JP2012136014A - インクジェット記録ヘッド - Google Patents
インクジェット記録ヘッド Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012136014A JP2012136014A JP2011257629A JP2011257629A JP2012136014A JP 2012136014 A JP2012136014 A JP 2012136014A JP 2011257629 A JP2011257629 A JP 2011257629A JP 2011257629 A JP2011257629 A JP 2011257629A JP 2012136014 A JP2012136014 A JP 2012136014A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge port
- ink
- recording head
- filter
- diameter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 29
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 18
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 6
- 229920002614 Polyether block amide Polymers 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 45
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 description 16
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 11
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 8
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 6
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- CSDREXVUYHZDNP-UHFFFAOYSA-N alumanylidynesilicon Chemical compound [Al].[Si] CSDREXVUYHZDNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WPPDFTBPZNZZRP-UHFFFAOYSA-N aluminum copper Chemical compound [Al].[Cu] WPPDFTBPZNZZRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 aluminum silicon copper Chemical compound 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
- B41J2/1629—Manufacturing processes etching wet etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
- B41J2/14145—Structure of the manifold
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1601—Production of bubble jet print heads
- B41J2/1603—Production of bubble jet print heads of the front shooter type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1631—Manufacturing processes photolithography
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1637—Manufacturing processes molding
- B41J2/1639—Manufacturing processes molding sacrificial molding
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
- B41J2/1642—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by CVD [chemical vapor deposition]
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
- B41J2/1645—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by spincoating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14403—Structure thereof only for on-demand ink jet heads including a filter
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
【解決手段】エネルギー発生素子とインク供給口とを備える基板と、前記エネルギー発生素子に対応する吐出口と該複数の吐出口のそれぞれと連通する複数のインク流路と前記複数のインク流路と連通する共通液室とを有する流路形成部材と、を備えるインクジェット記録ヘッドであって、前記共通液室は、吐出口領域と排出口領域とに仕切られ、該吐出口領域にはフィルタを介してインクが流入し、前記吐出口の径及び前記インク流路の径のうち最小径をAとし、前記フィルタが有する開口の最大径をBとした場合、A≧Bを満たすインクジェット記録ヘッド。
【選択図】図2
Description
インクジェット記録ヘッドの製造時や使用時にはゴミ等の異物がインクジェット記録ヘッド内に発生する。本発明に係るインクジェット記録ヘッドによれば、吐出口へ到達するインクはフィルタに形成された開口を必ず通過することになる。この開口径を共通液室、インク流路及び吐出口を含めたインク経路のうちで最も狭い部分より小さくすることで、開口より大きい異物はインク供給口部のフィルタに捕集されるため、インク流路や吐出口に詰まることがない。さらに排出口径を開口径より大きくすることで、捕集された異物は通常行われるリフレッシング動作により、排出口からインクジェット記録ヘッドの外部へ排出される。これにより、インク供給性を半永久的に維持することが可能となる。
本発明の第一の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドを、図2を参照して説明する。図2(a)は本実施形態のインクジェット記録ヘッドの吐出口11付近の上面透視図、図2(b)は図2(a)のA−A断面図である。
本発明の第二の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドを、図3を参照して説明する。図3(a)は本実施形態のインクジェット記録ヘッドの吐出口付近の上面透視図、図3(b)は図3(a)のA−A断面図、図3(c)は図3(a)のB−B断面図である。
本発明の第三の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドを、図4を参照して説明する。図4は本実施形態のインクジェット記録ヘッドの吐出口11付近の上面透視図、図4(b)は図4(a)のA−A断面図である。本実施形態は遮蔽壁18にも開口26を設けている点が第一の実施形態と異なっているが、その他の構成は同じであるため、異なる点のみ説明する。
本発明の第四の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの説明を、図5を参照して説明する。図5(a)は本実施形態のインクジェット記録ヘッドの吐出口付近の上面透視図、図5(b)は図5(a)のA−A断面図である。本実施形態は遮蔽壁18にも開口26を設けている点が第二の実施形態と異なっているが、その他の構成は同じであるため、異なる点のみ説明する。
図6を参照して、第一、第二の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を説明する。図6は、第一の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法の各工程を、図2のA−A断面で示した断面図である。
