JP2012149910A - 電子プローブマイクロアナライザにおけるデータ処理方法及び電子プローブマイクロアナライザ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 EPMAを用いて試料の同一領域について異なるタイミングでそれぞれX線像のデータを取得して記憶する場合において、各タイミングで前記領域について2次電子又は反射電子検出に基づく電子像データを併せて取得して記憶し、異なるタイミングで取得した電子像データを比較して位置ずれ量を算出し、算出した位置ずれ量に基づき、前記異なるタイミングで得た各X線像データに対して、各X線像データに共通して存在する領域を切り出す処理を施すことを特徴とする。
【選択図】図3
Description
5:2次電子検出器、6:2次電子信号処理回路、7:WDS、8:分光器
9:X線検出器、10:分光器制御部、11:X線信号処理回路、12:制御回路
13:データメモリ、14:データ処理手段、15:表示部、16:コンピュータ
Claims (4)
- EPMAを用いて試料の同一領域について異なるタイミングでそれぞれX線像のデータを取得して記憶する場合において、各タイミングで前記領域についての2次電子又は反射電子検出に基づく電子像データを併せて取得して記憶し、異なるタイミングで取得した電子像データを比較して位置ずれ量を算出し、算出した位置ずれ量に基づき、前記異なるタイミングで得た各X線像データに対して、各X線像データに共通して存在する領域を切り出す処理を施すことを特徴とするEPMAにおけるX線像データ処理方法。
- 前記異なるタイミングで取得した電子像データからの位置ずれ量の算出は、フーリエ変換により行なうことを特徴とする請求項1記載のEPMAにおけるX線像データ処理方法。
- 前記各X線像データに共通して存在する領域を切り出す処理を施した後の各X線データに基づき、散布図を求めるようにした請求項1又は2記載のEPMAにおけるX線像データ処理方法。
- 試料の同一領域について異なるタイミングでX線像のデータを取得して記憶するEPMAにおいて、各タイミングで前記同一領域についての2次電子又は反射電子検出に基づく電子像データを併せて取得して記憶する手段と、異なるタイミングで取得した電子像データを比較して位置ずれ量を算出する算出手段と、算出した位置ずれ量に基づき、前記異なるタイミングで得た各X線像データに対して、各X線データに共通して存在する領域を切り出す処理を施すデータ処理手段を備えたことを特徴とするEPMA。
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