JP2012136759A - Ito膜およびその製造方法、半導体発光素子およびその製造方法 - Google Patents
Ito膜およびその製造方法、半導体発光素子およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012136759A JP2012136759A JP2010291370A JP2010291370A JP2012136759A JP 2012136759 A JP2012136759 A JP 2012136759A JP 2010291370 A JP2010291370 A JP 2010291370A JP 2010291370 A JP2010291370 A JP 2010291370A JP 2012136759 A JP2012136759 A JP 2012136759A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ito film
- manufacturing
- film
- degrees celsius
- plane index
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】接触抵抗値を低減させて、下地膜とのオーミック接触を可能とする。
【解決手段】低抵抗の透明配線材料や透明電極材料として活用されるITO膜およびその製造方法において、ITO膜を低温度でスパッタリングして形成し、まず、非結晶体のアモルファス状態にする。次に、酸素雰囲気で熱処理(アニール処理)を行うことにより、ITO膜を結晶化すると共に、ITO膜の面指数(222)の結晶強度が面指数(400)の結晶強度よりも強くなるように結晶配向性がコントロールされる。
【選択図】図2
【解決手段】低抵抗の透明配線材料や透明電極材料として活用されるITO膜およびその製造方法において、ITO膜を低温度でスパッタリングして形成し、まず、非結晶体のアモルファス状態にする。次に、酸素雰囲気で熱処理(アニール処理)を行うことにより、ITO膜を結晶化すると共に、ITO膜の面指数(222)の結晶強度が面指数(400)の結晶強度よりも強くなるように結晶配向性がコントロールされる。
【選択図】図2
Description
本発明は、低抵抗の透明配線材料や透明電極材料として活用されるITO(酸化インジュウムまたはスズ添加酸化インジュウム)膜およびその製造方法、このITO膜を用いた例えば発光ダイオード(LED)、レーザダイオード(LD)、フォトカプラなどの半導体発光素子およびその製造方法に関する。
この種の従来の半導体発光素子としては、ITO膜が透明電極材料として用いられている。
図3は、非特許文献1に開示されている従来の成膜時のITO膜の基板温度依存性を示すX線解析パターン図である。図3では、縦軸に解析強度、横軸にX線照射入射角2θ(deg)を示している。
図3の破線部Aに示すように、基板温度が室温の場合は、ITO膜の結晶解析ピークが面指数(222)ではっきりと観測でき、面指数(400)では結晶解析ピークが出ていないが、基板温度の上昇に伴って面指数(400)の結晶解析ピークが徐々に強くなり、結晶粒は<100>優先配向に変化してゆく。
常温ITOスパッタ成膜時のITO膜は大部分は非結晶体アモルファス構造を示すが、スパッタ時の基板温度を上げることにより結晶化する。前述したように、基板温度の上昇と共に、面指数(222)および(400)の結晶解析ピークが共に現れるが、途中で結晶解析ピーク強度が逆転し、最終的には面指数(400)が主要な結晶解析ピークを示すようになる。
文献「透明電極膜の技術」オーム社;P137,木村浩、石原哲、鈴木義雄、伊藤孝(木村らによるX線解析パターンの成膜時のITO膜の基板温度依存性、図5・19)
上記従来のITO膜では、ITO膜をスパッタ成膜して形成する際に、スパッタ時の基板温度を上げることにより、結晶化されたITO膜を得ることができ、低抵抗の透明配線材料や透明電極材料として活用することができるが、結晶方位のコントロールが難しく、硬度の強い面指数(400)のITO膜の配向性しか得られず、ITO膜の結晶性の多様性に制限が生じ、接触抵抗値が上がる。
本発明は、上記従来の問題を解決するもので、接触抵抗値を低減させて、下地膜とのオーミック接触を可能とするITO膜およびその製造方法、このITO膜を用いて、光出力値を向上させることができる例えばLED素子などの半導体発光素子およびその製造方法を提供することを目的とする。
本発明のITO膜は、結晶の配向性が面指数(400)および面指数(222)の双方を有しているものであり、そのことにより上記目的が達成される。
また、好ましくは、本発明のITO膜において、X線結晶解析ピーク強度が前記面指数(400)よりも前記面指数(222)の方が強い。
