JP2012211879A - タッチプローブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プローブ本体12と、前記プローブ本体12の先端部に形成された、被測定物と接触する測定子14と、前記プローブ本体12内に形成され、前記プローブ本体12の軸方向に垂直でかつ互いに直交する2方向に変位可能に構成された変位機構と、前記2方向の各変位を検出する前記変位機構に設けられた変位検出部25
a、25bと、を備えたことを特徴とするタッチプローブ1を提供する。
【選択図】図2
Description
Claims (6)
- プローブ本体と、
前記プローブ本体の先端部に形成された、被測定物と接触する測定子と、
前記プローブ本体内に形成され、前記プローブ本体の軸方向に垂直でかつ互いに直交する2方向に変位可能に構成された変位機構と、
前記2方向の各変位を検出する前記変位機構に設けられた変位検出部と、
を備えたことを特徴とするタッチプローブ。 - 前記変位機構は、前記互いに直交する2方向に揺動可能な支点を有する構造を有していることを特徴とする請求項1に記載のタッチプローブ。
- 前記変位検出部は、差動トランス式のトランスデューサによって構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のタッチプローブ。
- 前記プローブ本体は、前記変位機構及び前記測定子を含めて一体形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のタッチプローブ。
- 前記変位検出部の検出範囲を超える変位量を与える衝撃が前記プローブ本体に生じた場合に、該衝撃を吸収するとともに再度プローブ本体を元の位置に復帰させることができる逃げ機構を前記プローブ本体の上部にさらに備えたことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のタッチプローブ。
- 前記逃げ機構は、接点構造を有し、該逃げ機構動作時には、異常として前記変位検出部が変位の読み込みを行わないことを特徴とする請求項5に記載のタッチプローブ。
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