JPH01296617A - 石英ランプ加熱装置 - Google Patents
石英ランプ加熱装置Info
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- JPH01296617A JPH01296617A JP63125846A JP12584688A JPH01296617A JP H01296617 A JPH01296617 A JP H01296617A JP 63125846 A JP63125846 A JP 63125846A JP 12584688 A JP12584688 A JP 12584688A JP H01296617 A JPH01296617 A JP H01296617A
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- 239000010453 quartz Substances 0.000 title claims abstract description 67
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 67
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims description 19
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 9
- 230000036760 body temperature Effects 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 6
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- OYLGJCQECKOTOL-UHFFFAOYSA-L barium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ba+2] OYLGJCQECKOTOL-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- 229910001632 barium fluoride Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
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- Radiation Pyrometers (AREA)
- Control Of Resistance Heating (AREA)
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
被加熱体の温度検出を正確になしうるようにする石英ラ
ンプ加熱装置の改良に関し、 半導体ウェーへ等被加熱体の温度を正確に検知すること
ができる石英ランプ加熱装置を提供することを目的とし
、 石英ランプと、この石英ランプに対向して配設され、石
英ランプの放射する光のうち長波長帯の光を吸収し、冷
却手段をもって冷却されている第１の石英フィルタと、
この第１の石英フィルタに対向して配設され、第１の石
英フィルタを透過した光を透過する第２の石英フィルタ
と、この第２の石英フィルタに対向して配設され、被加
熱体を支持する被加熱体支持手段と、前記の被加熱体に
対接して配置される被加熱体温度検出手段とを具備して
いる石英ランプ加熱装置をもって構成される。
ンプ加熱装置の改良に関し、 半導体ウェーへ等被加熱体の温度を正確に検知すること
ができる石英ランプ加熱装置を提供することを目的とし
、 石英ランプと、この石英ランプに対向して配設され、石
英ランプの放射する光のうち長波長帯の光を吸収し、冷
却手段をもって冷却されている第１の石英フィルタと、
この第１の石英フィルタに対向して配設され、第１の石
英フィルタを透過した光を透過する第２の石英フィルタ
と、この第２の石英フィルタに対向して配設され、被加
熱体を支持する被加熱体支持手段と、前記の被加熱体に
対接して配置される被加熱体温度検出手段とを具備して
いる石英ランプ加熱装置をもって構成される。
〔産業上の利用分野］
本発明は、石英ランプ加熱装置の改良に関する。
特に、被加熱体の温度検出を正確になしうるようにする
改良に関する。
改良に関する。
従来技術に係る石英ランプ加熱装置について、図を参照
して略述する。
して略述する。
第２図参照
図において、１は石英ランプであり、発光波長帯は０．
５〜１０ｎ程度である。１１は抛物面鏡であり、点光源
である石英ランプ１の光を平行光に転換する。２は石英
板よりなるフィルタであり、４ｎ以上の波長帯の光を吸
収し、４ｐ以下の波長帯の光Ａのみを透過する。３は半
導体ウェーハ等の被加熱体であり、被加熱体支持手段５
によって支持される。７はフッ化バリウム等Ｂ〜１３ｎ
の波長帯の光を透過する反射光窓である。４は、加熱さ
れた被加熱体例えば半導体ウェーハ３の放射する赤外線
Ｂを検出する被加熱体温度検出手段であり、被加熱体３
の温度を検出する。６は被加熱体３を収納するチャンバ
ーである。
５〜１０ｎ程度である。１１は抛物面鏡であり、点光源
である石英ランプ１の光を平行光に転換する。２は石英