本発明のITO膜の製造方法は、スパッタリング法またはEB蒸着法により成膜したITO膜を用いるものであり、そのことにより上記目的が達成される。
また、好ましくは、本発明のITO膜の製造方法におけるITO膜の成膜温度条件が室温以上摂氏50度以下とする。
さらに、好ましくは、本発明のITO膜の製造方法において、0.4Pa〜1PaのAr雰囲気で該ITO膜を成膜する。
さらに、好ましくは、本発明のITO膜の製造方法において、成膜したITO膜を0.1〜30パーセントの酸素分圧範囲内で熱処理を行う。
さらに、好ましくは、本発明のITO膜の製造方法において、熱処理後のITO膜を更に摂氏450度〜摂氏750度で熱処理を行う。
さらに、好ましくは、本発明のITO膜の製造方法における摂氏450度〜摂氏750度の熱処理雰囲気下の分圧調整にN2またはArを用いる。
さらに、好ましくは、本発明のITO膜の製造方法における摂氏350度〜摂氏750度の熱処理は真空下で行う。
本発明の半導体発光素子は、本発明の上記ITO膜を透明電極膜に用いたものであり、そのことにより上記目的が達成される。
本発明の半導体発光素子の製造方法は、本発明の上記ITO膜の製造方法を透明電極膜の製造方法に用いたものであり、そのことにより上記目的が達成される。
上記構成により、以下、本発明の作用を説明する。
本発明のITO膜においては、結晶の配向性が面指数(400)および面指数(222)の双方を有している。この場合、本発明のITO膜は、X線結晶解析ピーク強度が前記面指数(400)よりも面指数(222)の方が強い。
これによって、ITO膜を低温度でスパッタリングして形成し、まず、非結晶体のアモルファス状態にする。次に、酸素雰囲気で熱処理(アニール処理)を行うことにより、ITO膜を結晶化すると共に、ITO膜の面指数(222)の結晶強度が面指数(400)の結晶強度よりも強くなるように結晶配向性をコントロールする。その結晶配向性として、従来のものとは違い特徴ある配向を有したITO膜が得られる。ITO膜の面指数(222)が面指数(400)よりも多く含んだITO膜を得ることが可能となって、ITO膜は下地膜との接触抵抗に有用なオーミック接触となる。
このように、面指数(222)の結晶強度が面指数(400)の結晶強度よりも強いITO膜が熱処理後に得られることにより、仕上がりが酸素リッチな結晶性ITO膜となるため、トンネル効果によって下地膜との接触抵抗値およびシート抵抗値を低減させることが可能となる。結果的に、半導体発光素子としてのLEDデバイスの出力電圧値が低減されて、半導体発光素子の光出力値を向上させることが可能となる。
以上により、本発明によれば、面指数(222)の結晶強度が面指数(400)の結晶強度よりも強いITO膜が熱処理後に得られるため、接触抵抗値を低減させて、下地膜とのオーミック接触とすることができる。したがって、このITO膜が用いられた半導体発光素子としてのLEDデバイスの出力電圧値を低減させることができて、半導体発光素子の光出力値を向上させることができる。
以下に、本発明のITO膜およびその製造方法の実施形態を、LED素子などの半導体発光素子およびその製造方法に適用した場合について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各図における構成部材のそれぞれの厚みや長さなどは図面作成上の観点から、図示する構成に限定されるものではない。
図1は、本発明の実施形態における半導体発光素子の要部構成例を示す縦断面図である。
図1において、本実施形態の半導体発光素子1は、表面に凹凸が形成された厚さ約300μmの基板として例えばサファイヤ基板2の上に、窒化アルミニウム(AlN)から成る膜厚約15nmのバッファ層3が成膜され、その上にノンドープのGaNから成る膜厚約500nmのノンドープGaN層4が成膜されている。これらのサファイヤ基板2、バッファ層3およびノンドープGaN層4が単結晶性基板を構成している。
さらに、本実施形態の半導体発光素子1において、この単結晶性基板上にシリコン(Si)を1×1018/cm3ドープしたGaNからなる膜厚約5μmのn型コンタクト層5(高キャリヤ濃度n+層)が形成されている。このn型コンタクト層5上に多重層6が形成され、この多重層6上には多重量子井戸構造の発光層7が形成されている。
さらに、本実施形態の半導体発光素子1において、この発光層7上に、Mgを2×1019/cm3ドープした膜厚25nmのp型Al0.15Ga0.85Nからなるp型層である電子ブロック層8が形成され、この電子ブロック層8上に、Mgを8×1019ドープした膜厚100nmのp型GaNからなるp型コンタクト層9が形成されている。このp型コンタクト層9上には透光性薄膜電極10(ITO膜)が形成され、透光性薄膜電極10の一部上にp電極11が形成され、一方、n型コンタクト層5の端部上にはn電極12が形成されている。最上部には、SiO2膜よりなる保護膜13が形成されている。
