JP2012182214A - 圧電アクチュエータおよび連結型圧電アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】積層方向に沿って直列に連結して用いられる積層型の圧電アクチュエータ100であって、分極された圧電層111と内部電極117とが交互に積層されて形成された活性層110と、活性層110の積層方向両端に設けられ、未分極の圧電層121で形成された保護層120と、を備え、内部電極117のうち、保護層付近の内部電極117bは、中央に孔180を有する。これにより、電圧印加時の変位に対して両端面130が平坦になり、圧電アクチュエータ100を連結して用いる場合、接着により保護層120と活性層110との界面に上乗せして生じる引張応力を緩和できる。
【選択図】図1
Description
図1(a)〜(c)は、それぞれ圧電アクチュエータ100を示す側断面図、平断面図、平断面図である。圧電アクチュエータ100は、積層型の圧電アクチュエータ100であり積層方向に沿って直列に連結して用いられる。直列の連結とは、主に伸縮する方向に連結することをいう。圧電アクチュエータ100が連結されて形成された連結型圧電アクチュエータ200については後述する。
まず、圧電セラミックスのグリーンシートを準備する。そして、AgやAg/Pd等の電極ペーストをスクリーン印刷する。その際に、形状を調整したスクリーンを用いて円形等の孔の形状を避けながら印刷する。そして、得られたシートを設計に応じて積層、圧着し、焼成する。さらに内部電極に接続された外部電極を形成し、分極処理を行うことで圧電アクチュエータ100を得ることができる。
図2(a)、(b)は、それぞれ圧電アクチュエータ100の電圧未印加状態、電圧印加状態を示す側面図である。図2(a)に示すように、圧電アクチュエータ100は、電圧を印加していない状態では、矩形である。圧電アクチュエータ100に電圧を印加すると、圧電アクチュエータ100は伸縮する。図2(b)に示すように、圧電アクチュエータ100が積層方向に伸びるように変位したとき、保護層120付近の内部電極117bに孔118があるため、伸縮方向に垂直な断面の中央の変位が小さくなる。したがって、圧電アクチュエータ100は、幅が小さくなり長さが大きくなって外形が鼓状に変形するが、その端面130は平坦なまま維持される。
図3は、連結型圧電アクチュエータ200を示す側面図である。連結型圧電アクチュエータ200は、積層方向の端面130同士を接着することで、圧電アクチュエータ100を直列に複数連結して形成されている。これにより、連結型圧電アクチュエータ200は、各圧電アクチュエータ100の保護層120と活性層110との界面に生じる引張応力を緩和できる。その結果、不良品率を低減することができる。このような連結型圧電アクチュエータ200は、ポジショナ等に用いられる。
上記のように構成される連結型圧電アクチュエータ200と従来の連結型アクチュエータ600との引張応力について対比説明する。図4(a)、(b)は、それぞれ従来の圧電アクチュエータ500、本発明の圧電アクチュエータ100を示す概略図である。図4(a)に示すように、仮に従来の連結型圧電アクチュエータ600を構成する個々の圧電アクチュエータ500が接着されていないとすれば、大きく鼓状に変形する。したがって、これらを端面で接着し連結した場合には伸縮の変形により大きな引張応力が発生する。
また2つの圧電アクチュエータ100を積層方向に連結して接着した連結型圧電アクチュエータ200についてFEM解析を行った。保護層120付近の3層の内部電極117bに直径3.0mmの円形の孔118を形成し、変位時に保護層120と活性層110の界面における引張応力を算出した。また、従来構造として、同じ寸法で内部電極が円形の孔を有さない2つの圧電アクチュエータ500を積層方向に連結して接着した連結型圧電アクチュエータ600についてもFEM解析を行った。その結果、連結型圧電アクチュエータ200に生じる応力は、従来構造に生じる応力の2/3へ緩和されたのを確認した。圧電アクチュエータの破壊確率低減に効果があるといえる。
110 活性層
111 圧電層
117 内部電極
117a 内部電極
117b 内部電極
118 孔
120 保護層
121 圧電層
130 端面
200 連結型圧電アクチュエータ
210 接着面
Claims (6)
- 積層方向に沿って直列に連結して用いられる積層型の圧電アクチュエータであって、
分極された圧電層と内部電極とが交互に積層されて形成された活性層と、
前記活性層の積層方向両端に設けられ、未分極の圧電層で形成された保護層と、を備え、
前記内部電極のうち、前記保護層付近の内部電極は、中央に孔を有することを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記内部電極の孔は、円形であることを特徴とする請求項1記載の圧電アクチュエータ。
- 前記保護層に最も近い内部電極から、1より大きく全数の1/10より小さい層数目までの内部電極が、中央に孔を有することを特徴とする請求項1または請求項2記載の圧電アクチュエータ。
- 前記内部電極の孔は、前記内部電極の大きさの1/3より大きく、前記内部電極の大きさより小さいことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
- 前記内部電極の孔は、前記保護層に近い内部電極ほど大きいことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
- 前記積層方向の端面同士を接着することで、請求項1から請求項5のいずれかに記載の圧電アクチュエータを直列に複数連結して形成されていることを特徴とする連結型圧電アクチュエータ。
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JPH04159785A (ja) * | 1990-10-23 | 1992-06-02 | Nec Corp | 電歪効果素子 |
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JP2009503828A (ja) * | 2005-07-26 | 2009-01-29 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 移行領域における電極構造が変更されているモノリシック型ピエゾアクチュエータならびに該ピエゾアクチュエータの使用 |
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