板よりなるフィルタであり、４ｎ以上の波長帯の光を吸
収し、４ｐ以下の波長帯の光Ａのみを透過する。３は半
導体ウェーハ等の被加熱体であり、被加熱体支持手段５
によって支持される。７はフッ化バリウム等Ｂ〜１３ｎ
の波長帯の光を透過する反射光窓である。４は、加熱さ
れた被加熱体例えば半導体ウェーハ３の放射する赤外線
Ｂを検出する被加熱体温度検出手段であり、被加熱体３
の温度を検出する。６は被加熱体３を収納するチャンバ
ーである。
上記の石英ランプ加熱装置においては、フィルタ２は４
ｎ以上の波長の光をすべて吸収せねばならないから、温
度が上昇して、フィルタ２自身が赤外線を放出し、この
赤外線が外乱となり、半導体ウェーハ等被加熱体の温度
を正確に検知する妨げになると云う欠点があった。
ｎ以上の波長の光をすべて吸収せねばならないから、温
度が上昇して、フィルタ２自身が赤外線を放出し、この
赤外線が外乱となり、半導体ウェーハ等被加熱体の温度
を正確に検知する妨げになると云う欠点があった。
本発明の目的は、この欠点を解消することにあり、半導
体ウェーハ等被加熱体の温度を正確に検知することがで
きる石英ランプ加熱装置を提供することにある。
体ウェーハ等被加熱体の温度を正確に検知することがで
きる石英ランプ加熱装置を提供することにある。
上記の目的は、石英ランプ（１）と、この石英ランプ（
１）に対向して配設され、石英ランプ（１）の放射する
光のうち長波長帯の光を吸収し、冷却手段（２３）をも
って冷却されている第１の石英フィルタ（２１）と、こ
の第１の石英フィルタ（２１）に対向して配設され、第
１の石英フィルタ（２１）を透過した光を透過する第２
の石英フィルタ（２２）と、この第２の石英フィルタ（
２２）に対向して配設され、被加熱体を支持する被加熱
体支持手段（５）と、前記の被加熱体に対接して配置さ
れる被加熱体温度検出手段（４）とを具備している石英
ランプ加熱装置によって達成される。
１）に対向して配設され、石英ランプ（１）の放射する
光のうち長波長帯の光を吸収し、冷却手段（２３）をも
って冷却されている第１の石英フィルタ（２１）と、こ
の第１の石英フィルタ（２１）に対向して配設され、第
１の石英フィルタ（２１）を透過した光を透過する第２
の石英フィルタ（２２）と、この第２の石英フィルタ（
２２）に対向して配設され、被加熱体を支持する被加熱
体支持手段（５）と、前記の被加熱体に対接して配置さ
れる被加熱体温度検出手段（４）とを具備している石英
ランプ加熱装置によって達成される。
本発明にあっては、石英ランプ１の放出する光のうち長
波長帯を吸収するフィルタが二重にされており、石英ラ
ンプ１に近く大部分の長波長帯を吸収するため温度が上
昇しやすい第１のフィルタ２１には冷却手段が付加され
ているので、特に石英ランプ１から離れており、そのた
め、長波長帯がすでに第１のフィルタ２１によって排除
された光のみが入射する第２のフィルタ２２の温度は上
昇せ゛ず、事実上外乱がないので、被加熱体３の温度は
正確に検出されることができる。
波長帯を吸収するフィルタが二重にされており、石英ラ
ンプ１に近く大部分の長波長帯を吸収するため温度が上
昇しやすい第１のフィルタ２１には冷却手段が付加され
ているので、特に石英ランプ１から離れており、そのた
め、長波長帯がすでに第１のフィルタ２１によって排除
された光のみが入射する第２のフィルタ２２の温度は上
昇せ゛ず、事実上外乱がないので、被加熱体３の温度は
正確に検出されることができる。
以下、図面を参照して、本発明の二つの実施例に係る石
英ランプ加熱装置について説明する。
英ランプ加熱装置について説明する。
茅上班
第１ａ図参照
図において、１は石英ランプであり、発光波長帯は０．
５〜１０．ｎ程度である。１１は抛物面鏡であり、点光
源である石英ランプ１の光を平行光に転換する。２蹟石
英板よりなる第１のフィルタであり、冷却手段２３によ
って冷却されながら、４ｎ以上の波長帯の光を吸収し、
４ｎ以下の波長帯の光Ａのみを透過する。２２は第１の
フィルタに対向して配置される第２のフィルタであり、
第１のフィルタ２１と同様石英板よりなる。この第２の
フィルタ２２に入射する光Ａは４ｎ以上の波長の光を含
まないから、殆ど温度上昇しない。また、この第２のフ
ィルタ２２も４ｎ以下の波長帯の光Ａ°を透過する。３
は半導体ウェーハ等の被加熱体であり、被加熱体支持手
段５によって支持される。７はフノ化バリウム等８〜１
３ｎの波長帯の光も透過する反射光窓である。４は、加
熱された被加熱体例えば半導体ウェーハ３の放射する赤
外線Ｂを検出する被加熱体温度検出手段であり、被加熱
体３の温度を検出する。６は被加熱体３を収納するチャ
ンバーである。
５〜１０．ｎ程度である。１１は抛物面鏡であり、点光
源である石英ランプ１の光を平行光に転換する。２蹟石
英板よりなる第１のフィルタであり、冷却手段２３によ
って冷却されながら、４ｎ以上の波長帯の光を吸収し、
４ｎ以下の波長帯の光Ａのみを透過する。２２は第１の
フィルタに対向して配置される第２のフィルタであり、
第１のフィルタ２１と同様石英板よりなる。この第２の
フィルタ２２に入射する光Ａは４ｎ以上の波長の光を含
まないから、殆ど温度上昇しない。また、この第２のフ
ィルタ２２も４ｎ以下の波長帯の光Ａ°を透過する。３
は半導体ウェーハ等の被加熱体であり、被加熱体支持手
