JP2012155966A - ヒータユニットおよび熱処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この発明の熱処理装置10は、熱処理炉1、熱源21、フィルタ3、および透光部材4を備える。熱処理炉1は被処理品100を収容するものである。熱源21は、赤外線を放射するものが用いられる。フィルタ3は、熱源21に隣接して配置され、所定波長以上の赤外線をカットするものである。透光部材4は、フィルタ3に対向して熱源21と反対側に離隔配置され、フィルタ3によりカットされない赤外線を透過させるとともにフィルタ3を熱処理路1内の雰囲気から分離するものである。
【選択図】 図1
Description
1−熱処理炉
2−ヒータ
21−熱源
3−フィルタ
4−透光部材
6−搬送ローラ
100−被処理品
200−ヒータユニット
Claims (8)
- 赤外線を放射する熱源と、
前記熱源に隣接して配置され、所定波長以上の赤外線をカットするフィルタと、
前記フィルタに対向して前記熱源と反対側に離隔配置され、前記フィルタを透過した赤外線を透過させる透光部材と、
を有するヒータユニット。 - 前記フィルタと前記透光部材との間の空間が真空断熱された請求項1に記載のヒータユニット。
- 前記フィルタおよび前記透光部材が石英ガラス製である請求項1または2に記載のヒータユニット。
- 被処理品を収容する熱処理炉と、
赤外線を放射する熱源と、
前記熱源に隣接して配置され、所定波長以上の赤外線をカットするフィルタと、
前記フィルタに対向して前記熱源と反対側に離隔配置され、前記フィルタを透過した赤外線を透過させるとともに前記フィルタを前記熱処理路内の雰囲気から分離する透光部材と、
を有する熱処理装置。 - 前記透過部材に前記フィルタ表面から放熱される熱が伝わるのを阻止する伝熱阻止手段を有する請求項4に記載の熱処理装置。
- 前記フィルタと前記透光部材との間の空間が真空断熱された請求項5に記載の熱処理装置。
- 前記フィルタの表面を冷却する冷却手段が設けられた請求項5に記載の熱処理装置。
- 前記熱処理炉内における前記透光部材の赤外線出射側に対向する領域へ前記被処理品を移動させる移動手段を有する請求項4〜7のいずれかに記載の熱処理装置。
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