JP2015233051A - ウェーハの分割方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のウェーハの分割方法は、柔軟性がある多孔性フィルム(21)上にウェーハ(W)を重ねた状態で、ウェーハを覆うようにして保持テープ(25)を貼着してウェーハと多孔質フィルムを一体的に保持するステップと、保持テーブル(31)上に多孔質フィルムを介してウェーハを載置し、多孔質フィルムを通じて保持テーブルの吸引力をウェーハに作用させて、ウェーハを保持テーブル上に吸引保持するステップと、ウェーハの分割予定ライン(13)に押圧刃(41)を当接させて、ウェーハを個々のデバイスチップ(C)に分割するステップとを有する構成にした。
【選択図】図5
Description
12 ウェーハの裏面
13 分割予定ライン
16 改質層
21 多孔性フィルム
22 多孔性フィルムの表面
25 保持テープ
31 保持テーブル
33 吸引領域
41 押圧刃
D デバイス
W ウェーハ
W1 ウェーハの外径
W2 吸引領域の外径
W3 多孔性フィルムの外径
Claims (1)
- 表面に分割予定ラインによって区画された複数の領域にデバイスが形成されたウェーハを該分割予定ラインに沿って分割するウェーハの分割方法であって、
ウェーハの外径より大きい外径の薄板形状で且つ柔軟性を有する多孔性フィルムの表面にウェーハ表面側を載置して、ウェーハ裏面とウェーハ外側に延在する該多孔性フィルムの該表面とに保持テープを貼着して、ウェーハと該多孔性フィルムとを一体的に該保持テープで保持するテープ貼着ステップと、
該テープ貼着ステップを実施した後に、ウェーハの外径以上で該多孔性フィルムの外径と同等かそれ以下の外径の吸引領域を有する保持テーブルに、該吸引領域全面を該多孔性フィルムで覆った状態で該多孔性フィルム側を載置して、該保持テーブルに該多孔性フィルムを通してウェーハを吸引保持する保持ステップと、
該保持ステップを実施した後に、該保持テープの露呈するウェーハの裏面側から、押圧刃をウェーハに予め形成された該分割予定ラインに位置付けて押圧して該分割予定ラインに沿って分割する分割ステップと、
を備えるウェーハの分割方法。
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