JP2017509098A5 - - Google Patents

Claims (38)

1. 照明を生成するように構成された照明源と、
   プラズマセルであって、
   １つまたは複数の開口部を有し、ガス塊を収容するように構成された透過要素と、
   透過要素の１つまたは複数の開口部に、またはその付近に配置された１つまたは複数の終端フランジと、
   １つまたは複数の終端フランジのうちの少なくとも１つと透過要素との間に配置された１つまたは複数の浮動型フランジであって、透過要素の熱膨張を補償するために移動可能な浮動型フランジと、
   を含むプラズマセルと、
   照明源からの照明をガス塊の中に合焦させて、プラズマセル内に収容されるガス塊の中にプラズマを発生させるように構成された集光要素と、
   を含む、光維持プラズマを形成するシステムにおいて、
   プラズマは広帯域放射を発生し、
   プラズマセルの透過要素は、照明源により生成された照明の少なくとも一部と、プラズマにより発せられた広帯域放射のうちの少なくとも一部を少なくとも部分的に透過させることを特徴とするシステム。
2. 請求項１に記載のシステムにおいて、
   透過要素と１つまたは複数の浮動型フランジとの間に設置された１つまたは複数の圧縮要素をさらに含み、１つまたは複数の圧縮要素は、透過要素の熱膨張を補償するように構成されることを特徴とするシステム。
3. 請求項２に記載のシステムにおいて、
   １つまたは複数の圧縮要素は、
   １つまたは複数の不完全に圧縮されたシールを含むことを特徴とするシステム。
4. 請求項１に記載のシステムにおいて、
   １つまたは複数の浮動型フランジは、金属材料またはセラミック材料のうちの少なくとも１種から形成されることを特徴とするシステム。
5. 請求項１に記載のシステムにおいて、
   １つまたは複数の浮動型フランジは、浮動型フランジを通じて冷媒を流すように構成された１つまたは複数の冷媒チャネルを含むように構成されることを特徴とするシステム。
6. 請求項１に記載のシステムにおいて、
   透過要素の１つまたは複数の開口部は、
   透過要素の第一の端における第一の開口部と、
   透過要素の、第一の端と反対の第二の端における第二の開口部と、
   を含むことを特徴とするシステム。
7. 請求項１に記載のシステムにおいて、 透過要素は、実質的に円筒形または実質的に球形のうちの少なくとも１つを有することを特徴とするシステム。
8. 請求項１に記載のシステムにおいて、
   透過要素は複合的な形状を有することを特徴とするシステム。
9. 請求項１に記載のシステムにおいて、
   １つまたは複数の終端フランジまたは１つまたは複数の浮動型フランジのうちの少なくとも１つは、
   １つまたは複数の制御要素を含むことを特徴とするシステム。
10. 請求項９に記載のシステムにおいて、
    １つまたは複数の制御要素は、
    内部制御要素と外部制御要素のうちの少なくとも１つを含むことを特徴とするシステム。
11. 請求項９に記載のシステムにおいて、
    制御要素は、
    熱制御要素、対流制御要素、プルーム制御要素、ガス充填制御要素、および着火制御要素のうちの少なくとも１つを含むことを特徴とするシステム。
12. 請求項１に記載のシステムにおいて、
    プラズマセルは１つまたは複数のフィードスルーを含むことを特徴とするシステム。
13. 請求項１２に記載のシステムにおいて、
    １つまたは複数のフィードスルーは、１つまたは複数の終端フランジ、１つまたは複数の浮動型フランジ、または１つまたは複数のキャップのうちの少なくとも１つを通過することを特徴とするシステム。
14. 請求項１２に記載のシステムにおいて、
    １つまたは複数のフィードスルーは、ガスフィードスルー、冷却フィードスルー、または電気フィードスルーのうちの少なくとも１つを含むことを特徴とするシステム。
15. 請求項１に記載のシステムにおいて、
    １つまたは複数の終端フランジは、
    第一の開口部に、またはその付近に設置された第一の終端フランジと、
    第二の開口部に、またはその付近に設置された第二の終端フランジと、
    を含むことを特徴とするシステム。
16. 請求項１５に記載のシステムにおいて、
    第一の終端フランジと第二の終端フランジに接続され、第一の終端フランジを第一の開口部を覆うように、および１つまたは複数の浮動型フランジを第二の開口部を覆うように固定するように構成された１つまたは複数の接続ロッド
    をさらに含むことを特徴とするシステム。
17. 請求項１６に記載のシステムにおいて、
    １つまたは複数の接続ロッドは、
    １つまたは複数の能動接続ロッドを含むことを特徴とするシステム。
18. 請求項１７に記載のシステムにおいて、
    １つまたは複数の能動接続ロッドは、
    第一の終端フランジ、第二の終端フランジ、または１つまたは複数の浮動型フランジのうちの２つまたはそれ以上の間で冷媒を輸送するように構成された１つまたは複数の冷媒輸送ロッドを含むことを特徴とするシステム。
19. 請求項１６に記載のシステムにおいて、
    １つまたは複数の能動接続ロッドは、
    １つまたは複数の熱伝導ロッドであることを特徴とするシステム。
20. 請求項１９に記載のシステムにおいて、
    １つまたは複数の熱伝導ロッドは、
    第一の終端フランジ、第二の終端フランジ、または１つまたは複数の浮動型フランジのうちの２つまたはそれ以上の間で熱を伝導するように構成された１つまたは複数の熱伝導ロッドを含むことを特徴とするシステム。