段５によって支持される。７はフノ化バリウム等８〜１
３ｎの波長帯の光も透過する反射光窓である。４は、加
熱された被加熱体例えば半導体ウェーハ３の放射する赤
外線Ｂを検出する被加熱体温度検出手段であり、被加熱
体３の温度を検出する。６は被加熱体３を収納するチャ
ンバーである。
以上の構造を有する石英ランプ加熱装置にあっては、第
２のフィルタ２２の温度が低く保持されるので、被加熱
体温度検出手段４には外乱が入らず、正確に被加熱体３
の温度を検出しうる。
２のフィルタ２２の温度が低く保持されるので、被加熱
体温度検出手段４には外乱が入らず、正確に被加熱体３
の温度を検出しうる。
員ｌ拠
第１ｂ図参照
図において、１はいずれも石英ランプであり、発光波長
帯は０．５〜ＩＯＱ程度である。１１は抛物面鏡であり
、それぞれの石英ランプ１に付属し、点光源である石英
ランプ１の光を平行光に転換する。
帯は０．５〜ＩＯＱ程度である。１１は抛物面鏡であり
、それぞれの石英ランプ１に付属し、点光源である石英
ランプ１の光を平行光に転換する。
２１はいずれも石英板よりなる第１のフィルタであり、
冷却手段２３によって冷却されながら、４ｎ以上の波長
帯の光を吸収し、４１！Ｎ以下の波長帯の光Ａのみを透
過する。２２は第１のフィルタに対向して配置される第
２のフィルタであり、第１のフィルタ２１と同様石英板
よりなる。この第２のフィルタ２２も４ｎ以下の波長帯
の光Ａ°を透過するとともに、その透過光Ａ゛の方向を
いくらか変更して、後述する被加熱体３の方向に向ける
。この第２のフィルタ２２に入射する光Ａは４ｎ以上の
波長の光を含まないから、殆ど温度上昇しない。３は半
導体ウェーハ等の被加熱体であり、被加熱体支持手段５
によって支持される。７はフッ化バリウム等８〜１３ｎ
の波長帯の光も透過する反射光窓である。
冷却手段２３によって冷却されながら、４ｎ以上の波長
帯の光を吸収し、４１！Ｎ以下の波長帯の光Ａのみを透
過する。２２は第１のフィルタに対向して配置される第
２のフィルタであり、第１のフィルタ２１と同様石英板
よりなる。この第２のフィルタ２２も４ｎ以下の波長帯
の光Ａ°を透過するとともに、その透過光Ａ゛の方向を
いくらか変更して、後述する被加熱体３の方向に向ける
。この第２のフィルタ２２に入射する光Ａは４ｎ以上の
波長の光を含まないから、殆ど温度上昇しない。３は半
導体ウェーハ等の被加熱体であり、被加熱体支持手段５
によって支持される。７はフッ化バリウム等８〜１３ｎ
の波長帯の光も透過する反射光窓である。
４は、加熱された被加熱体例えば半導体ウェーハ３の放
射する赤外線Ｂを検出する被加熱体温度検出手段であり
、被加熱体３の温度を検出する。６は被加熱体３を収納
するチャンバーである。
射する赤外線Ｂを検出する被加熱体温度検出手段であり
、被加熱体３の温度を検出する。６は被加熱体３を収納
するチャンバーである。
以上の構造を有する石英ランプ加熱装置にあっても、第
２のフィルタ２２の温度が低く保持されるので、被加熱
体温度検出手段４には外乱が入らず、正確に被加熱体３
の温度を検出しうる。
２のフィルタ２２の温度が低く保持されるので、被加熱
体温度検出手段４には外乱が入らず、正確に被加熱体３
の温度を検出しうる。
〔発明の効果］
本発明に係る石英ランプ加熱装置においては、石英ラン
プの放出する光のうち長波長帯を吸収するフィルタが二
重にされており、石英ランプに近く大部分の長波長帯を
吸収するため温度が上昇しやすい第１のフィルタには冷
却手段が付加されているので、特に石英ランプから離れ
ており、そのため、長波長帯がすでに第１のフィルタに
よって排除された光のみが入射する第２のフィルタの温
度は上昇せず、事実上外乱がないので、被加熱体の温度
は正確に検出されることができる。
プの放出する光のうち長波長帯を吸収するフィルタが二
重にされており、石英ランプに近く大部分の長波長帯を
吸収するため温度が上昇しやすい第１のフィルタには冷
却手段が付加されているので、特に石英ランプから離れ
ており、そのため、長波長帯がすでに第１のフィルタに
よって排除された光のみが入射する第２のフィルタの温
度は上昇せず、事実上外乱がないので、被加熱体の温度
は正確に検出されることができる。
第１ａ図は、本発明の一実施例に係る石英ランプ加熱装
置の構成図である。 第１ｂ図は、本発明の他の実施例に係る石英ランプ加熱
装置の構成図である。 第２図は、従来技術に係る石英ランプ加熱装置の構成図
である。 １・・・石英ランプ、 １１・・・抛物面鏡、 ２・・・従来技術に係るフィルタ、 ２１・・・本発明に係る第１のフィルタ、２２・・・本
発明に係る第２のフィルタ、２３・・・冷却手段、 ３・・・被加熱体（半導体ウェーハ）、４・・・被加熱
体温度検出手段、 ５・・・被加熱体支持手段、 ６・・・チャンバー、 ７・・・反射光窓。
置の構成図である。 第１ｂ図は、本発明の他の実施例に係る石英ランプ加熱
装置の構成図である。 第２図は、従来技術に係る石英ランプ加熱装置の構成図
である。 １・・・石英ランプ、 １１・・・抛物面鏡、 ２・・・従来技術に係るフィルタ、 ２１・・・本発明に係る第１のフィルタ、２２・・・本
発明に係る第２のフィルタ、２３・・・冷却手段、 ３・・・被加熱体（半導体ウェーハ）、４・・・被加熱