半導体発光素子1としては、発光ダイオード(LED)、レーザダイオード(LD)、フォトカプラ、その他の任意の発光素子としてよい。結晶成長させる基板としては、サファイヤ、スピネル、Si、SiC、Z nO、MgOまたは、III族窒化物系化合物単結晶などを用いることができる。III族窒化物系化合物半導体層を結晶成長させる方法としては、分子線気相成長法(MBE)、有機金属気相成長法(MOCVD)、ハライド気相成長法(HDVPE)、液相成長法などが有効である。
ここで、透光性薄膜電極10の電極膜として用いられるITO(酸化インジュウムまたはスズ添加酸化インジュウム)膜の材質についてさらに詳細に説明する。
図2は、図1の半導体発光素子に用いられるITO膜の熱処理後の基板温度依存性を示すX線解析パターン図である。
ITO膜の結晶配向性として特徴のある配向を有したITO膜を用いる。図2の破線部Bに示すように、このITO膜は、結晶の配向性が面指数(400)および面指数(222)の双方を有している。このITO膜は、その面指数(222)が面指数(400)よりも多く含んでいる。即ち、ITO膜は、その面指数(222)の結晶強度が面指数(400)の結晶強度よりも強いITO膜である。
このITO膜の製造方法としては、まず、低温度(室温〜摂氏50度)、真空度5mtorr、Ar流量100sccm、DCPower1150W、トレイスピード179mm/minで試料(ITO膜を成膜する基板部)をスパッタリング装置に通過させながらスパッタリングしてITO膜を膜厚約320nmで成膜する。このとき、成膜されたITO膜は非結晶体のアモルファス状態である。スパッタリング装置に資料(ITO膜を成膜する基板部)を通過させるときに、始めに斜め方向からスパッタ材料をスパッタリング(DC放電/RF放電)して飛来させ、基板部上に膜の初期成長が斜め方向から入るため、低ダメージな軟らかい面指数(222)の結晶ができ易くなっている。なお、この場合のスパッタリング法に代えてEB蒸着法(電子ビーム蒸着法)によっても本発明のITO膜を成膜することができる。また、この場合のITO膜の成膜条件として、0.4Pa〜1PaのAr雰囲気のみである。
次に、酸素過多の雰囲気(O2が2パーセント)で10分間、摂氏600度の熱処理(アニール処理)を行う。これによって、下地膜とITO膜との接触抵抗値が低減される。なお、ここでは、酸素過多の雰囲気(O2が2パーセント)で1回目のアニール処理を行ったが、これに限らず、酸素O2の濃度は、成膜したITO膜を0.1〜30パーセントの酸素分圧範囲内で熱処理を行えばよい。また、ここでは、1回目のアニール処理として摂氏600度で熱処理を行ったが、これに限らず、成膜したITO膜を摂氏450度〜摂氏750度で熱処理を行ってもよい。
続いて、2回目のアニール処理として、酸素のない雰囲気で10分間、摂氏550度の熱処理(アニール処理)を行う。これによって、下地膜とITO膜とのシート抵抗値も低減される。なお、ここでは、2回目のアニール処理として摂氏550度で熱処理を行ったが、これに限らず、1回目のアニール処理後に、ITO膜を摂氏450度〜摂氏750度の温度範囲で熱処理を行ってもよい。この場合、摂氏450度〜摂氏750度の熱処理雰囲気下の分圧調整にN2またはArを用いてもよく、この摂氏450度〜摂氏750度(好ましくは摂氏350度〜摂氏750度)の熱処理は真空下で行ってもよい。
これによって、ITO膜を結晶化させると共に、ITO膜の面指数(222)の結晶強度が面指数(400)の結晶強度よりも強くなるように、結晶配向性をコントロール(結晶性の制御)することができる。面指数(222)の結晶強度が面指数(400)の結晶強度よりも強い通常とは逆の特徴配向を有したITO膜が形成される。このように、特殊な結晶方位を持ったITO膜によって、下地膜としてのp型GaNからなるp型コンタクト層9とITO膜(透光性薄膜電極10)との接触抵抗値およびシート抵抗値が低減され、しかも、ITO膜としての光透過率も良好に保つことができる。
このように、面指数(400)の100方向に揃った硬い膜と、面指数(222)の斜め方向のポーラスな軟らかい膜とが混在しているため、下地膜としてのp型GaNからなるp型コンタクト層9/透光性薄膜電極10(ITO膜)のIV曲線が直線状でオーミック接触となり、接触抵抗値およびシート抵抗値が低減される。このことは、ITO膜の成膜工程でDCPower1150W、トレイスピード179mm/minを1割上下させても、オーミック接触となり、接触抵抗値およびシート抵抗値が低減されることが試験により確認されている。