前記第一の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドを製造した。
前記第三の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドを作製した。実施例1の図6(c)に示す工程以外の工程は実施例1と同様に行ったため、当該異なる工程についてのみ説明する。
2 エネルギー発生素子
4 SiN膜
7 フィルタ
9 流路形成部材
11 吐出口
13 インク供給口
15 開口
16 排出口
18 遮蔽壁
19 支持部材
Claims (8)
- インクを吐出するための複数のエネルギー発生素子と、該エネルギー発生素子へインクを供給するためのインク供給口と、を備える基板と、
前記複数のエネルギー発生素子のそれぞれに対応するインクを吐出するための複数の吐出口と、該複数の吐出口のそれぞれと連通する複数のインク流路と、前記複数のインク流路と連通する共通液室と、を有する流路形成部材と、
を備えるインクジェット記録ヘッドであって、
前記共通液室は、前記吐出口を含む吐出口領域とインクを排出する排出口を含む排出口領域とに遮蔽壁によって仕切られ、該吐出口領域にはフィルタを介してインクが流入し、前記吐出口の径及び前記インク流路の径のうち最小径をAとし、前記フィルタが有する開口の最大径をBとした場合、A≧Bを満たすインクジェット記録ヘッド。 - 前記排出口領域には前記フィルタを介さずにインクが流入する請求項1に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記フィルタがポリエーテルアミド樹脂を含む請求項1又は2に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記複数の吐出口が、第1の吐出口列と、該第1の吐出口列の吐出口から吐出される液滴よりも大きな液滴を吐出するための第2の吐出口列と、からなり、該第1の吐出口列及び該第2の吐出口列は、該第1の吐出口列と該第2の吐出口列との間に対応する位置に前記インク供給口が設けられるように備えられ、
前記共通液室の吐出口領域は、支持部材により前記第1の吐出口列を含む第1の吐出口列領域と、前記第2の吐出口列を含む前記第2の吐出口列領域に仕切られ、
前記第1の吐出口列の吐出口の径及び該吐出口に連通するインク流路の径のうち最小径をDとし、前記第1の吐出口列領域の前記フィルタに設けられた開口の最大径をEとした場合、D≧Eを満たし、かつ、
前記第2の吐出口列の吐出口の径及び該吐出口に連通するインク流路の径のうち最小径をFとし、前記第2の吐出口列領域の前記フィルタに設けられた開口の最大径をGとした場合、F≧Gを満たす請求項1から3のいずれか一項に記載のインクジェット記録ヘッド。 - 前記第2の吐出口列領域の前記フィルタに設けられた開口の最大径をHとし、前記第1の吐出口列領域の前記フィルタに設けられた開口の最大径をIとした場合、H≧Iを満たす請求項4に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記遮蔽壁に少なくとも一つの開口が設けられ、遮蔽壁に設けられた該開口の最大径をJとした場合、A≧Jを満たす請求項1から3のいずれか一項に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記遮蔽壁に少なくとも一つの開口が設けられ、前記第1の吐出口列領域の遮蔽壁に設けられた該開口の最大径をKとした場合、D≧Kを満たし、かつ前記第2の吐出口列領域の遮蔽壁に設けられた該開口の最大径をLとした場合、F≧Lを満たす請求項4又は5に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記第1の吐出口列領域の前記フィルタに設けられた開口の最小径をMとした場合、M≧Kを満たし、かつ、前記第2の吐出口列領域の前記フィルタに設けられた開口の最小径をNとした場合、N≧Lを満たす請求項7に記載のインクジェット記録ヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011257629A JP5312564B2 (ja) | 2010-12-07 | 2011-11-25 | インクジェット記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010272470 | 2010-12-07 | ||
JP2010272470 | 2010-12-07 | ||
JP2011257629A JP5312564B2 (ja) | 2010-12-07 | 2011-11-25 | インクジェット記録ヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012136014A true JP2012136014A (ja) | 2012-07-19 |
JP5312564B2 JP5312564B2 (ja) | 2013-10-09 |
Family
ID=46161860
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011257629A Expired - Fee Related JP5312564B2 (ja) | 2010-12-07 | 2011-11-25 | インクジェット記録ヘッド |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8608303B2 (ja) |
JP (1) | JP5312564B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015134459A (ja) * | 2014-01-17 | 2015-07-27 | セイコーエプソン株式会社 | 流路ユニット、液体噴射ヘッド、液体噴射装置 |
JP7387454B2 (ja) | 2019-02-04 | 2023-11-28 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7150500B2 (ja) * | 2018-07-04 | 2022-10-11 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドおよび液体吐出ヘッドの製造方法 |
US11027547B2 (en) * | 2019-02-04 | 2021-06-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid ejection head |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01306257A (ja) * | 1988-06-06 | 1989-12-11 | Fujitsu Ltd | インクジェットヘッド |
JPH04345853A (ja) * | 1991-05-23 | 1992-12-01 | Seiko Epson Corp | インクジェット記録ヘッド |
JP2000296613A (ja) * | 1999-04-16 | 2000-10-24 | Hitachi Koki Co Ltd | インクジェットヘッド |
JP2001038890A (ja) * | 1999-07-30 | 2001-02-13 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッド、インクジェット記録ヘッド内のゴミ除去方法、インクジェット記録ヘッド製造方法、およびインクジェット記録ヘッド回復方法 |
JP2006069106A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Ricoh Printing Systems Ltd | インクジェットヘッド及びインクジェット式記録装置 |
JP2010018041A (ja) * | 2003-11-28 | 2010-01-28 | Canon Inc | インクジェットヘッド |
JP2010241100A (ja) * | 2009-03-18 | 2010-10-28 | Ricoh Co Ltd | 液滴吐出ヘッドおよびそれを備えた液滴吐出装置、画像形成装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6264309B1 (en) | 1997-12-18 | 2001-07-24 | Lexmark International, Inc. | Filter formed as part of a heater chip for removing contaminants from a fluid and a method for forming same |
