JP2017212332A - 電極内蔵型載置台構造 - Google Patents
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Abstract
Description
載置面に基板が載置される載置台と、
前記載置台の前記載置面に設けられ、前記基板を上端で支える複数の突部と、
前記載置台に埋設された電極と、
前記電極と前記載置面との間に配置された絶縁部と、
を備える電極内蔵型載置台の構造であって、
全ての前記突部の上端又は下端の面積の合計を突部面積として、
前記突部面積のうち下方に前記電極が存在する領域の面積である第1面積よりも、該突部面積のうち下方に前記電極が存在しない領域の面積である第2面積の方が大きくなるように前記突部が前記載置面に設けられていることを特徴とする。
載置面に基板が載置される載置台と、
前記載置台の前記載置面に上方に突出して設けられ、前記基板を上端で支える複数の突部と、
前記載置台に埋設された電極と、
前記電極と前記載置面との間に配置された絶縁部と、
を備える電極内蔵型載置台の構造であって、
前記突部は、前記電極の上方に位置する第1突部の上端又は下端の密度が、前記電極が下方に存在していない前記載置面上に位置する第2突部の上端又は下端の密度よりも小さくなるように、配置されていることを特徴とする。
載置面に基板が載置される載置台と、
前記載置台の前記載置面に設けられ溝と、
前記載置台に埋設された電極と、
前記電極と前記載置面との間に配置された絶縁部と、
を備える電極内蔵型載置台構造であって、
前記溝の底面積又は上端開口面積を溝面積として、
前記溝面積のうち下方に前記電極が存在する領域の面積である第3面積よりも、前記溝面積のうち下方に前記電極が存在しない領域の面積である第4面積の方が大きくなるように前記溝が前記載置面に設けられていることを特徴とする。
2 載置台
2a 載置面
3 発熱抵抗体
4 ESC電極(正の電極)
5 ESC電極(負の電極)
6 突部
7 絶縁層(絶縁部)
8 溝
9 孔
W ウエハ(基板)
Claims (8)
- 載置面に基板が載置される載置台と、
前記載置台の前記載置面に設けられ、前記基板を上端で支える複数の突部と、
前記載置台に埋設された電極と、
前記電極と前記載置面との間に配置された絶縁部と、
を備える電極内蔵型載置台の構造であって、
全ての前記突部の上端又は下端の面積の合計を突部面積として、
前記突部面積のうち下方に前記電極が存在する領域の面積である第1面積よりも、該突部面積のうち下方に前記電極が存在しない領域の面積である第2面積の方が大きくなるように前記突部が前記載置面に設けられていることを特徴とする電極内蔵型載置台構造。 - 請求項1記載の電極内蔵型載置台構造であって、
前記第1面積は、前記第2面積の0%〜20%に設定されていることを特徴とする電極内蔵型載置台構造。 - 請求項1記載の電極内蔵型載置台構造であって、
前記突部面積は、全て前記第2面積であることを特徴とする電極内蔵型載置台構造。 - 請求項1から請求項3の何れか1項に記載の電極内蔵型載置台構造であって、
隣接する前記突部の間隔は前記載置台の平坦度に基づいて定められた所定範囲内に設定されていることを特徴とする電極内蔵型載置台構造。 - 載置面に基板が載置される載置台と、
前記載置台の前記載置面に上方に突出して設けられ、前記基板を上端で支える複数の突部と、
前記載置台に埋設された電極と、
前記電極と前記載置面との間に配置された絶縁部と、
を備える電極内蔵型載置台の構造であって、
前記突部は、前記電極の上方に位置する第1突部の上端又は下端の密度が、前記電極が下方に存在していない前記載置面上に位置する第2突部の上端又は下端の密度よりも小さくなるように、配置されていることを特徴とする電極内蔵型載置台構造。 - 請求項5記載の電極内蔵型載置台構造であって、
前記第1突部は、第1の所定の間隔範囲内で分布しており、
前記第2突部は、第2の所定の間隔範囲内で分布していることを特徴とする電極内蔵型載置台構造。 - 載置面に基板が載置される載置台と、
前記載置台の前記載置面に設けられ溝と、
前記載置台に埋設された電極と、
前記電極と前記載置面との間に配置された絶縁部と、
を備える電極内蔵型載置台構造であって、
前記溝の底面積又は上端開口面積を溝面積として、
前記溝面積のうち下方に前記電極が存在する領域の面積である第3面積よりも、前記溝面積のうち下方に前記電極が存在しない領域の面積である第4面積の方が大きくなるように前記溝が前記載置面に設けられていることを特徴とする電極内蔵型載置台構造。 - 請求項7に記載の電極内蔵型載置台構造であって、
前記溝面積は、全て前記第4面積であることを特徴とする電極内蔵型載置台構造。
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