以上により、本実施形態1によれば、仕上がりが酸素リッチな結晶性ITO膜となるため、トンネル効果によって下地膜との接触抵抗値およびシート抵抗値を低減できて、下地膜とITO膜との接触抵抗に有用なオーミック接触とすることができる。したがって、このITO膜が用いられた半導体発光素子1としてのLEDデバイスの出力電圧値を低減させることができて、半導体発光素子1の光出力値を向上させることができる。
以上のように、本発明の好ましい実施形態を用いて本発明を例示してきたが、本発明は、この実施形態に限定して解釈されるべきものではない。本発明は、特許請求の範囲によってのみその範囲が解釈されるべきであることが理解される。当業者は、本発明の具体的な好ましい実施形態1〜3の記載から、本発明の記載および技術常識に基づいて等価な範囲を実施することができることが理解される。本明細書において引用した特許、特許出願および文献は、その内容自体が具体的に本明細書に記載されているのと同様にその内容が本明細書に対する参考として援用されるべきであることが理解される。
本発明は、低抵抗の透明配線材料や透明電極材料として活用されるITO膜およびその製造方法、このITO膜を用いた例えば発光ダイオード(LED)、レーザダイオード(LD)、フォトカプラなどの半導体発光素子およびその製造方法の分野において、面指数(222)の結晶強度が面指数(400)の結晶強度よりも強いITO膜が熱処理後に得られるため、接触抵抗値を低減させて、下地膜とのオーミック接触とすることができる。したがって、このITO膜が用いられた半導体発光素子としてのLEDデバイスの出力電圧値を低減させることができて、半導体発光素子の光出力値を向上させることができる。
1 半導体発光素子
2 サファイヤ基板
3 バッファ層
4 ノンドープGaN層
5 n型コンタクト層
6 多重層
7 発光層
8 電子ブロック層
9 p型コンタクト層(p型GaN)
10 透光性薄膜電極(ITO膜)
11 p電極
12 n電極
13 保護膜
2 サファイヤ基板
3 バッファ層
4 ノンドープGaN層
5 n型コンタクト層
6 多重層
7 発光層
8 電子ブロック層
9 p型コンタクト層(p型GaN)
10 透光性薄膜電極(ITO膜)
11 p電極
12 n電極
13 保護膜
Claims (11)
- 結晶の配向性が面指数(400)および面指数(222)の双方を有しているITO膜。
- 請求項1に記載のITO膜において、X線結晶解析ピーク強度が前記面指数(400)よりも前記面指数(222)の方が強いITO膜。
- 請求項2に記載のITO膜を製造する方法において、スパッタリング法またはEB蒸着法により成膜したITO膜を用いるITO膜の製造方法。
- 請求項3に記載のITO膜の製造方法において、前記ITO膜の成膜温度条件が室温以上摂氏50度以下とするITO膜の製造方法。
- 請求項3に記載のITO膜の製造方法において、0.4Pa〜1PaのAr雰囲気で該ITO膜を成膜するITO膜の製造方法。
- 請求項3に記載のITO膜の製造方法において、成膜したITO膜を0.1〜30パーセントの酸素分圧範囲内で熱処理を行うITO膜の製造方法。
- 請求項6に記載のITO膜の製造方法において、前記熱処理後のITO膜を更に摂氏450度〜摂氏750度で熱処理を行うITO膜の製造方法。
- 請求項7に記載のITO膜の製造方法において、前記摂氏450度〜摂氏750度の熱処理雰囲気下の分圧調整にN2またはArを用いるITO膜の製造方法。
- 請求項7に記載のITO膜の製造方法において、前記摂氏350度〜摂氏750度の熱処理は真空下で行うITO膜の製造方法。
- 請求項1または2に記載のITO膜を透明電極膜に用いた半導体発光素子。
- 請求項3〜9のいずれかに記載のITO膜の製造方法を透明電極膜の製造方法に用いた半導体発光素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010291370A JP2012136759A (ja) | 2010-12-27 | 2010-12-27 | Ito膜およびその製造方法、半導体発光素子およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010291370A JP2012136759A (ja) | 2010-12-27 | 2010-12-27 | Ito膜およびその製造方法、半導体発光素子およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012136759A true JP2012136759A (ja) | 2012-07-19 |
Family
ID=46674403
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010291370A Pending JP2012136759A (ja) | 2010-12-27 | 2010-12-27 | Ito膜およびその製造方法、半導体発光素子およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2012136759A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017135688A1 (ko) * | 2016-02-02 | 2017-08-10 | 엘지이노텍(주) | 발광소자 및 이를 포함하는 발광소자 패키지 |
CN111525012A (zh) * | 2020-04-29 | 2020-08-11 | 厦门三安光电有限公司 | 一种发光二极管及其制作方法 |
WO2021088786A1 (en) * | 2019-11-04 | 2021-05-14 | The University Of Hong Kong | Spectral red-shifting of light-emitting diodes by indium tin oxide deposition and annealing |
CN113161460A (zh) * | 2021-03-31 | 2021-07-23 | 广西飓芯科技有限责任公司 | 一种提高ITO透明电极与p型III-V族半导体材料的接触性能的方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0790550A (ja) * | 1993-09-14 | 1995-04-04 | Sharp Corp | 透明導電膜の製造方法 |
JP2000168079A (ja) * | 1998-12-08 | 2000-06-20 | Seiko Epson Corp | 静電型アクチュエータ及びインクジェットヘッド |
WO2000051139A1 (fr) * | 1999-02-24 | 2000-08-31 | Teijin Limited | Stratifie conducteur transparent, son procede de fabrication, et dispositif d'affichage comprenant ce stratifie conducteur transparent |
JP2003347571A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-12-05 | Sanyo Electric Co Ltd | 光起電力素子及び光起電力装置 |
JP2004214184A (ja) * | 2002-12-18 | 2004-07-29 | Sony Chem Corp | 透明導電膜及びその成膜方法 |
JP2010168647A (ja) * | 2008-12-24 | 2010-08-05 | Central Glass Co Ltd | 導電性薄膜の前駆薄膜及び該薄膜から得られる透明導電性薄膜 |
-
2010
- 2010-12-27 JP JP2010291370A patent/JP2012136759A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0790550A (ja) * | 1993-09-14 | 1995-04-04 | Sharp Corp | 透明導電膜の製造方法 |
JP2000168079A (ja) * | 1998-12-08 | 2000-06-20 | Seiko Epson Corp | 静電型アクチュエータ及びインクジェットヘッド |
WO2000051139A1 (fr) * | 1999-02-24 | 2000-08-31 | Teijin Limited | Stratifie conducteur transparent, son procede de fabrication, et dispositif d'affichage comprenant ce stratifie conducteur transparent |
JP2003347571A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-12-05 | Sanyo Electric Co Ltd | 光起電力素子及び光起電力装置 |
JP2004214184A (ja) * | 2002-12-18 | 2004-07-29 | Sony Chem Corp | 透明導電膜及びその成膜方法 |
JP2010168647A (ja) * | 2008-12-24 | 2010-08-05 | Central Glass Co Ltd | 導電性薄膜の前駆薄膜及び該薄膜から得られる透明導電性薄膜 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017135688A1 (ko) * | 2016-02-02 | 2017-08-10 | 엘지이노텍(주) | 발광소자 및 이를 포함하는 발광소자 패키지 |
