JP2012144661A - アンダーフィル材及び半導体装置 - Google Patents
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Abstract
本発明は、低粘度であり狭ピッチや狭ギャップへの浸入性がよいアンダーフィル材であって、低吸湿であり、かつシリコンチップやパッシベーション膜材料に対する高い接着性を有する硬化物を提供するアンダーフィル材及び該アンダーフィル材の硬化物で封止された半導体装置を提供する事を目的とする。
【解決手段】
(A)(A−1)1分子中に2つ以上のエポキシ基を有する液状エポキシ樹脂及び/又はエポキシ化合物 50〜99質量部、及び(A−2)ビフェニル構造を有する単官能エポキシ化合物 1〜50質量部(但し、(A−1)と(A−2)の合計は100質量部である)
(B)アミン系硬化剤 (B)成分中のアミノ基のモル量に対する(A)成分中のエポキシ基のモル量が0.7〜1.2となる量、
(C)無機充填剤 (A)成分と(B)成分の合計100質量部に対し50〜300質量部、及び
(D)ポリオルガノシルセスキオキサン樹脂を被覆してなるシリコーン微粒子 (A)成分と(B)成分の合計100質量部に対し1〜15質量部
を含有するアンダーフィル材。
【選択図】なし
Description
(A)(A−1)1分子中に2つ以上のエポキシ基を有する液状エポキシ樹脂及び/又はエポキシ化合物 50〜99質量部、及び(A−2)ビフェニル構造を有する単官能エポキシ化合物 1〜50質量部(但し、(A−1)と(A−2)の合計は100質量部である)
(B)アミン系硬化剤 (B)成分中のアミノ基のモル量に対する(A)成分中のエポキシ基のモル量が0.7〜1.2となる量、
(C)無機充填剤 (A)成分と(B)成分の合計100質量部に対し50〜300質量部、及び
(D)ポリオルガノシルセスキオキサン樹脂を被覆してなるシリコーン微粒子 (A)成分と(B)成分の合計100質量部に対し1〜15質量部
を含有するアンダーフィル材及び該アンダーフィル材の硬化物を備えた半導体装置を提供する。
本願発明の(A)成分は(A−1)1分子中に2つ以上のエポキシ基を有する液状エポキシ樹脂及び/またはエポキシ化合物と(A−2)ビフェニル構造を有する単官能エポキシ化合物からなる。以下、各成分について説明する。
液状エポキシ樹脂は、それ自体が室温(25℃)で液状のものであれば、分子構造、分子量等は特に限定されず、公知の液状エポキシ樹脂を全て用いることができる。該液状エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂;脂環式エポキシ樹脂;フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂;トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、トリフェノールプロパン型エポキシ樹脂等のトリフェノールアルカン型エポキシ樹脂;フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、シクロペンタジエン型エポキシ樹脂等が挙げられる。
本発明のアンダーフィル材はビフェニル構造を有する単官能エポキシ化合物を含有することを特徴とする。ビフェニル構造を有する単官能エポキシ化合物はアンダーフィル材を低粘度化する。ビフェニル構造を有する単官能エポキシ化合物を含有することによりアンダーフィル材の粘度を0.25〜0.85倍に、特には0.3〜0.6倍にすることができる。また、ビフェニル構造を有する単官能エポキシ化合物は、アンダーフィル材の硬化物にシリコンチップやパッシベーション膜材料に対する優れた接着性を付与する。さらにビフェニル構造を有する単官能エポキシ化合物は硬化物を低吸湿化し、かつ温度サイクル性を付与する事ができる。
エポキシ樹脂及びエポキシ化合物の硬化剤にはアンダーフィル材の低吸湿性を向上するためにアミン系硬化剤を用いる。アミン系硬化剤は特に制限されず公知の物を使用することができるが、特に、芳香族アミン系硬化剤であることが好ましい。硬化剤は1種を単独で又は2種以上を混合して使用することができる。
