JP2012159404A - 蛍光x線分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の蛍光X線分析装置は、X線源1と、1次X線2が照射された試料Sから発生する2次X線4を検出する検出手段9と、試料を回転させる試料回転手段10とを備え、試料を回転させながら試料から発生する2次X線を検出する蛍光X線分析装置であって、試料と検出手段9との間に配置され、所定の半径の仮想円30内に2次X線を通過させる複数の絞り孔32を有し、仮想円30を通して検出手段9が見込む試料領域から発生する2次X線4を複数の絞り孔32によって通過させるアッテネータ3と、アッテネータ3を移動させるアッテネータ移動手段11とを備え、アッテネータ3の移動距離Xに応じて、2次X線4が検出される試料の測定領域の面積が可変である。
【選択図】図1
Description
2 1次X線
3 アッテネータ
4 2次X線
8 試料台
9 検出手段
10 試料回転手段
11 アッテネータ移動手段
15 試料回転手段の回転軸
30 仮想円
32 絞り孔
S 試料
Claims (3)
- 1次X線を発生するX線源と、
1次X線が照射された試料から発生する2次X線を検出する検出手段と、
試料を所定の回転軸の回りに回転させる試料回転手段と、
を備え、
前記試料回転手段によって試料を回転させながら試料から発生する2次X線を前記検出手段で検出する蛍光X線分析装置であって、
前記2次X線の通路における試料と前記検出手段との間に配置され、所定の半径の仮想円内に前記2次X線を通過させる複数の絞り孔を有し、前記仮想円を通して前記検出手段が見込む試料領域から発生する2次X線を前記複数の絞り孔によって通過させるアッテネータと、
前記アッテネータを前記2次X線の通路の軸方向に垂直な平面上で移動させるアッテネータ移動手段と、
を備え、
前記アッテネータ移動手段によって移動される前記アッテネータの移動距離に応じて、前記検出手段によって2次X線が検出される試料の測定領域の面積が可変である蛍光X線分析装置。 - 請求項1に記載の蛍光X線分析装置において、
前記アッテネータ移動手段によって所定位置に移動された前記アッテネータの絞り孔が試料上に投影されて、前記試料回転手段によって回転される試料の回転軸を中心にして回転された場合に、前記検出手段側から見た前記複数の絞り孔の描く環状の軌跡が径方向に繋がるように配置されている蛍光X線分析装置。 - 請求項2に記載の蛍光X線分析装置において、
前記複数の絞り孔は、試料の回転中心から半径方向に遠ざかるにしたがって、開口面積が大きくなるように形成されている蛍光X線分析装置。
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