JP2012148944A - 半導体基板及びその製造方法 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 103
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 27
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 16
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 46
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 claims abstract description 42
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 27
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims abstract description 11
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N argon Substances [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- -1 argon ions Chemical class 0.000 claims abstract description 9
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 71
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims description 7
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 40
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 39
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 39
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 12
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 9
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 8
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 8
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 description 7
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 6
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 5
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 4
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 150000003376 silicon Chemical class 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000000927 vapour-phase epitaxy Methods 0.000 description 1
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
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Abstract
【解決手段】半導体基板10は、単結晶シリコン基板11と、前記単結晶シリコン基板11の最表面を除く表層領域に形成された転位層12と、前記単結晶シリコン基板11の前記最表面に形成されたバッファ層13と、前記バッファ層13の表面に形成された窒化ガリウム層14とを備えている。転位層12は、窒化ガリウム層14が形成された単結晶シリコン基板14の表層領域に転位が発生し且つ単結晶シリコン基板11の最表面には転位が発生しない条件下でイオン注入することにより形成される。イオン注入では、ドーズ量が5E+14atoms/cm2以上5E+17atoms/cm2以下のアルゴンイオンを注入する。
【選択図】図1
Description
直径150mm、面方位(111)、厚み625μm、初期酸素濃度が1.5×1018atoms/cm3、比抵抗が10〜20Ω・cmに調整されたボロンドープのCZウェーハを用意した。
実施例1と同条件でイオン注入されたCZウェーハをMOCVD炉内に搭載し、950℃の温度にてAlN膜を成長させた後、Ga濃度を20%、50%、80%と順次高濃度にしたAlGaN膜を成長させ、これによりバッファ層13を形成した。そして引き続き、1100℃の温度にてGaN膜を2μm成長させて、半導体ウェーハのサンプル#1を得た。こうして得られたウェーハサンプル#1の表面を光学顕微鏡にて観察し、クラックの測定を行った結果、外周部の全周にクラックが発生していたが、その長さは0.5mm以下であった。また、ウェーハの反りを測定した結果、ウェーハの反りは25μm以下であった。さらに、ウェーハ表面の転位密度を測定したところ、転位密度は約1E+9/cm2であることが分かった。
実施例1と同一特性を有するCZウェーハを用意し、加速エネルギー75KeV、ドーズ量1E+15/cm2のボロンイオンを注入した。その後、実施例2と同一条件下でバッファ層13及びGaN膜14を形成し、半導体ウェーハのサンプル#2を得た。その後、得られたウェーハサンプル#2に対して、実施例2と同様の評価を行った。その結果、サンプル#2の外周部に発生したクラックの長さは0.5mm以下であった。また、ウェーハの反りは25μm以下であった。
実施例1と同一特性を有するCZウェーハを用意し、このウェーハにアルゴンイオンを注入することなく、バッファ層13及びGaN膜14の成膜のみを行った。すなわち、ウェーハをMOCVD炉内に搭載後、950℃の温度にてAlN膜を形成した後に20%Ga濃度のAlGaN膜を形成し、順次50%、80%と高濃度のAlGaN膜を成長させた。引き続きGaN膜を1100℃にて2μm成長させて、半導体ウェーハのサンプル#3を得た。その後、得られたウェーハサンプル#3に対して、実施例2と同様の評価を行った。その結果、外周部の全周に長さ1〜2mmのクラックが発生していた。また、ウェーハの反りを測定した結果、ウェーハの反りは45μmであった。このときのシリコンウェーハ表面の転位密度は約5E+9/cm2であった。
実施例1と同一特性を有するCZウェーハを用意し、加速エネルギー50KeV、ドーズ量1E+15/cm2のアルゴンイオンを注入した。その後、実施例1と同一条件下でバッファ層13及びGaN膜14を形成し、半導体ウェーハのサンプル#4を得た。その後、得られたウェーハサンプル#4に対して、実施例2と同様の評価を行った。その結果、サンプル#4の外周部に発生したクラックの長さは0.5mm以下であった。また、ウェーハの反りは25μm以下であった。このときのシリコンウェーハ表面の転位密度はサンプル#3と同じく約5E+9/cm2であった。
11 単結晶シリコン基板
11s 単結晶シリコン基板の最表面
12 転位層
13 バッファ層
14 窒化ガリウム(GaN)膜
Claims (5)
- 単結晶シリコン基板と、前記単結晶シリコン基板の最表面を除く表層領域に形成された転位層と、前記単結晶シリコン基板の前記最表面に形成されたバッファ層と、前記バッファ層の表面に形成された窒化ガリウム膜とを備えることを特徴とする半導体基板。
- 前記転位層は、前記単結晶シリコン基板の前記最表面から深さ0.5μm以下の領域に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体基板。
- 単結晶シリコン基板の最表面を除く表層領域に転位層を形成する工程と、前記転位層が形成された前記単結晶シリコン基板の前記最表面にバッファ層を形成する工程と、前記バッファ層の表面に窒化ガリウム膜を形成する工程とを備えることを特徴とする半導体基板の製造方法。
- 前記転位層を形成する工程は、前記単結晶シリコン基板の前記最表面に転位が発生しない条件下でイオン注入する工程を含むことを特徴とする請求項3に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記イオン注入する工程は、ドーズ量が5E+14atoms/cm2以上5E+17atoms/cm2以下のアルゴンイオンを注入する工程を含むことを特徴とする請求項4に記載の半導体基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011010706A JP5672021B2 (ja) | 2011-01-21 | 2011-01-21 | 半導体基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011010706A JP5672021B2 (ja) | 2011-01-21 | 2011-01-21 | 半導体基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012148944A true JP2012148944A (ja) | 2012-08-09 |
JP5672021B2 JP5672021B2 (ja) | 2015-02-18 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011010706A Active JP5672021B2 (ja) | 2011-01-21 | 2011-01-21 | 半導体基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5672021B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016199424A (ja) * | 2015-04-09 | 2016-12-01 | シャープ株式会社 | 窒化物半導体エピタキシャルウェハおよびその製造方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2699606C1 (ru) * | 2016-11-28 | 2019-09-06 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского" | Способ ионно-лучевого синтеза нитрида галлия в кремнии |
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-
2011
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