JP2012207975A - テラヘルツ波分光計測装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係るテラヘルツ波分光計測装置では、内部全反射プリズム31は、全反射面31cを含む第1のプリズム部分31fと、テラヘルツ波発生素子32及びテラヘルツ波検出素子33が一体に固定される本体部分31gと、を有し、第1のプリズム部分31fと本体部分31gとの嵌合部分に断熱材31hが介在している。これにより、被測定物34を加熱・冷却する際の温度変化が、第1のプリズム部分31fから本体部分31gに伝わり難くなっている。従って、テラヘルツ波発生素子32及びテラヘルツ波検出素子33に温度変化が過剰に伝わることを防止できる。
【選択図】図2
Description
さらに、上述した比Pと位相差Δとを用いて値qを式(3)のように定める(ステップS05)。
Claims (7)
- レーザ光を出射する光源と、
前記光源から出射されたレーザ光をポンプ光とプローブ光とに分岐する分岐部と、
前記分岐部で分岐した前記ポンプ光の入射によってテラヘルツ波を発生するテラヘルツ波発生素子と、
前記テラヘルツ波の入射面・出射面及び被測定物の配置部を有し、前記入射面から入射した前記テラヘルツ波を内部で伝播させ、前記配置部で反射又は透過させて前記出射面から出射させる内部全反射プリズムと、
前記内部全反射プリズムから出射した前記テラヘルツ波と、前記プローブ光とが入射し、前記テラヘルツ波と前記プローブ光との間の相関を検出するテラヘルツ波検出素子と、を備え、
前記内部全反射プリズムは、
前記配置部を含む第1のプリズム部分と、
前記テラヘルツ波発生素子が一体に固定される前記入射面及び前記テラヘルツ波検出素子が一体に固定される前記出射面と、前記第1のプリズム部分が嵌合する凹部とを含む本体部分と、を有し、
前記第1のプリズム部分と前記本体部分との嵌合部分に断熱材が介在していることを特徴とするテラヘルツ波分光計測装置。 - 前記第1のプリズム部分と前記本体部分との嵌合部分にマッチングオイルが更に介在していることを特徴とする請求項1記載のテラヘルツ波分光計測装置。
- 前記第1のプリズム部分と前記本体部分との嵌合部分において、前記テラヘルツ波が通る光路部分に前記本体部分と略同等の屈折率を有すると共に前記第1のプリズム部分を支持する第2のプリズム部分が介在しており、前記テラヘルツ波が通らない非光路部分に前記断熱材が介在していることを特徴とする請求項1又は2記載のテラヘルツ波分光計測装置。
- 前記断熱材は空気であることを特徴とする請求項3記載のテラヘルツ波分光計測装置。
- 前記非光路部分に前記第1のプリズム部分を支持する第3のプリズム部分が更に介在していることを特徴とする請求項3又は4記載のテラヘルツ波分光計測装置。
- 前記第1のプリズム部分と前記本体部分との嵌合部分において、前記テラヘルツ波が通る光路部分に空気が介在しており、前記テラヘルツ波が通らない非光路部分に断熱性を有すると共に前記第1のプリズム部分を支持する断熱材が介在していることを特徴とする請求項1又は2記載のテラヘルツ波分光計測装置。
- 前記第1のプリズム部分には、温度を調整する温度調整手段が接続されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項記載のテラヘルツ波分光計測装置。
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