体温度検出手段、 ５・・・被加熱体支持手段、 ６・・・チャンバー、 ７・・・反射光窓。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 石英ランプ（１）と、 該石英ランプ（１）に対向して配設され、該石英ランプ
（１）の放射する光のうち長波長帯の光を吸収し、冷却
手段（２３）をもって冷却されてなる第１の石英フィル
タ（２１）と、 該第１の石英フィルタ（２１）に対向して配設され、該
第１の石英フィルタ（２１）を透過した光を透過する第
２の石英フィルタ（２２）と、 該第２の石英フィルタ（２２）に対向して配設され、被
加熱体を支持する被加熱体支持手段（５）と、 前記被加熱体に対接して配置される被加熱体温度検出手
段（４）と を有することを特徴とする石英ランプ加熱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63125846A JP2640968B2 (ja) | 1988-05-25 | 1988-05-25 | 石英ランプ加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63125846A JP2640968B2 (ja) | 1988-05-25 | 1988-05-25 | 石英ランプ加熱装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01296617A true JPH01296617A (ja) | 1989-11-30 |
| JP2640968B2 JP2640968B2 (ja) | 1997-08-13 |
Family
ID=14920389
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63125846A Expired - Lifetime JP2640968B2 (ja) | 1988-05-25 | 1988-05-25 | 石英ランプ加熱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2640968B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012155966A (ja) * | 2011-01-25 | 2012-08-16 | Koyo Thermo System Kk | ヒータユニットおよび熱処理装置 |
| CN103313446A (zh) * | 2012-03-16 | 2013-09-18 | 光洋热系统株式会社 | 加热器单元和热处理装置 |
| CN103546996A (zh) * | 2012-07-12 | 2014-01-29 | 光洋热系统株式会社 | 加热器单元和热处理装置 |
| TWI577957B (zh) * | 2012-02-13 | 2017-04-11 | 光洋熱系統股份有限公司 | 加熱器單元及熱處理裝置 |
| CN112524882A (zh) * | 2020-12-17 | 2021-03-19 | 西安交通大学 | 一种主动冷却棱镜折射式石英灯高温加热装置及方法 |
-
1988
- 1988-05-25 JP JP63125846A patent/JP2640968B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012155966A (ja) * | 2011-01-25 | 2012-08-16 | Koyo Thermo System Kk | ヒータユニットおよび熱処理装置 |
| TWI577957B (zh) * | 2012-02-13 | 2017-04-11 | 光洋熱系統股份有限公司 | 加熱器單元及熱處理裝置 |
| CN103313446A (zh) * | 2012-03-16 | 2013-09-18 | 光洋热系统株式会社 | 加热器单元和热处理装置 |
| CN103546996A (zh) * | 2012-07-12 | 2014-01-29 | 光洋热系统株式会社 | 加热器单元和热处理装置 |
| CN103546996B (zh) * | 2012-07-12 | 2016-08-10 | 光洋热系统株式会社 | 加热器单元和热处理装置 |
| CN106102189A (zh) * | 2012-07-12 | 2016-11-09 | 光洋热系统株式会社 | 加热器单元和热处理装置 |
| CN106102189B (zh) * | 2012-07-12 | 2019-09-03 | 光洋热系统株式会社 | 加热器单元和热处理装置 |
| CN112524882A (zh) * | 2020-12-17 | 2021-03-19 | 西安交通大学 | 一种主动冷却棱镜折射式石英灯高温加热装置及方法 |
| CN112524882B (zh) * | 2020-12-17 | 2024-05-24 | 西安交通大学 | 一种主动冷却棱镜折射式石英灯高温加热装置及方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2640968B2 (ja) | 1997-08-13 |
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