．雷射加工裝置

50A．．．正面觀察部

50B．．．背面觀察部

圖1係概略性地表示包含本發明之實施形態之台7之雷射加工裝置50之構成之模式圖。

圖2係表示台7之構成之模式剖面圖。

圖3係玻璃夾具1之俯視圖。

圖4係玻璃夾具1之局部立體圖。

圖5係本實施形態之玻璃夾具1與雷射加工中之加工預定線P1之關係之圖。

圖6係關於以形成為矩形格子之方式配置有抽吸用槽1003之玻璃夾具1001之抽吸用槽1003與雷射加工中之加工預定線P2之關係之圖。

圖7係模式性地表示沿著圖6所示之加工預定線P2進行加工時之與加工方向垂直之剖面之情況之圖。

圖8係表示玻璃夾具1之製造製程之圖。

圖9係例示變形例之玻璃夾具101之圖。

ST1~ST5．．．步驟

Claims (6)

1. 一種被加工物載置固定用台之製造方法，其特徵在於：其係製造於雷射加工裝置中載置固定被加工物之台者，且包括如下步驟：準備平板狀之玻璃板；於上述玻璃板之一主面之抽吸用槽之形成預定位置，藉由噴砂處理而形成粗糙槽；及蝕刻上述粗糙槽之表面而獲得上述抽吸用槽；其中於上述玻璃板之上述一主面，以包含俯視時呈蜂窩狀配置之區域之方式形成上述抽吸用槽。
2. 一種被加工物載置固定用台之製造方法，其特徵在於：其係製造於雷射加工裝置中載置固定被加工物之台者，且包括如下步驟：準備平板狀之玻璃板；於上述玻璃板之一主面之抽吸用槽之形成預定位置，藉由噴砂處理而形成粗糙槽；及蝕刻上述粗糙槽之表面而獲得上述抽吸用槽；藉由上述噴砂處理與上述蝕刻處理，於上述玻璃板之上述被載置面，與上述抽吸用槽同時形成與上述抽吸用槽連通且到達至上述玻璃板之端部之第2抽吸用槽，並且藉由設有抽氣路徑之保持框而保持形成有上述抽吸用槽及上述第2抽吸用槽之上述玻璃板之外周；上述抽氣路徑其一端部與上述第2抽吸用槽連通，且另一端部成為與上述台外之抽吸用管之連接部。
3. 如請求項1之被加工物載置固定用台之製造方法，其中於上述玻璃板之上述一主面之自中央呈十字狀擴展之十字狀區域以外之區域，將上述抽吸用槽形成為上述蜂窩狀。
4. 如請求項2之被加工物載置固定用台之製造方法，其中於上述玻璃板之上述一主面之自中央呈十字狀擴展之十字狀區域以外之區域，將上述抽吸用槽形成為上述蜂窩狀。
5. 如請求項1至4中任一項之被加工物載置固定用台之製造方法，其中上述玻璃板為透明。
6. 如請求項1之被加工物載置固定用台之製造方法，其中進而包括如下步驟：藉由上述噴砂處理與上述蝕刻處理，於上述玻璃板之上述被載置面，與上述抽吸用槽同時形成與上述抽吸用槽連通且到達至上述玻璃板之端部之第2抽吸用槽，並且藉由設有抽氣路徑之保持框而保持形成有上述抽吸用槽及上述第2抽吸用槽之上述玻璃板之外周；上述抽氣路徑其一端部與上述第2抽吸用槽連通，且另一端部成為與上述台外之抽吸用管之連接部。