JP5392737B2 - 脆性材料膜構造体 - Google Patents
脆性材料膜構造体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5392737B2 JP5392737B2 JP2007136046A JP2007136046A JP5392737B2 JP 5392737 B2 JP5392737 B2 JP 5392737B2 JP 2007136046 A JP2007136046 A JP 2007136046A JP 2007136046 A JP2007136046 A JP 2007136046A JP 5392737 B2 JP5392737 B2 JP 5392737B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- thin film
- film
- brittle material
- less
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Semiconductor Memories (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
Description
(1)超微粒子の表面積の30%以上の新生表面を持つ活性化された粒径100nm以下の超微粒子を基板上に堆積させた超微粒子薄膜を備える脆性材料膜構造体であり、
前記超微粒子薄膜は、アモルファス相の含有体積分率が5%以上から30%以下で、平均結晶粒子径が50nm以下の粒子からなり、かつ相対密度が90%以上である多結晶薄膜を備え、前記基板と前記多結晶薄膜との間に形成されるアンカー層を備え、
ここで、該アンカー層の厚みは、前記表面積の30%以上の新生表面を持つ粒径100nm以下の活性化された超微粒子を基板上に設けることにより100nm以下に抑えられ、かつ前記基板との密着力が10MP以上あることを特徴とする脆性材料膜構造体、
(2)前記基板の表面粗さ(Ra)が、50nm以上90nm以下の場合、前記超微粒子薄膜の表面粗さ(Ra)は、前記基板の表面粗さと等しいことを特徴とする(1)項に記載の脆性材料薄膜構造体、
(3)前記基板の表面粗さ(Ra)が3nm以下の場合、前記超微粒子薄膜の表面粗さ(Ra)は、20nm以下であることを特徴とする(1)項に記載の脆性材料薄膜構造体、
(4)前記脆性材料膜構造体は、厚さが1μm以下であることを特徴とする(1)から(3)のいずれか1項に記載の脆性材料膜構造体、
(5)前記超微粒子薄膜は、成膜の起こらない硬度の反射面に超微粒子を吹き付け、この時に生じる該超微粒子の機械的粉砕効果を用いて形成されることを特徴とする(1)から(4)のいずれか1項に記載の脆性材料薄膜構造体、
(6)(2)から(5)のいずれか1項に記載の脆性材料膜構造体からなる強誘電体、
(7)(2)から(5)のいずれか1項に記載の脆性材料膜構造体からなる圧電素子、及び
(8)(2)から(5)のいずれか1項に記載の脆性材料膜構造体からなる光学素子
を提供するものである。
本発明において、粒子径100nm以下とは、個数分布における平均粒径が100nm以下であることを意味する。粉砕後のセラミックス粒子の粒径は5〜80nmが好ましく、10〜50nmがさらに好ましい。
セラミックス粒子の粉砕方法は特に限定されるものではないが、例えば、粒子径0.1〜10μmのセラミック粒子を硬質反射体への吹き付けを用いて粉砕することなどが挙げられる。硬質反射体材料は、その表面のビッカース硬度で700Hv以上の材質、好ましくは1000Hv以上の材質であればいいが、潤滑性の高さも併せ持つダイアモンドやタングステンカーバイト(WC)、DLCなど炭化物系材料でコートされた反射体を用いても良い。また、不純物の混入による形成される膜質の低下を防ぐ意味で、原料微粒子材料と同じか近い材質の硬質材料であれば、さらに好ましい。上記のような脆性材料粒子を硬質反射体に吹き付ける方法としては、例えばガスと微粒子を混合、搬送し、小さな開口ノズルを通して加速して吹きつけるか、粒子を帯電させ静電界の中で加速して、硬質反射体に衝突させ粉砕したものを用いることができる。
本発明においては、この脆性材料粒子の粉砕によって生成粉末粒子に新生面を形成する。ここで新生面とは破砕などにより結晶面がずれて粒子表面に現れる活性な表面のことをいい、その割合は好ましくは粒子の表面積の30%以上である。
また、脆性材料粒子が新生面を有しているものであれば、粉砕する工程を省略し、これを基板に吹き付け、基板上に堆積しても良い。
基板上の堆積脆性材料粒子の厚さは20nm〜3μmが好ましく、20nm〜1μmが好ましい。本発明に用いられる基板としては、例えば、金属、ガラス、セラミックス、半導体、プラスティックが挙げられ、ビッカース硬度で、20Hv〜1000Hvの基板材料が好ましい。
形成された多結晶構造の平均結晶粒径は50nm以下であり、10〜50nmであることが好ましく、20〜30nmであることがさらに好ましい。多結晶構造の平均結晶粒径は透過型線視線回折像(TEM)などにより測定することができる。
このアモルファス相とは原子の配列が完全にランダムで周期性の無い構造をいう。
また、多結晶構造とは結晶能方位がランダムで特定の方位にそろっていない構造をいう。
本発明においては、原料粒子を機械的にナノメーターオーダーまで破砕し、これを再度、基板上に堆積、再結合させることで、上記のようなアモルファス相の含有体積分率と多結晶構造の平均結晶粒径を得ることができる。
ここで「アンカー層」とは、堆積された膜と基板との界面に形成される凹凸層のことを意味する。アンカー層は粒子が高速で基板に衝突することによる機械的な作用機構により形成される。アンカー層の厚さは100nm以下であり、50nm以下が好ましく、20nm以下がさらに好ましい。