無機充填剤は、公知各種の無機充填剤を使用することができる。例えば、溶融シリカ、結晶シリカ、アルミナ、ボロンナイトライド、窒化アルミ、窒化ケイ素、マグネシア、マグネシウムシリケート、アルミニウム等が挙げられる。中でも真球状の溶融シリカが、組成物の粘度が低くなるので好ましい。
ポリオルガノシルセスキオキサン樹脂で被覆されたシリコーン微粒子は硬化物の応力を低減する目的で配合する。硬化物の応力を低減する目的で液体のシリコーンオイルや液体のシリコーン系化合物を添加する方法を用いるとアンダーフィル材の表面張力が低下し、真空化において発砲するためボイドが発生する。これに対し、シリコーン微粒子は真空下において発泡しないためボイドの発生を防ぐことができ、かつ温度サイクル性に優れた硬化物を提供する事ができる。
本発明のアンダーフィル材はシリコーン変性エポキシ樹脂をさらに含むことが好ましい。シリコーン変性エポキシ樹脂を含む事により、得られる硬化物の応力を緩和してクラックの発生を抑制し、半導体装置の耐熱衝撃性をより向上することができる。
本発明のアンダーフィル材には、硬化物の応力をより低減する目的でメタクリル酸メチル−ブタジエン−スチレン樹脂等の可撓性樹脂を本発明の目的を阻害しない範囲で配合することができる。また必要に応じ、硬化促進剤、シランカップリング剤、カーボンブラック等の顔料、染料、酸化防止剤等を本発明の目的を阻害しない範囲で配合することができる。
本発明の組成物は、上記(A)〜(E)成分、及び、所望により(F)その他の添加材を同時又は別々に、必要により加熱処理を加えながら攪拌、溶解、混合、分散させることで調製される。これらの操作に用いる装置は特に限定されないが、攪拌、加熱装置を備えたライカイ機、3本ロール、ボールミル、プラネタリーミキサー等を用いることができる。また、これら装置を適宜組み合わせて組成物を調製してもよい。
アンダーフィル材の調製
以下に示す各成分を表1記載の配合量で、3本ロールで均一に混練りすることによりアンダーフィル材を得た。
・ビスフェノールF型エポキシ樹脂(商品名:YDF8170、東都化成(株)製)、エポキシ当量160、粘度(25℃):12Pa・s
・下記式で示される3官能型エポキシ化合物(商品名:エピコート630H、ジャパンエポキシレジン(株)製)、エポキシ当量100、粘度(25℃):8Pa・s
・フェニルグリシジルエーテル(商品名:PEG−H、日本化薬(株)製)、エポキシ当量170、粘度(25℃):1Pa・s
・t−ブチルフェニルグリシジルエーテル(商品名:EX−146、ナガセケムテックス(株)製)、エポキシ当量226、粘度(25℃):2Pa・s
3,3’−ジエチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン(商品名:カヤハードAA、日本化薬(株)製)、アミン当量63.5
シリカA:レーザー光回折法で測定した累積頻度99%の粒径(d99)24μm、平均粒径1.5μmを有する球状シリカ((株)アドマッテクス製)をシランカップリング剤(商品名:KBM403、信越化学工業(株)製)で表面処理したもの。
KMP605−24C(平均粒径2μm、レーザー光回折法で測定した累積頻度99%の粒径(d99)24μm、信越化学工業(株)製)
・シランカップリング剤:
γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(商品名:KBM403、信越化学工業(株)製)
γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン(商品名:KBM803、信越化学工業(株)製)
・硬化促進剤:1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7(サンアプロ化成(株))
(1)粘度
各アンダーフィル材について、JIS Z8803に準じ、測定温度25℃、E型粘度計を用いて、試料をセットして2分後の粘度を測定した。
