JP2013061338A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 基板と、第１方向に沿って振動するように構成された３つの質量体とを備え、
   第１質量体は、基板に機械的に連結され、
   第２質量体は、第１質量体及び基板に機械的に連結され、
   第３質量体は、第２質量体に機械的に連結され、
   次の関係、
   ［（ｋ２＋ｋ１２＋ｋ２３）／ｍ２］≫（［（ｋ１＋ｋ１２）／ｍ１］〜［（ｋ２３）／ｍ３］）
   が存在し、
   ｍ１、ｍ２、ｍ３は、それぞれ第１質量体、第２質量体及び第３質量体の重さであり、
   ｋ１、ｋ２及びｋ３は、それぞれ第１質量体、第２質量体又は第２質量体と基板との間の機械的接続部のばね定数であり、
   ｋ１２、ｋ２３は、それぞれ第２質量体と第１質量体又は第３質量体との間の機械的接続部のばね定数であるようにした、マイクロマシニングによるジャイロスコープ。
2. 第３質量体は、基板に機械的に連結され、
   次の関係、
   ［（ｋ２＋ｋ１２＋ｋ２３）／ｍ２］≫［（ｋ１＋ｋ１２）／ｍ１］〜［（ｋ３＋ｋ２３）／ｍ３］
   が存在し、
   ｍ１、ｍ２、ｍ３は、それぞれ第１質量体、第２質量体及び第３質量体の重さであり、
   ｋ１、ｋ２及びｋ３は、それぞれ第１質量体、第２質量体又は第２質量体と基板との間の機械的接続部のばね定数であり、
   ｋ１２、ｋ２３は、それぞれ第２質量体と第１質量体又は第３質量体との間の機械的接続部のばね定数であるようにした、請求項１に記載のマイクロマシニングによるジャイロスコープ。
3. ３つの質量体は駆動質量体であり、
   第１質量体を駆動するための駆動手段をさらに備えた、請求項１又は２に記載のマイクロマシニングによるジャイロスコープ。
4. 駆動手段は、平行板静電アクチュエータである、請求項３に記載のマイクロマシニングによるジャイロスコープ。
5. ３つの質量体は、ジャイロスコープを回転させるときに運動するように構成された検出質量体である、請求項１〜４のいずれか１項に記載のマイクロマシニングによるジャイロスコープ。
6. 前記３つの質量体の複製組であって、第１方向に沿って、かつ、前記３つの質量体と逆位相で振動するように構成された複製組をさらに備えた、請求項１〜５のいずれか１項に記載のマイクロマシニングによるジャイロスコープ。
7. ３つの質量体は、直線的に振動するように構成された、請求項１〜６のいずれか１項に記載のマイクロマシニングによるジャイロスコープ。
8. 第１質量体、第１質量体と基板との間のばね定数、第３質量体、及び、第３質量体と基板との間のばね定数を、
   ［（ｋ１＋ｋ１２）／ｍ１］〜［（ｋ３＋ｋ２３）／ｍ３］
   を満たすように選択する工程と、
   第２質量体、及び、第２質量体と基板との間のばね定数を、動作中に、
   ［（ｋ２＋ｋ１２＋ｋ２３）／ｍ２］≫［（ｋ１＋ｋ１２）／ｍ１］＞［（ｋ３＋ｋ２３）／ｍ３］
   を満たすように選択する工程とを含み、
   ｍ１、ｍ２、ｍ３は、それぞれ第１質量体、第２質量体及び第３質量体の重さであり、
   ｋ１、ｋ２及びｋ３は、それぞれ第１質量体、第２質量体又は第２質量体と基板との間の機械的接続部のばね定数であり、
   ｋ１２、ｋ２３は、それぞれ第２質量体と第１質量体又は第３質量体との間の機械的接続部のばね定数であるようにした、請求項１〜７のいずれか１項に記載のマイクロマシニングによるジャイロスコープを設計するための方法。
9. 第１質量体の運動と第３質量体の運動との間の機械的増幅率を選択する工程と、
   第２質量体と基板との間のばね定数を、前記機械的増幅率を考慮した値とする工程とをさらに含む、請求項８に記載の方法。