ここで、「超微粒子薄膜」とは粒子径が100nm以下のものが堆積して形成された膜を意味する。
また、本発明において、原料の脆性材料粒子は脆性が必要であり、ここで「脆性」とは物質に機械的な応力が加わったときに細かい破片に分かれる性質を意味し、好ましくは材料粒子が粉砕によって生成する粉末粒子に、結晶面がずれて粒子表面に現れる活性な新生面を粒子の表面積の30%以上形成するものである。
図1は本発明の脆性材料膜構造体の形成に用いられる超微粒子薄膜形成装置の構成説明図である。超微粒子薄膜形成装置1は成膜チャンバー2を有する。成膜チャンバー2にはノズル3が取り付けられ、また真空配管4及び真空ポンプ5が接続している。ノズル3は成膜チャンバー2の外に設置されるエアロゾル発生装置6に接続している。真空配管4及び真空ポンプ5は成膜チャンバー2内を減圧する。成膜チャンバー2内にはフレーム7に反射体8及び基板11が取り付けられている。反射体8及び基板11はフレーム7に対して固定または位置が可変である。
原料粒子に典型的な誘電体、強誘電体材料であるチタン酸バリウム(BTO)微粉末を用いて、反射成膜法を行い、電気特性を評価した。反射体の材質は、実施例1と同様に、チタン酸バリウム焼結体を用い、反射体−基板間距離も2cm〜5cm以上に設定した。基板材料は、表面粗さ(Ra)50〜90nmのステンレス基板、表面粗さ(Ra)5nm以下の銅基板、ガラス基板を用いた。また、このときの反射粒子の基板衝突速度は、実施例1と同様にノズルからのガス噴射速度や原料粒子径を基にしたシミュレーションにより、約150m/sec以下であることが確認された。
図9は、本発明による反射成膜法で圧電材料あるいは強誘電体材料であるチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)をステンレス基板上に常温成膜し、500℃、5min大気中で熱処理した膜の分極特性と、このとき同時に反射体としてSUS基板を用い、従来のエアロゾルデポジション法として形成された同一厚み(3μm)同一熱処理条件でのPZT膜の分極特性とを比較したグラフである。間隔の狭い点線は本発明による反射成膜法によるものであり、間隔の広い破線は従来のエアロゾルデポジション法によるものである。本発明による反射成膜法では、残留分極値(Pr)や誘電率(ε)が増加し、大幅に特性改善されることがわかる。これは、従来のエアロゾルデポジション法による直接成膜の場合に見られる噴射粒子によるマルチインパクト効果(多重衝突効果)による膜への歪、欠陥、応力などの導入効果が低減されたためと考えられる。
2 成膜チャンバー
3 ノズル
4 真空配管
5 真空ポンプ
6 エアロゾル発生装置
7 フレーム
8 反射体
11 基板
12 反射面
13 搬送管
21 衝突前の超微粒子
22 衝突後の超微粒子
Claims (8)
- 超微粒子の表面積の30%以上の新生表面を持つ活性化された粒径100nm以下の超微粒子を基板上に堆積させた超微粒子薄膜を備える脆性材料膜構造体であり、
前記超微粒子薄膜は、アモルファス相の含有体積分率が5%以上から30%以下で、平均結晶粒子径が50nm以下の粒子からなり、かつ相対密度が90%以上である多結晶薄膜を備え、前記基板と前記多結晶薄膜との間に形成されるアンカー層を備え、
ここで、該アンカー層の厚みは、前記表面積の30%以上の新生表面を持つ粒径100nm以下の活性化された超微粒子を基板上に設けることにより100nm以下に抑えられ、かつ前記基板との密着力が10MP以上あることを特徴とする脆性材料膜構造体。 - 前記基板の表面粗さ(Ra)が50nm以上90nm以下の場合、前記超微粒子薄膜の表面粗さ(Ra)は、前記基板の表面粗さと等しいことを特徴とする請求項1記載の脆性材料薄膜構造体。
- 前記基板の表面粗さ(Ra)が3nm以下の場合、前記超微粒子薄膜の表面粗さ(Ra)は、20nm以下であることを特徴とする請求項1記載の脆性材料薄膜構造体。
- 前記脆性材料膜構造体は、厚さが1μm以下であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の脆性材料膜構造体。
- 前記超微粒子薄膜は、成膜の起こらない硬度の反射面に前記超微粒子を吹き付け、この時に生じる該超微粒子の機械的粉砕効果を用いて形成されることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の脆性材料薄膜構造体。
- 請求項2から5のいずれか1項に記載の脆性材料膜構造体からなる強誘電体。
- 請求項2から5のいずれか1項に記載の脆性材料膜構造体からなる圧電素子。
- 請求項2から5のいずれか1項に記載の脆性材料膜構造体からなる光学素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007136046A JP5392737B2 (ja) | 2007-05-22 | 2007-05-22 | 脆性材料膜構造体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007136046A JP5392737B2 (ja) | 2007-05-22 | 2007-05-22 | 脆性材料膜構造体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008291291A JP2008291291A (ja) | 2008-12-04 |
JP5392737B2 true JP5392737B2 (ja) | 2014-01-22 |
Family
ID=40166329