上面の直径2mm、下面の直径5mm、高さ3mmの円錐台形状のポリテトラフルオロエチレン製の型に各アンダーフィル材を注入した試験体を15個用意した。前記試験体の樹脂組成物の上にポリイミド(PI)膜コートしたシリコンチップ、Cu板、及び窒化ケイ素膜コートしたシリコンチップを夫々載せたものを5個ずつ用意し、150℃で3時間硬化させた。硬化後、ポリテトラフルオロエチレン製の型を外して得られた各試験片を一定の速度(1mm/秒)で押すことによって、剪断接着力を測定し初期値とした。更に、各試験片をプレッシャークッカーテスター(121℃/2.1atm)中で336時間保持した後、同様に接着力を測定し、各5個の試験片の平均値をPCT336hr後の接着力として表1に記載した。表1において「0」は試験片を一定の速度(1mm/秒)で押したら剥離してしまったことを示す。
アンダーフィル材を150℃、3時間加熱して硬化し、該硬化物を、常温まで冷却して、5mm×5mm×15mmの試験片を切り出して、TMA(熱機械分析装置)により5℃/分の速度で昇温した際の値を測定した。上記ガラス転移温度の測定において、20〜50℃の温度範囲でCTE−1を、200〜230℃の温度範囲でCTE−2を求めた。
30mm×30mmのFR−4基板に、ポリイミド(PI)膜コートした10mm×10mmのシリコンチップがギャップサイズ約50μmとなるように設置されたフリップチップ型半導体装置を真空下にさらし、そのギャップの一部に各アンダーフィル材をディスペンサーにより滴下し、110℃下で毛細管現象により各アンダーフィル材をギャップに浸入させた後150℃で3時間硬化させ、ボイドの有無をC−SAM(SONIX社製)で確認した。
直径50mm、厚さ3mmの型に各アンダーフィル材を注入した試験体を用意し、150℃で3時間硬化させた試験片をプレッシャークッカーテスター(121℃/2.1atm)中で336時間保持した後の吸水量を測定した。吸水率の計算は下記の式により行った。
吸水率(%)=(W2−W1)/W1×100
(W1は硬化直後の試験片質量(g)、W2は336時間保持後の試験片質量(g))
厚さ32×32×0.4mmのBT樹脂基板上に、10×10×0.6mmのシリコンチップを60μm厚のスペーサで固定し、チップとBT樹脂基板の間隙の一部にディスペンサーにより各アンダーフィル材を0.05g滴下し毛細管現象によりアンダーフィル材を浸入させた後、120℃/0.5時間+165℃/3時間の条件で硬化させ、FC―BGA半導体パッケージ(試験用半導体装置)を各10個作った。
上記方法で得られた各試験用半導体装置10個を、30℃/65%RHの条件下に192時間置いて、最高温度265℃に設定したIRリフロー炉を5回通した後、−65℃で30分、150℃で30分を1サイクルとし、250、500、750、1000、及び1250サイクル後のクラックの有無を調べ、クラックが観察されたチップの割合(%)を求めた。
Claims (9)
- (A)(A−1)1分子中に2つ以上のエポキシ基を有する液状エポキシ樹脂及び/又はエポキシ化合物 50〜99質量部、及び(A−2)ビフェニル構造を有する単官能エポキシ化合物 1〜50質量部(但し、(A−1)と(A−2)の合計は100質量部である)
(B)アミン系硬化剤 (B)成分中のアミノ基のモル量に対する(A)成分中のエポキシ基のモル量が0.7〜1.2となる量、
(C)無機充填剤 (A)成分と(B)成分の合計100質量部に対し50〜300質量部、及び
(D)ポリオルガノシルセスキオキサン樹脂を被覆してなるシリコーン微粒子 (A)成分と(B)成分の合計100質量部に対し1〜15質量部
を含有するアンダーフィル材。 - ビフェニル構造を有する単官能エポキシ化合物が25℃における粘度100mPa・s〜10Pa・sを有する請求項1に記載のアンダーフィル材。
- 無機充填剤が、平均粒径0.1〜5μmを有し、かつレーザー光回折法で測定した累積頻度99%の粒径30μm以下を有する、請求項1〜3のいずれか1項に記載のアンダーフィル材。
- ポリオルガノシルセスキオキサン樹脂を被覆してなるシリコーン微粒子が、平均粒径0.1〜10μmを有し、かつレーザー光回折法で測定した累積頻度99%の粒径30μm以下を有する、請求項1〜4のいずれか1項に記載のアンダーフィル材。
- (E)シリコーン変性エポキシ樹脂をさらに含む請求項1〜7に記載のアンダーフィル材。
- 請求項1〜8のいずれか1項に記載のアンダーフィル材の硬化物を備えた半導体装置。
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