WO2021088786A1 (en) * | 2019-11-04 | 2021-05-14 | The University Of Hong Kong | Spectral red-shifting of light-emitting diodes by indium tin oxide deposition and annealing |
CN111525012A (zh) * | 2020-04-29 | 2020-08-11 | 厦门三安光电有限公司 | 一种发光二极管及其制作方法 |
CN113161460A (zh) * | 2021-03-31 | 2021-07-23 | 广西飓芯科技有限责任公司 | 一种提高ITO透明电极与p型III-V族半导体材料的接触性能的方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6806503B2 (en) | Light-emitting diode and laser diode having n-type ZnO layer and p-type semiconductor laser | |
JP4447755B2 (ja) | ZnO系酸化物半導体層の成長方法およびそれを用いた半導体発光素子の製法 | |
JP2004022625A (ja) | 半導体デバイス及び該半導体デバイスの製造方法 | |
KR20090058952A (ko) | 나노로드를 이용한 발광소자 및 그 제조 방법 | |
US20070045607A1 (en) | Algainn nitride substrate structure using tin as buffer layer and the manufacturing method thereof | |
JP2007305975A (ja) | Iii族酸化物半導体を含む半導体素子 | |
JP2013191824A (ja) | 酸化物半導体及びこれを含む半導体接合素子 | |
CN112802890A (zh) | 一种半导体外延结构及其应用与制造方法 | |
JP2012136759A (ja) | Ito膜およびその製造方法、半導体発光素子およびその製造方法 | |
KR101458629B1 (ko) | ZnO계 화합물 반도체 층의 제조방법 | |
JP4278405B2 (ja) | 酸化物半導体発光素子およびその製造方法 | |
JP5749888B2 (ja) | 半導体素子及び半導体素子を作製する方法 | |
JP5507234B2 (ja) | ZnO系半導体装置及びその製造方法 | |
JP2010062198A (ja) | TiO2からなる導電性透明層の製造方法及び当該導電性透明層の製造方法を利用した半導体発光素子の製造方法。 | |
JP4036073B2 (ja) | 薄膜付き石英基板 | |
JP5426315B2 (ja) | ZnO系化合物半導体素子 | |
US20150318446A1 (en) | Low-Temperature Fabrication of Transparent Conductive Contacts for p-GaN and n-GaN | |
JP2011096902A (ja) | ZnO系化合物半導体素子及びその製造方法 | |
JP4278394B2 (ja) | 酸化物半導体発光素子 | |
TWI589023B (zh) | 半導體裝置用基材及使用其之半導體裝置 | |
JP6334929B2 (ja) | p型ZnO系半導体層の製造方法、及び、ZnO系半導体素子の製造方法 | |
JP4287698B2 (ja) | 酸化物半導体発光素子およびその製造方法 | |
CN213327795U (zh) | 一种半导体外延结构及其应用 | |
WO2023248753A1 (ja) | アモルファス基板上の窒化ガリウム系半導体デバイス及びその作製方法 | |
KR20130011531A (ko) | 금속 산화물 박막의 형성 방법 및 이를 이용한 전자 소자 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131001 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140306 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140501 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140901 |