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007136046A Active JP5392737B2 (ja) | 2007-05-22 | 2007-05-22 | 脆性材料膜構造体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5392737B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190052767A (ko) * | 2017-11-09 | 2019-05-17 | 한국기계연구원 | 질화물 후막 및 그 제조 방법 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5712474B2 (ja) * | 2009-09-02 | 2015-05-07 | 富士通株式会社 | エアロゾルデポジション装置及びエアロゾルデポジション方法 |
JP2011129746A (ja) * | 2009-12-18 | 2011-06-30 | Nec Tokin Corp | 圧電膜型アクチュエータおよびその製造方法 |
JP5617291B2 (ja) * | 2010-03-19 | 2014-11-05 | 富士通株式会社 | エアロゾルデポジション装置及びエアロゾルデポジション方法 |
JP5578609B2 (ja) * | 2010-03-31 | 2014-08-27 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 高強度複合ナノシート膜、それを用いた透明超撥水性膜及びその製造方法 |
JP6661269B2 (ja) * | 2015-01-14 | 2020-03-11 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | コーティング膜を備える構造体およびその製造方法 |
KR102473123B1 (ko) * | 2017-07-26 | 2022-12-01 | 고쿠리츠겐큐가이하츠호진 산교기쥬츠소고겐큐쇼 | 구조체, 그 적층체, 그 제조 방법 및 제조 장치 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3084286B2 (ja) * | 1990-11-22 | 2000-09-04 | 真空冶金株式会社 | セラミツクス誘電体厚膜コンデンサ、その製造方法および製造装置 |
JP3558970B2 (ja) * | 2000-08-04 | 2004-08-25 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 超微粒子薄膜形成方法及び装置 |
JP2003277949A (ja) * | 2000-10-23 | 2003-10-02 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 複合構造物およびその作製方法並びに作製装置 |
JP2003321780A (ja) * | 2002-04-26 | 2003-11-14 | Hitachi Metals Ltd | 超微粒子の成膜方法、圧電式アクチュエータおよび液体吐出ヘッド |
JP3773475B2 (ja) * | 2002-09-06 | 2006-05-10 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置 |
JP4538609B2 (ja) * | 2003-09-26 | 2010-09-08 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | セラミックス膜構造体とその形成方法及び装置 |
JP4094521B2 (ja) * | 2003-10-17 | 2008-06-04 | 富士フイルム株式会社 | 構造物の製造方法 |
JP2006131992A (ja) * | 2004-10-04 | 2006-05-25 | Sumitomo Electric Ind Ltd | セラミックス膜およびその製造方法、セラミックス複合膜およびその製造方法ならびに切削工具 |
JP2006253631A (ja) * | 2005-02-14 | 2006-09-21 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及びその製造方法、キャパシタ構造体及びその製造方法 |
WO2007043491A1 (ja) * | 2005-10-03 | 2007-04-19 | Nec Corporation | 半導体記憶装置およびその製造方法 |
-
2007
- 2007-05-22 JP JP2007136046A patent/JP5392737B2/ja active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190052767A (ko) * | 2017-11-09 | 2019-05-17 | 한국기계연구원 | 질화물 후막 및 그 제조 방법 |
KR102121736B1 (ko) * | 2017-11-09 | 2020-06-12 | 한국기계연구원 | 질화물 후막 및 그 제조 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008291291A (ja) | 2008-12-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5392737B2 (ja) | 脆性材料膜構造体 | |
KR100767395B1 (ko) | 복합 구조물 | |
Iwasawa et al. | Plasma‐resistant dense yttrium oxide film prepared by aerosol deposition process | |
