JP2012153980A - 脆性材料微粒子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】平均粒子径が50nm以上1μm以下で、形状が非球形の不定形形状であり、少なくとも一カ所以上、電子顕微鏡観察により2次元的な像として求めた角を持つ形状をした微粒子を少なくとも体積率30%以上含み、前記角の尖り角度(θ)は、140度以下であることを特徴とする、脆性材料微粒子。当該微粒子を用いて、微細成膜装置1を用いてエアロゾル7式ガスデポジション法により被膜形成を行う。
【選択図】図1
Description
Electro Mechanical Syste;MEMS)の分野で注目され、デバイス化するための薄膜技術、微細加工法が世界各所で盛んに研究されている。一般にこのようなアクチュエータの場合は、或る程度の力の発生が要求され、1μm以上の膜厚が必要になると考えられている。しかしながら従来微粒子の衝突現象を利用した成膜法でセラミックス材料の成膜を試みた報告例はあるが高温の基板加熱と熱処理工程を必要としており、室温で高密度の成膜体が形成できる技術は開発されていなかった。
次に、機械分野の耐磨耗コーティングとしては、従来、溶射技術やイオンプレーティング法などが検討されてきた。しかしながら膜の緻密性や密着性、成膜温度などの点でまだ数多くの課題を持っている。
sand handbook, 7ed(1963), p5〜26」に挙げられている、「Sub-Angular」,「Angular」,「Compound」に該当する微粉体を指す。この最後の「Compound」は、この場合、上記尖り角度(140度以下)の角を持つ粒子である「Sub-Angular」,「Angular」の粒子を材料微粒子全体の中に含む材料微粒子を指し、その比率は、材料微粒子の利用効率、成膜速度(レート)、成膜体/成形体密度に大きく影響する。実験によると、実用的な効率を考慮すると、この様な尖り角度(140度以下)の角をもつ「Sub-Angular」,「Angular」の粒子を少なくとも堆積率30%以上含むことが好ましい。
圧電材料であるチタン酸ジルコン酸鉛(PZT:Pb(Zr52,Ti48)O3)について10−30μm/min(5mm角のエリア)という高い成膜レートを達成した。このとき成膜法は基板加熱などの熱的アシストは一切行っておらず、粒子間結合は衝突によるエネルギーの開放だけで達成した。膜密度は理論密度の95%にも達し、Si、SUS304、Pt/Ti/SiO2/Si等の基板上への付着力も20MPa以上と非常に強固なことが判った。X線解析、SEM,TEM,EDX等の分析から、形成された膜は組織変動もなく原料微粉の結晶構造を維持しており、成膜時に数十ナノメータの微細な結晶構造を持つことが判った。膜内部には歪みなど含むものの、衝突による基板温度の上昇も一切観察されず、マクロ的には室温でセラミック材料が固化できたといえる。簡単なマスクを用いればエチング工程なしでアスペクト比(高さ/幅)で1以上、数十ミクロン幅のパターンニングが行なえ、さらに、図2に示すようにバックエッチングされた厚さ10μmの極薄Siメンブレン上に破損無しに同程度の厚さのPZT膜が形成できることも確認された。
2 成膜チャンバー
3 基板
4 ノズル
6 基板駆動装置
7 エアロゾル
Claims (2)
- 平均粒子径が50nm以上1μm以下で、形状が非球形の不定形形状であり、少なくとも一カ所以上、電子顕微鏡観察により2次元的な像として求めた角を持つ形状をした微粒子を少なくとも体積率30%以上含み、前記角の尖り角度(θ)は、140度以下であることを特徴とする、脆性材料微粒子。
- 最も長い軸の長さLと、それと直角な2つの短軸長さa,bの軸比率L/a,L/bがL/aは1<L/a<10,L/bは1<L/b<10の範囲にある微粒子を含むことを特徴とする、請求項1記載の脆性材料微粒子。
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