JP2012156210A5 - 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、超音波デバイス及びｉｒセンサー - Google Patents
液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、超音波デバイス及びｉｒセンサー Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012156210A5 JP2012156210A5 JP2011012382A JP2011012382A JP2012156210A5 JP 2012156210 A5 JP2012156210 A5 JP 2012156210A5 JP 2011012382 A JP2011012382 A JP 2011012382A JP 2011012382 A JP2011012382 A JP 2011012382A JP 2012156210 A5 JP2012156210 A5 JP 2012156210A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid jet
- piezoelectric element
- piezoelectric
- jet head
- piezoelectric layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Claims (7)
- ノズル開口に連通する圧力発生室と、
圧電体層と該圧電体層に設けられた電極とを備えた圧電素子と、を具備し、
前記圧電体層は、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸バリウムの混晶として表されるペロブスカイト型構造を有する複合酸化物に対し、リチウムを１〜１５モル％含む圧電材料からなることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記圧電体層は、前記複合酸化物に対し、リチウムを１〜１０モル％含む圧電材料からなることを特徴とする請求項１に記載する液体噴射ヘッド。
- リチウムは、ペロブスカイト型構造を有する前記複合酸化物のＡサイトに含まれていることを特徴とする請求項１または２に記載する液体噴射ヘッド。
- 請求項１〜３のいずれか一項に記載する液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
- 圧電体層と、前記圧電体層に設けられた電極とを具備する圧電素子であって、
前記圧電体層は、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸バリウムの混晶として表されるペロブスカイト型構造を有する複合酸化物に対し、リチウムを１〜１５モル％含む圧電材料からなることを特徴とする圧電素子。 - 請求項５に記載の圧電素子を具備することを特徴とする超音波デバイス。
- 請求項５に記載の圧電素子を具備することを特徴とするＩＲセンサー。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011012382A JP5773127B2 (ja) | 2011-01-24 | 2011-01-24 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、超音波デバイス及びｉｒセンサー |
| US13/354,370 US8657417B2 (en) | 2011-01-24 | 2012-01-20 | Piezoelectric element, liquid ejecting head, and liquid ejecting apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011012382A JP5773127B2 (ja) | 2011-01-24 | 2011-01-24 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、超音波デバイス及びｉｒセンサー |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012156210A JP2012156210A (ja) | 2012-08-16 |
| JP2012156210A5 true JP2012156210A5 (ja) | 2014-03-13 |
| JP5773127B2 JP5773127B2 (ja) | 2015-09-02 |
Family
ID=46543873
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011012382A Expired - Fee Related JP5773127B2 (ja) | 2011-01-24 | 2011-01-24 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、超音波デバイス及びｉｒセンサー |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8657417B2 (ja) |
| JP (1) | JP5773127B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6760001B2 (ja) * | 2016-11-15 | 2020-09-23 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電素子、及び、圧電素子応用デバイス |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH104181A (ja) * | 1996-06-17 | 1998-01-06 | Sharp Corp | 強誘電体素子及び半導体装置 |
| JP4051654B2 (ja) | 2000-02-08 | 2008-02-27 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド及びこれらの製造方法並びにインクジェットプリンタ |
| JP4864294B2 (ja) * | 2003-05-30 | 2012-02-01 | 日本碍子株式会社 | セル駆動型圧電アクチュエータ、及びセル駆動型圧電アクチュエータの製造方法 |
| JP2006089352A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Kyocera Corp | 誘電体ペーストおよびコンデンサ内蔵ガラスセラミック多層配線基板 |
| JP2007063076A (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | Tdk Corp | 誘電体磁器組成物 |
| JP4237208B2 (ja) * | 2005-09-26 | 2009-03-11 | 富士フイルム株式会社 | 圧電素子及びその駆動方法、圧電装置、液体吐出装置 |
| JP2007204336A (ja) * | 2006-02-03 | 2007-08-16 | Denso Corp | 鉛フリー圧電セラミックス |
| JP2008004781A (ja) * | 2006-06-23 | 2008-01-10 | Fujifilm Corp | 圧電膜、圧電素子、インクジェット式記録ヘッド、及びインクジェット式記録装置 |
| JP5248168B2 (ja) * | 2008-04-01 | 2013-07-31 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電材料および圧電素子 |
| JP4775772B2 (ja) * | 2008-04-01 | 2011-09-21 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電材料および圧電素子 |
| JP2009286120A (ja) * | 2008-04-30 | 2009-12-10 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び圧電素子 |
| JP2009298621A (ja) * | 2008-06-11 | 2009-12-24 | Osaka Prefecture Univ | 圧電材料、圧電素子 |
| JP2010076958A (ja) * | 2008-09-25 | 2010-04-08 | Nec Tokin Corp | 圧電セラミックス、及びその製造方法 |
| KR101318516B1 (ko) * | 2009-03-31 | 2013-10-16 | 고쿠리츠다이가쿠호징 야마나시다이가쿠 | 세라믹, 압전 소자 및 그의 제조 방법 |
| JP5854183B2 (ja) * | 2010-03-02 | 2016-02-09 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、超音波センサー及び赤外センサー |
-
2011
- 2011-01-24 JP JP2011012382A patent/JP5773127B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-01-20 US US13/354,370 patent/US8657417B2/en not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2011222884A5 (ja) | ||
| EP2363900A3 (en) | Liquid ejection head, liquid ejection device, and piezoelectric element | |
| JP2011205064A5 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、超音波センサー及び赤外センサー | |
| EP2472623A3 (en) | Liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus and piezoelectric element | |
| EP2463925A3 (en) | Liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, piezoelectric element, and piezoelectric ceramic | |
| JP2013226818A5 (ja) | 圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、超音波デバイス、フィルター及びセンサー並びに圧電素子の製造方法 | |
| EP2364852A3 (en) | Liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus using the same, and piezoelectric element | |
| WO2013137421A3 (en) | Piezoelectric material, piezoelectric element, liquid discharge head, ultrasonic motor, and dust removing device | |
| JP2011205063A5 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、超音波センサー及び赤外センサー | |
| JP2013158909A5 (ja) | ||
| EP2363902A3 (en) | Liquid ejection head, liquid ejection device, and piezoelectric element | |
| JP2012139923A5 (ja) | 液体噴射ヘッド及びその製造方法、液体噴射装置、圧電素子、超音波センサー、並びに赤外線センサー | |
| JP2011211141A5 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電素子並びに超音波デバイス | |
| EP2819195A3 (en) | Piezoelectric material, piezoelectric element, liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, ultrasonic sensor, piezoelectric motor, and power generator | |
| JP2012164968A5 (ja) | 圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、超音波デバイス及びセンサー | |
| JP2011222883A5 (ja) | ||
| JP2012151308A5 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、超音波センサー及び赤外線センサー | |
| JP2011205066A5 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、超音波センサー及び赤外センサー | |
| JP2013085640A5 (ja) | 制御装置、液体噴射装置、医療機器及び制御方法 | |
| JP2012121273A5 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、超音波デバイス及びｉｒセンサー | |
| JP2012104658A5 (ja) | ||
| EP2453493A3 (en) | Liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus and piezoelectric element, and method for manufacturing piezoelectric element | |
| EP2363901A3 (en) | Liquid ejection head, liquid ejection device, and piezoelectric element | |
| EP2453494A3 (en) | Liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, and piezoelectric element | |
| JP2012124354A5 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、赤外線センサー及び超音波センサー |