JP2012161781A - 超音波薬液反応装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 薬液供給口21,32より薬液60を上下薬液槽20,30に送り、上部薬液槽20の液吸引パイプ23からの流量バランスで、基板出入り口になる上下槽間の空隙部12に薬液60を保持する。薬液60には下部槽30より超音波定在波13が付加され、振動波の最大振幅位置と一致させた空隙レベルに基板50をローラー40で搬送し、キャビテーション効果で基板表裏の薬液反応を促進化させる。液吸引パイプ23の位置を振動波の最小振幅位置と一致させ液面レベルを反射面として機能させる。
【選択図】図1
Description
ここで、Q:液漏れ量(cc)
L:接液部長さ(cm)
B:基板の幅(cm)
t:基板の厚さ(cm)
11 超音波ラインケース
12 上下槽間の隙間部
13 定在波
20 上部薬液槽
21 上部薬液供給ノズル
22 上部薬液供給弁
23 液吸引パイプ
24 液吸引弁
25 上部ノズル空気層
26 上部薬液槽の空気層
30 下部薬液槽
31 下部薬液供給ノズル
32 下部薬液供給弁
35 下部ノズル空気層
40 ローラー
50 基板
60 薬液
100 超音波薬液反応装置
Claims (5)
- 超音波薬液反応のための超音波ラインケースと、薬液を保持する上・下薬液槽と、薬液を供給する上・下薬液供給ノズルと、上・下薬液槽間に基板を搬送する隙間部と、基板を搬送する搬送ローラーと、薬液吸引パイプを設置し、
超音波ラインケースは、搬送ローラー面より下部に設置し、薬液吸引口は搬送ローラー面より上部に設置することを特徴とする超音波薬液反応装置。 - 前記上・下部薬液供給ノズルは、薬液供給弁から液が供給された場合、上部の空気層で自動的に圧力を生じ、基板搬送方向と直角方向の基板幅方向に液が均等に供給されることを特徴とする請求項1に記載の超音波薬液反応装置。
- 前記上部薬液槽は空気層ができる構造とし、上・下薬液供給ノズルからの液供給量と上部液吸引パイプからの吸引流量の調整で、上・下薬液槽間の隙間部では薬液を自動的に保持することを特徴とする請求項1に記載の超音波薬液反応装置。
- 前記搬送ローラー面は、前記超音波ラインケースより超音波波長の1/4に設置することを特徴とする請求項1に記載の超音波薬液反応装置。
- 上記液吸引パイプの設置は、前記超音波ラインケースより超音波波長の1/4の奇数倍の位置とし、薬液面レベルを超音波反射面に利用することを特徴とする請求項1に記載の超音波薬液反応装置。
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JP2011040795A JP2012161781A (ja) | 2011-02-08 | 2011-02-08 | 超音波薬液反応装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105057250A (zh) * | 2015-08-07 | 2015-11-18 | 河海大学常州校区 | 换能器嵌入式强化空化射流清洗装置 |
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-
2011
- 2011-02-08 JP JP2011040795A patent/JP2012161781A/ja active Pending
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