21. 請求項１５に記載のシステムにおいて、
    第一の終端フランジと第二の終端フランジに接続され、第一の終端フランジを第一の開口部を覆うように、および１つまたは複数の浮動型フランジを第二の開口部を覆うように固定するように構成される１つまたは複数のフィン
    をさらに含むことを特徴とするシステム。
22. 請求項２１に記載のシステムにおいて、
    １つまたは複数のフィンは、プラズマセルの一部から周囲雰囲気中に熱エネルギーを伝達するようにさらに構成されることを特徴とするシステム。
23. 請求項１に記載のシステムにおいて、
    １つまたは複数の放射遮断要素をさらに含むことを特徴とするシステム。
24. 請求項２３に記載のシステムにおいて、
    １つまたは複数の放射遮断要素は、
    登記要素の１つまたは複数の開口部に近接する、照明源のうちの少なくとも１つからの放射およびプラズマにより生成された放射をブロックして、プラズマセルの１つまたは複数のシールに届かないように構成される放射シールドを含むことを特徴とするシステム。
25. 請求項２３に記載のシステムにおいて、
    １つまたは複数の放射遮断要素は、
    透過要素の１つまたは複数の開口部に近接し、プラズマにより生成された放射の少なくとも一部をプラズマセルの１つまたは複数のシールに到達しないようにブロックするように構成されたコーティング層を含むことを特徴とするシステム。
26. 請求項１に記載のシステムにおいて、
    透過要素は１２０ｎｍ〜２００ｎｍの間の放射を少なくとも部分的に透過させることを特徴とするシステム。
27. 請求項１に記載のシステムにおいて、
    透過要素は、１９０ｎｍ〜２６０ｎｍの間の放射を少なくとも部分的に透過させることを特徴とするシステム。
28. 請求項１に記載のシステムにおいて、
    透過要素は、フッ化カルシウム、フッ化マグネシウム、結晶水晶、サファイヤ、および溶融水晶のうちの少なくとも１つから形成されることを特徴とするシステム。
29. 請求項１に記載のシステムにおいて、
    プラズマにより発せられる広帯域放射は、真空紫外放射、深紫外放射、紫外放射、および可視放射のうちの少なくとも１つをさらに含むことを特徴とするシステム。
30. 請求項２９に記載のシステムにおいて、
    透過要素は、真空紫外放射、深紫外放射、紫外放射、および可視放射のうちの少なくとも１つを少なくとも部分的に透過させることを特徴とするシステム。
31. 請求項１に記載のシステムにおいて、
    照明源は、
    １つまたは複数のレーザを含むことを特徴とするシステム。
32. 請求項３１に記載のシステムにおいて、
    １つまたは複数のレーザは、
    １つまたは複数の赤外レーザを含むことを特徴とするシステム。
33. 請求項３１に記載のシステムにおいて、
    １つまたは複数のレーザは、
    ダイオードレーザ、連続波レーザ、または広帯域レーザのうちの少なくとも１つを含むことを特徴とするシステム。
34. 請求項１に記載のシステムにおいて、
    ガスは、
    不活性ガス、非不活性ガス、および２種または複数のガスの混合物のうちの少なくとも１つを含むことを特徴とするシステム。
35. 請求項１に記載のシステムにおいて、
    集光要素は、生成されたプラズマにより発せられた広帯域放射の少なくとも一部を集光し、広帯域放射を１つまたは複数の追加の光学要素へと方向付けるように構成されていることを特徴とするシステム。
36. 請求項１に記載のシステムにおいて、
    集光要素は、
    楕円形状の集光要素を含むことを特徴とするシステム。
37. １つまたは複数の開口部を有し、ガス塊を収容するように構成された透過要素と、
    透過要素の１つまたは複数の開口部に、またはその付近に設置された第一の終端フランジと、
    透過要素の１つまたは複数の開口部に、またはその付近に設置された第二の終端フランジと、
    第一の終端フランジまたは第二の終端フランジのうちの少なくとも１つと透過要素との間に設置された少なくとも１つの浮動型フランジであって、透過要素の熱膨張を補償するために移動可能である少なくとも１つの浮動型フランジと、
    を含む、光維持プラズマを形成するためのプラズマセルにおいて、
    少なくとも１つの浮動型フランジは、透過要素の内部空間を閉じ、透過要素内にガス塊を収容するように構成され、
    透過要素は、照明源からの照明を受け取って、ガス塊内にプラズマを生成するように構成され、プラズマは広帯域放射を発し、透過要素は、照明源により生成された照明の少なくとも一部とプラズマにより発せられた広帯域放射の少なくとも一部を少なくとも部分的に透過させる
    ことを特徴とするプラズマセル。
38. １つまたは複数の開口部を有し、ガス塊を収容するように構成された透過要素と、
    透過要素の１つまたは複数の開口部に、またはその付近に設置された１つまたは複数の終端フランジと、
    １つまたは複数の終端フランジのうちの少なくとも１つと透過要素との間に設置された１つまたは複数の浮動型フランジであって、透過要素の熱膨張を補償するために移動可能である少なくとも１つの浮動型フランジと、
    を含む、光維持プラズマを形成するためのプラズマセルにおいて、
    透過要素は、照明源からの照明を受け取って、ガス塊内にプラズマを生成するように構成され、プラズマは広帯域放射を発し、透過要素は、照明源により生成された照明の少なくとも一部とプラズマにより発せられた広帯域放射の少なくとも一部を少なくとも部分的に透過させる
    ことを特徴とするプラズマセル。