Lee et al. | Growth process of α‐Al2O3 ceramic films on metal substrates fabricated at room temperature by aerosol deposition | |
JP4949668B2 (ja) | セラミックス膜の製造方法及びセラミックス膜を含む構造物 | |
US9099375B2 (en) | Diamond and diamond composite material | |
Yao et al. | Effects of starting powder and thermal treatment on the aerosol deposited BaTiO 3 thin films toward less leakage currents | |
KR20110118939A (ko) | 내플라즈마 결정질 세라믹 코팅막 및 그 제조방법 | |
JP2008073825A (ja) | Cmpコンディショナおよびその製造方法 | |
JP2007023379A (ja) | 成膜方法及び構造物 | |
KR20080044335A (ko) | 복합구조물 | |
Kim et al. | Relation between electrical properties of aerosol-deposited BaTiO 3 thin films and their mechanical hardness measured by nano-indentation | |
Naoe et al. | Effect of process for producing Al2O3 particles on deposition efficiency in aerosol deposition method | |
Akedo et al. | Aerosol deposition method (ADM) for nano-crystal ceramics coating without firing | |
Imran et al. | Influence of metal electrodes on c‐axis orientation of AlN thin films deposited by DC magnetron sputtering | |
JP5057457B2 (ja) | 磁気光学材料及びその製造方法 | |
JP2003183848A (ja) | 複合構造物およびその製造方法 | |
Matsubayashi et al. | Relationship between dielectric strength and mechanical properties of alumina films fabricated by aerosol deposition | |
KR102473123B1 (ko) | 구조체, 그 적층체, 그 제조 방법 및 제조 장치 | |
KR102209860B1 (ko) | 디스플레이 패널 제조에 사용되는 플라즈마 처리장치용 내부부품의 표면처리방법 | |
Sato et al. | Fabrication of Al2O3 films using aerosol deposition method and their characterization | |
Aita et al. | Microstructures of SiO2 and TiOX films deposited by atmospheric pressure inductively coupled micro-plasma jet | |
Lebedev et al. | NiZnCu ferrite thick film with nano scale crystallites formed by the aerosol deposition method | |
Akedo et al. | Aerosol deposition for nanocomposite material synthesis:—a novel method of ceramics processing without firing | |
JP3558970B2 (ja) | 超微粒子薄膜形成方法及び装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090319 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111122 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120123 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120703 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120903 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130115 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130318 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131001 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131009 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5392737 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |