JP2012152890A5 - - Google Patents

Claims (19)

1. 微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）センサにおいて、
   基板と、
   前記基板の１つの表面の上に離間して配置された可動要素であって、該可動要素の第１の端部と第２の端部との間に位置する回転軸に対して運動することができる可動要素と、
   前記基板の前記表面上に形成されたサスペンションアンカであって、該サスペンションアンカの中心が前記回転軸に位置する、サスペンションアンカと、
   前記可動要素と前記サスペンションアンカとを相互に接続する第１のジグザグ形のねじりばねであって、前記サスペンションアンカに接続された第１の端部を有する、第１のジグザグ形のねじりばねと、
   前記可動要素と前記サスペンションアンカとを相互に接続する第２のジグザグ形のねじりばねであって、前記サスペンションアンカに接続された第２の端部を有する、第２のジグザグ形のねじりばねとを備え、
   前記第１のジグザグ形のねじりばねおよび前記第２のジグザグ形のねじりばねは実質的に同一の形状を有し、前記第２のジグザグ形のねじりばねは、前記サスペンションアンカの中心を回転中心として前記第１のジグザグ形のねじりばねに対しほぼ回転対称となるように配向されており、
   前記第１のジグザグ形のねじりばねの前記第１の端部および前記第２のジグザグ形のねじりばねの前記第２の端部は、それぞれ前記回転軸の両側に前記回転軸からほぼ等しい距離だけ離間して配置されている、ＭＥＭＳセンサ。
2. 前記第２のジグザグ形のねじりばねは、前記第１のジグザグ形のねじりばねに対して約１８０度だけ前記サスペンションアンカの中心の周りに回転された方向に配向される、請求項１に記載のＭＥＭＳセンサ。
3. 前記第１のジグザグ形のねじりばねおよび前記第２のジグザグ形のねじりばねの各々は、前記回転軸に対しほぼ平行に配置されている、請求項１に記載のＭＥＭＳセンサ。
4. 前記第１のジグザグ形のねじりばねおよび前記第２のジグザグ形のねじりばねの各々は、前記回転軸に対しほぼ平行に整合して配置された複数のセグメントを含み、該セグメントは棒部材によって屈曲して連結される、請求項１に記載のＭＥＭＳセンサ。
5. 前記棒部材の各々は第１の長さを有し、前記セグメントは第２の長さを有し、第１の長さは第２の長さより小さい、請求項４に記載のＭＥＭＳセンサ。
6. 前記第１のジグザグ形のねじりばねおよび前記第２のジグザグ形のねじりばねは各々前記セグメントのうちの少なくとも３つのセグメントを含む、請求項４に記載のＭＥＭＳセンサ。
7. 前記可動要素は前記可動要素を通じて延びている開口部を備え、該開口部は前記可動要素の内縁部によって画定されており、
   前記サスペンションアンカは前記開口部の中心に配置されており、
   前記第１のジグザグ形のねじりばねの第１の端部は、前記サスペンションアンカの第１の側に接続されており、
   前記第２のジグザグ形のねじりばねの第２の端部は、前記サスペンションアンカの第１の側に対向する第２の側に接続されており、
   前記第１のジグザグ形のねじりばねは、前記可動要素の前記内縁部に接続された第３の端部を有し、
   前記第２のジグザグ形のねじりばねは、前記可動要素の前記内縁部に接続された第４の端部を有する、請求項１に記載のＭＥＭＳセンサ。
8. 前記ＭＥＭＳセンサは、基板上であって前記可動要素の下に配置された感知要素を含み、該感知要素は、前記基板の１つの平面に対し垂直な軸に沿って前記回転軸の周りの第１の位置から第２の位置までの前記可動要素の移動を検出するべく適合されている、請求項１に記載のＭＥＭＳセンサ。
9. 微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）センサを備えるデバイスであって、
   前記ＭＥＭＳセンサは、
   基板と、
   前記基板の１つの表面の上に離間して配置された可動要素であって、該可動要素の第１の端部と第２の端部との間に位置する回転軸に対して運動することができる可動要素と、
   前記基板の前記表面上に形成されたサスペンションアンカであって、前記回転軸に位置する中心を有するサスペンションアンカと、
   前記可動要素と前記サスペンションアンカとを相互に接続する第１のジグザグ形のねじりばねであって、前記サスペンションアンカに接続された第１の端部を有する、第１のジグザグ形のねじりばねと、
   前記可動要素と前記サスペンションアンカとを相互に接続する第２のジグザグ形のねじりばねであって、前記サスペンションアンカに接続された第２の端部を有する、第２のジグザグ形のねじりばねとを備え、
   前記第１のジグザグ形のねじりばねおよび前記第２のジグザグ形のねじりばねは実質的に同一の形状を有し、前記第２のジグザグ形のねじりばねは、前記サスペンションアンカの中心を回転中心として前記第１のジグザグ形のねじりばねに対しほぼ回転対称となるように配向されており、
   前記第１のジグザグ形のねじりばねの前記第１の端部および前記第２のジグザグ形のねじりばねの前記第２の端部は、それぞれ前記回転軸の両側に前記回転軸からほぼ等しい距離だけ離間して配置されており、
   前記第１のジグザグ形のねじりばねおよび前記第２のジグザグ形のねじりばねの各々は、前記回転軸に対しほぼ平行に整合して配置された複数のセグメントを含み、該セグメントは棒部材によって屈曲して連結される、デバイス。
10. 前記第２のジグザグ形のねじりばねは、前記第１のジグザグ形のねじりばねに対して約１８０度だけ前記サスペンションアンカの中心の周りに回転された方向に配向される、請求項９に記載のデバイス。
11. 前記棒部材の各々は第１の長さを有し、前記セグメントは第２の長さを有し、第１の長さは第２の長さより小さい、請求項９に記載のデバイス。
12. 前記第１のジグザグ形のねじりばねおよび前記第２のジグザグ形のねじりばねは各々前記セグメントのうちの少なくとも３つのセグメントを含む、請求項９に記載のデバイス。
13. 前記可動要素は前記可動要素を通じて延びている開口部を備え、該開口部は前記可動要素の内縁部によって画定されており、
    前記サスペンションアンカは前記開口部の中心に配置されており、
    前記第１のジグザグ形のねじりばねの第１の端部は、前記サスペンションアンカの第１の側に接続されており、
    前記第２のジグザグ形のねじりばねの第２の端部は、前記サスペンションアンカの第１の側に対向する第２の側に接続されており、
    前記第１のジグザグ形のねじりばねは、前記可動要素の前記内縁部に接続された第３の端部を有し、
    前記第２のジグザグ形のねじりばねは、前記可動要素の前記内縁部に接続された第４の端部を有する、請求項９に記載のデバイス。
14. 前記ＭＥＭＳセンサは、基板上であって前記可動要素の下に配置された感知要素を含み、該感知要素は、前記基板の１つの平面に対し垂直な軸に沿って前記回転軸の周りの第１の位置から第２の位置までの前記可動要素の移動を検出するべく適合されている、請求項９に記載のデバイス。
15. 微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）センサであって、
    基板と、
    基板の１つの表面の上に離間して配置された可動要素であって、該可動要素を通じて延びている開口部を備え、該開口部は可動要素の内縁部によって画定されており、該可動要素は、該可動要素の第１の端部と第２の端部との間に位置する回転軸に対して運動することができる可動要素と、
    基板の前記表面上に形成されたサスペンションアンカであって、前記開口部の中心に配置されているサスペンションアンカと、
    可動要素とサスペンションアンカとを相互に接続する第１のジグザグ形のねじりばねであって、前記回転軸に対しほぼ平行に配置されており、サスペンションアンカの第１の側に接続された第１の端部と、可動要素の内縁部に接続された第２の端部とを有する第１のジグザグ形のねじりばねと、
    可動要素とサスペンションアンカとを相互に接続する第２のジグザグ形のねじりばねであって、前記回転軸に対しほぼ平行に配置されており、サスペンションアンカの第１の側に対向する第２の側に接続された第３の端部と、可動要素の内縁部に接続された第４の端部とを有する第２のジグザグ形のねじりばねと、を備え、第１および第２のジグザグ形のねじりばねは実質的に同一の形状を有し、第２のジグザグ形のねじりばねは、サスペンションアンカの中心を回転中心として第１のジグザグ形のねじりばねに対しほぼ回転対称となるように配向されており、
    前記第１のジグザグ形のねじりばねの前記第１の端部および前記第２のジグザグ形のねじりばねの前記第３の端部は、それぞれ前記回転軸の両側に前記回転軸からほぼ等しい距離だけ離間して配置されている、ＭＥＭＳセンサ。
16. 前記第２のジグザグ形のねじりばねは、前記第１のジグザグ形のねじりばねに対して約１８０度だけ前記サスペンションアンカの中心の周りに回転された方向に配向される、請求項１５に記載のＭＥＭＳセンサ。
17. 前記サスペンションアンカの中心は前記回転軸に位置している、請求項１５に記載のＭＥＭＳセンサ。
18. 前記第１のジグザグ形のねじりばねおよび前記第２のジグザグ形のねじりばねの各々は、前記回転軸に対し平行に整合して配置された少なくとも３つのセグメントを含み、該セグメントは棒部材によって屈曲して連結されており、該棒部材の各々は第１の長さを有し、前記セグメントは第２の長さを有し、第１の長さは第２の長さより小さい、請求項１５に記載のＭＥＭＳセンサ。
19. 前記ＭＥＭＳセンサは、基板上であって前記可動要素の下に配置された感知要素を含み、該感知要素は、前記基板の１つの平面に対し垂直な軸に沿って前記回転軸の周りの第１の位置から第２の位置までの前記可動要素の移動を検出するべく適合されている、請求項１５に記載のＭＥＭＳセンサ。