JP2012132813A - 透過型電子顕微鏡用試料及びその作製方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】透過型電子顕微鏡用試料は、試料本体4aと薄膜部11と保護膜8とを具備する。薄膜部11は試料本体4aから第1の向きに伸び、試料本体4aより薄い。保護膜8は試料本体4a及び薄膜部11の上側の表面に連続的に設けられ、試料本体4a及び薄膜部11の主材料より固い。薄膜部11は、保護膜8の下側に接した極薄膜部12と、極薄膜部12の下側に接した残余部11aとを備える。極薄膜部12は残余部11aより薄い。極薄膜部12は保護膜8と接する部分を第1の辺とする三角形又は四角形の薄片形状を有している。極薄膜部12は、第1の辺に交わり外側に露出した第2の辺と、第2の辺に交わり残余部11aと結合する第3の辺とが成す角が、0°より大きく180°より小さい。
【選択図】図5B
Description
2、102 第1本体部
3、103 薄体部
3a、103a 第2本体部
4、104 薄片部
4a、104a 第3本体部
8 保護膜
11、111 薄膜部
111a 薄膜部
11a 残余部
12 極薄膜部
13 解析対象物
Claims (12)
- 試料本体と、
前記試料本体から第1の向きに伸び、前記試料本体より薄い薄膜部と、
前記試料本体及び前記薄膜部の上側の表面に連続的に設けられ、前記薄膜部の主材料より固い保護膜と
を具備し、
前記薄膜部は、
前記保護膜の下側に接した極薄膜部と、
前記極薄膜部の下側に接した残余部と
を備え、
前記極薄膜部は、
前記残余部より薄く、
前記保護膜と接する部分を第1の辺とする三角形又は四角形の薄片形状を有し、
前記第1の辺に交わり外側に露出した第2の辺と、前記第2の辺に交わり前記残余部と結合する第3の辺とが成す角が、0°より大きく180°より小さい
透過型電子顕微鏡用試料。 - 請求項1に記載の透過型電子顕微鏡用試料において、
前記薄膜部の主材料はシリコンであり、前記保護膜は硬度が4.0より大きい
透過型電子顕微鏡用試料。 - 請求項2に記載の透過型電子顕微鏡用試料において、
前記保護膜の膜厚は、0.1μm以上、3μm以下である
透過型電子顕微鏡用試料。 - 請求項1に記載の透過型電子顕微鏡用試料において、
前記保護膜は、Pt、W、Ni、SiC、DLC(Diamond−Like Carbon)のうちの少なくとも一つを含む
透過型電子顕微鏡用試料。 - 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の透過型電子顕微鏡用試料において、
前記極薄膜部内の観察対象位置は、前記保護膜から0μmより大きく5μm以下である
透過型電子顕微鏡用試料。 - 試料の上側の表面に、前記試料の主材料より固い保護膜を形成する工程と、
イオンビームを照射して前記試料を削り、前記保護膜を上側の表面に備える試料本体と、前記保護膜を上側の表面に備え、前記試料本体から第1の向きに伸び、前記試料本体より薄い薄膜部とを形成する工程と、
前記試料本体と反対側の前記薄膜部の横側からイオンビームを照射して、前記薄膜部を薄くなるように削り、前記保護膜の下側に接した極薄膜部を形成する工程と
を具備する
透過型電子顕微鏡用試料の作製方法。 - 請求項6に記載の透過型電子顕微鏡用試料の作製方法において、
前記極薄膜部を形成する工程は、
前記横側から、前記第1の向きと逆向きの第2の向き、かつ、仰角0°以上90°未満又は俯角0°以上90°未満の角度範囲で、前記薄膜部にイオンビームを照射する工程を含む
透過型電子顕微鏡用試料の作製方法。 - 請求項7に記載の透過型電子顕微鏡用試料の作製方法において、
前記極薄膜部を形成する工程は、
前記極薄膜部が、
前記極薄膜部の下側に接した前記薄膜部の残余部より薄く、
前記保護膜と接する部分を第1の辺とする三角形又は四角形の薄片形状を有し、
前記第1の辺と交わり外側に露出した第2の辺と、前記第2の辺と交わり前記残余部と結合する第3の辺とが成す角が、0°より大きく180°より小さい
ように前記極薄膜部を形成する工程を含む
透過型電子顕微鏡用試料の作製方法。 - 請求項6乃至8のいずれか一項に記載の透過型電子顕微鏡用試料の作製方法において、
前記試料の主材料はシリコンであり、前記保護膜は硬度が4.0より大きい
透過型電子顕微鏡用試料の作製方法。 - 請求項9に記載の透過型電子顕微鏡用試料の作製方法において、
前記保護膜の膜厚は、0.1μm以上、3μm以下である
透過型電子顕微鏡用試料の作製方法。 - 請求項6に記載の透過型電子顕微鏡用試料の作製方法において、
前記保護膜は、Pt、W、Ni、SiC、DLC(Diamond−Like Carbon)のうちの少なくとも一つを含む
透過型電子顕微鏡用試料の作製方法。 - 請求項6乃至11のいずれか一項に記載の透過型電子顕微鏡用試料の作製方法において、
前記極薄膜部内の観察対象位置は、前記保護膜から0μmより大きく5μm以下である
透過型電子顕微鏡用試料の作製方法。
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