JP2012204447A - 静電チャック - Google Patents
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Abstract
【解決手段】板状のシリカガラスに導電性材料からなる電極が埋設され、一主面を吸着面として被吸着物を吸着する静電チャックであって、前記電極と前記吸着面との距離が、前記吸着面の中央部で最大値をとり、前記吸着面の中央部から前記吸着面の外周部にかけて連続して変化し、前記吸着面の外周部で最小値をとる形状であり、さらに、前記吸着面の表面粗さが前記吸着面の中央領域より外周領域のほうが粗いことを特徴とする静電チャック。
【選択図】図1
Description
(実験1)
(実験2)
(実験3)
(実験4)
W 被吸着物
1 基材部
2 電極
3 吸着面
10 測定装置
11 真空容器
12 電源
13 ロードセル
Claims (4)
- 板状のシリカガラスに導電性材料からなる電極が埋設され、一主面を吸着面として被吸着物を吸着する静電チャックであって、前記電極と前記吸着面との距離が、前記吸着面の中央部で最大値をとり、前記吸着面の中央部から前記吸着面の外周部にかけて連続して変化し、前記吸着面の外周部で最小値をとる形状であり、さらに、前記吸着面の表面粗さが前記吸着面の中央領域より外周領域のほうが粗いことを特徴とする静電チャック。
- 吸着面の中央領域は吸着面の全面積に対して吸着面中心を含む30%以上70%以下の範囲であり、吸着面の外周領域は前記吸着面の中央領域以外であることを特徴とする、請求項1に記載の静電チャック。
- 吸着面の中央部と電極との距離が、前記吸着面の外周部と前記電極との距離の1.05倍以上2.0倍以下であることを特徴とする、請求項1または請求項2に記載の静電チャック。
- 被吸着物としてシリコンを吸着するために用いることを特徴とする、請求項1から請求項3のいずれかに記載の静電チャック。
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