JP4455282B2 (ja) | 2003-11-28 | 2010-04-21 | キヤノン株式会社 | インクジェットヘッドの製造方法、インクジェットヘッドおよびインクジェットカートリッジ |
JP2007203623A (ja) | 2006-02-02 | 2007-08-16 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
US8037603B2 (en) | 2006-04-27 | 2011-10-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet head and producing method therefor |
JP2009208393A (ja) | 2008-03-05 | 2009-09-17 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッド |
US8322825B2 (en) * | 2010-10-26 | 2012-12-04 | Eastman Kodak Company | Dispenser including overlapping outlet and return port |
-
2011
- 2011-11-03 US US13/288,141 patent/US8608303B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-11-25 JP JP2011257629A patent/JP5312564B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01306257A (ja) * | 1988-06-06 | 1989-12-11 | Fujitsu Ltd | インクジェットヘッド |
JPH04345853A (ja) * | 1991-05-23 | 1992-12-01 | Seiko Epson Corp | インクジェット記録ヘッド |
JP2000296613A (ja) * | 1999-04-16 | 2000-10-24 | Hitachi Koki Co Ltd | インクジェットヘッド |
JP2001038890A (ja) * | 1999-07-30 | 2001-02-13 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッド、インクジェット記録ヘッド内のゴミ除去方法、インクジェット記録ヘッド製造方法、およびインクジェット記録ヘッド回復方法 |
JP2010018041A (ja) * | 2003-11-28 | 2010-01-28 | Canon Inc | インクジェットヘッド |
JP2006069106A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Ricoh Printing Systems Ltd | インクジェットヘッド及びインクジェット式記録装置 |
JP2010241100A (ja) * | 2009-03-18 | 2010-10-28 | Ricoh Co Ltd | 液滴吐出ヘッドおよびそれを備えた液滴吐出装置、画像形成装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015134459A (ja) * | 2014-01-17 | 2015-07-27 | セイコーエプソン株式会社 | 流路ユニット、液体噴射ヘッド、液体噴射装置 |
JP7387454B2 (ja) | 2019-02-04 | 2023-11-28 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5312564B2 (ja) | 2013-10-09 |
US20120140000A1 (en) | 2012-06-07 |
US8608303B2 (en) | 2013-12-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5139444B2 (ja) | 液体射出装置および液体射出装置を製造する方法 | |
US8573758B2 (en) | Liquid jet recording head and liquid supply method | |
JP3980361B2 (ja) | 完全に一体化されたサーマル・インクジェットプリントヘッドを形成するための2段階のトレンチエッチング | |
US6761433B2 (en) | Bubble-jet type ink-jet printhead | |
JP4236052B2 (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法 | |
JP2012504059A (ja) | 自己整合穴を有する液滴吐出器 | |
KR100406941B1 (ko) | 잉크젯 프린터 헤드 | |
JP2009208393A (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
JP5312564B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
US7377629B2 (en) | Liquid discharge head with filter structure | |
JP2011051274A (ja) | 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射ヘッドの製造方法 | |
US8191998B2 (en) | Liquid ejecting head | |
JP2012051235A (ja) | 液体吐出ヘッド | |
KR101197945B1 (ko) | 잉크젯 프린트 헤드 및 그 제조방법 | |
JP4634106B2 (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法 | |
JP5491288B2 (ja) | 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 | |
US9669628B2 (en) | Liquid ejection head substrate, method of manufacturing the same, and method of processing silicon substrate | |
JP5393401B2 (ja) | 液体吐出ヘッド | |
US8820892B2 (en) | Inkjet printing head substrate, inkjet printing head and inkjet printing apparatus | |
JP5514851B2 (ja) | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 | |
JP2006082448A (ja) | 液滴吐出ヘッドとインクカートリッジと画像記録装置及び液滴吐出ヘッドの製造方法 | |
KR101291689B1 (ko) | 정전기력을 이용하는 액적분사장치용 노즐 | |
JP6373067B2 (ja) | 液体吐出ヘッド | |
JP5930853B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法、インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 | |
JP2011042165A (ja) | インクジェット記録ヘッド |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121120 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130118 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130604 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130702 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5312564 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |